化学品供应系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。
【专利说明】化学品供应系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种化学品供应系统。
【背景技术】
[0002]随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。并且，由于半导体制程的不断发展，线宽越来越窄，工艺的要求也越来越高，这些因素都对化学品供应系统提出了更高的要求。
[0003]如图1所示，一种化学品供应系统，包括:化学品桶101，气体平衡器102，桶空过滤器103，泵106，所述化学品桶101分别与所述气体平衡器102和所述泵106连接，所述泵106的输出端与桶空过滤器103连接。所述化学品供应系统依靠N2/Vacuum做动力的供应方式，且其供应和传输共用一套动力，其优点是供应压力平稳且节省空间节约成本；但由于传输时会有气泡进入管线，为了避免对生产造成影响，在液体到达生产机台之前会将气泡排放掉，原始设计在桶空过滤器103顶端设有桶空传感器104及阀门105，当桶空传感器104感觉到气泡时，阀门105打开排放掉气泡，但同时部分液体也随之排放掉，造成生产成本提闻。
[0004]目前采用的方法是尽量保证化学品桶接头的密闭性，同时增加桶空传感器103的灵敏度。但采用上诉措施造成的后果是桶内剩余化学品较多，同样增加生产成本。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种化学品供应系统，既保证输送液体的品质又避免化学品的浪费。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括:化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；
[0007]还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。
[0008]优选的，在上述化学品供应系统中，所述气液分离回收装置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连通，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。
[0009]优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。
[0010]优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有液端连接头，所述回收桶通过液端连接头与桶空过滤器连接。
[0011]优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有气端连接头，所述回收桶通过所述气端连接头与气体平衡器连接。
[0012]优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的侧壁与液位控制管的连接处设置有开关。
[0013]优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关呈“L”型。
[0014]优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关与所述回收桶的侧壁之间的夹角为
5。?20°。
[0015]优选的，在上述化学品供应系统中，所述桶空过滤器的顶端设置有桶空传感器。
[0016]优选的，在上述化学品供应系统中，所述化学品桶与所述气体平衡器连接。
[0017]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0018]在本实用新型提供的化学品供应系统中，桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在所述气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为现有技术中化学品供应系统结构不意图；
[0020]图2为本实用新型实施例的化学品供应系统结构示意图；
[0021]图3为本实用新型实施例的气液分离回收装置放大结构示意图；
[0022]图4为本实用新型实施例的开关处于关闭状态的放大结构示意图；
[0023]图5为本实用新型实施例的开关处于打开状态的放大结构示意图；
[0024]图中，101-化学品桶；102_气体平衡器；103-桶空过滤器；104-桶空传感器；105-阀门；
[0025]201-化学品桶；202_气体平衡器；203_泵；204_桶空过滤器；205_气液分离回收装置；206_桶空传感器；207_第一管线；208_回收桶；209_液位控制管；210_开关；211_液端连接头；212_接收管；213_液位控制连接头；214_气端连接头；215_输入管；216_抽吸管；217-第二管线。
【具体实施方式】
[0026]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型提供了一种化学品供应系统，如图2所示，包括:化学品桶201、泵203、桶空过滤器204，所述化学品桶201通过第一管线207与所述泵203连接，所述泵203通过第二管线217与所述桶空过滤器204连接；
[0028]还包括气液分离回收装置205和气体平衡器202，所述气液分离回收装置205分别与桶空过滤器204、第一管线207及气体平衡器202连接。
[0029]具体的，桶空过滤器204排放的气液混合物进入到气液分离回收装置205内；在所述气液分离回收装置205内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线207中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器202排出。
[0030]进一步的，所述桶空过滤器204的顶端设置有桶空传感器206。当桶空传感器206检测到气泡时，就将桶空过滤器204中气液混合物排入到所述气液分离回收装置205中。
