一种MO源双联钢瓶的制作方法

本实用新型属于mo源封装容器技术领域，具体涉及了一种mo源双联钢瓶。

背景技术：

mo源(metalorganicsource)是指mocvd外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，mo源通常也被称为“mocvd的前体物”，目前被广泛应用于led外延片制造行业中。

固体mo源钢瓶由于随着mo源存量越少而导致mo源蒸汽压越来越小，而无法达到mo源供给饱和度，最终造成现有技术中固体mo源钢瓶会造成一定mo源的剩余，导致mo源的利用率较低。

与本申请技术目的最为接近的现有技术是公开号为cn108998775a的固体金属有机化合物的封装容器，封装容器包含一瓶体，用于容纳固体金属有机化合物。瓶体内具有分隔部，将瓶体内分隔为第一空间及第二空间。分隔部中具有连接第一空间与第二空间的气体通路。其中，进气管连接一载气源，且设置于瓶体上，由第一空间的顶侧连通至第一空间；出气管连接一金属有机化学气相沉积设备，且设置于瓶体上，并穿过第二空间的邻近第一空间的底侧连通第一空间。该专利通过上述结构配置，提高固体金属有机化合物的使用效率，并减少固体金属有机化合物剩余的浪费；然而，该技术经实际使用后会发现位于钢瓶底部的第一空间与第二空间之间的连通空间仍然会有mo源的剩余，对于提高固体mo源利用率的效果仍然受到制约。

因此，本申请希望通过对mo源钢瓶自身结构进行创造性设计来解决上述技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种mo源双联钢瓶，经过双钢瓶的联动气流作用，可以进一步提高固体mo源钢瓶的利用率，同时可以有效改善终极mo源出气管输出mo源气体的均匀性。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种固体mo源钢瓶，包括具有mo源封装空间的mo源钢瓶本体，所述mo源钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，所述同轴内衬套瓶将所述mo源封装空间分隔为外周mo源封装空间和内周mo源封装空间；其中，

所述外周mo源封装空间的下端包括第一锥面，所述内周mo源封装空间的下端采用第二锥面，所述第二锥面的锥度大于所述第一锥面的锥度，且所述外周mo源封装空间底部与所述内周mo源封装空间底部连通；

所述mo源钢瓶本体的上端部分别设置惰性气体进气管、mo源出气管、第一mo源充装口和第二mo源充装口，所述惰性气体进气管和所述第一mo源充装口分别与外周mo源封装空间连通，所述mo源出气管和所述第二mo源充装口分别与所述内周mo源封装空间连通；

所述惰性气体进气管和mo源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和mo源控制开关阀。

优选地，所述同轴内衬套瓶密封焊接在所述mo源钢瓶本体的上端部内侧，包括连接为一体的位于上方的圆柱型内衬和位于下方的锥面内衬，该锥面内衬作为所述第二锥面，其中，所述锥面内衬的下端部还一体连接有圆柱导向内衬端口，所述锥面内衬的高度大于所述圆柱导向内衬端口的高度且小于所述圆柱型内衬的高度，且所述圆柱导向内衬端口与所述外周mo源封装空间底部具有用于连通的通道。

优选地，所述圆柱型内衬的高度范围为5-30cm，所述锥面内衬的高度范围为1-10cm，所述圆柱导向内衬端口的高度范围为0.2-1cm。

优选地，所述第一锥面的高度大于所述第二锥面的高度。

优选地，所述圆柱型内衬的上端设有用于与所述外周mo源封装空间连通的连通口。

优选地，所述第一锥面的锥度为30-50゜，所述第二锥面的锥度为40-70゜。

本申请在固体mo源钢瓶技术方案的基础上，进一步提出了一种mo源双联钢瓶，包括通过主级连接管道连通且用于第一mo源钢瓶和第二mo源钢瓶，所述第一mo源钢瓶包括具有mo源封装空间的第一钢瓶本体，所述第一钢瓶本体上端部分别设有与mo源封装空间连通的惰性气体进气管和初级mo源出气管；所述第二mo源钢瓶包括具有mo源封装空间的第二钢瓶本体，所述第二钢瓶本体上端部分别设有与mo源封装空间连通的mo源进气管和终极