[0031]具体的，如图3所示，所述气液分离回收装置205，包括:回收桶208、液位控制管209和抽吸管216，所述回收桶208与所述桶空过滤器204连接，所述液位控制管209的进口连接于所述回收桶208的侧壁，所述抽吸管216的一端置于所述位控制管209内，所述抽吸管216的另一端与所述第一管线207连接。。所述液位控制管209为回字型，穿过所述回收桶208的侧壁。
[0032]所述回收桶208的顶部设置有液位控制连接头213，所述液位控制管209通过液位控制连接头213与抽吸管216连接。所述回收桶208的侧壁与液位控制管209的连接处设置有开关210。
[0033]化学品供应系统在应用中，第一管线207中每隔一定时间(例如20秒)会出现一次真空状态，每次持续一定时间(例如5秒)。随着回收桶208内的液体增多，当回收桶208内的液位增高到液位控制管209的进口处时，当第一管线207中处于真空间歇状态时，回收桶208内的压强与液位控制管209内的压强相等，也就是说开关210左右的压强相等，开关210在液体浮力的作用下打开，如图4所示，液体从回收桶208内流入到液位控制管209内，并将液位控制管209内的气体挤入到所述回收桶208中。
[0034]接着，第一管线207中出现真空状态，液位控制管209内的液体被吸入到第一管线207中，通过第一管线207进入化学品供应系统中。同时，所述回收桶208内的液位下降，当液位下降到低于所述液位控制管209的进口时，所述开关210在重力作用下关闭，如图5所
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[0035]具体的，所述开关210为“L”型，增大了与液体的接触面积，从而增大了浮力，更有利于开关210的打开。
[0036]所述开关210与所述回收桶208的侧壁之间有夹角，在5°?20°之间，是的开关210在重力作用下能更好的关闭。
[0037]进一步的，所述回收桶208的顶部设置有气端连接头214，所述回收桶208通过所述气端连接头214与气体平衡器202的输入管215连接，从而与气体平衡器202连接。
[0038]具体的，当回收桶208内的气压高于液位控制管209内的气压时，真空通过气体平衡器202接入到所述回收桶208，使得回收桶208内的气体排出，从而使得回收桶208内的气压与液位控制管209内的气压平衡。当回收桶208内的气压低于液位控制管209内的气压时，将氮气通过气体平衡器202充入到所述回收桶208内，使得回收桶208内的气压与液位控制管209内的气压平衡。
[0039]进一步的，由于回收桶208内的气压与液位控制管209内的气压平衡，当开关210关闭时，第一管线207中出现真空状态，也能保证没有液位控制管209内的气体不会通过第一管线207进入到化学品供应系统中。
[0040]所述回收桶208的顶部还设置有液端连接头211，所述回收桶208通过液端连接头211与桶空过滤器204的接收管212连接。当有气泡产生时，气液混合物通过桶空过滤器204进入到所述回收桶208内，并在所述回收桶208内实现气液分离。
[0041]在本实施例中，所述化学品桶201与所述气体平衡器202连接。在本实用新型的其他实施例中，所述化学品桶也可以与其他气体平衡器连接，即在本实用新型提供的化学品供应系统中，可以设置两个气体平衡器。
[0042]综上，在本实用新型实施例提供的化学品供应系统中，桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在所述气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。
[0043]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括:化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接； 还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。
2.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述气液分离回收装置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连接，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。
3.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。
4.如权利要求3所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部还设置有液端连接头，所述回收桶通过液端连接头与桶空过滤器连接。
5.如权利要求4所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部还设置有气端连接头，所述回收桶通过所述气端连接头与气体平衡器连接。
6.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的侧壁与液位控制管的连接处设置有开关。
7.如权利要求6所述的化学品供应系统，其特征在于，所述开关呈“L”型。
8.如权利要求6所述的化学品供应系统，其特征在于，所述开关与所述回收桶的侧壁之间的夹角为5°?20°。
9.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述桶空过滤器的顶端设置有桶空传感器。
10.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述化学品桶与所述气体平衡器连接。
【文档编号】F17D3/01GK204083814SQ201420454473
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年8月12日 优先权日:2014年8月12日
【发明者】王学利 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司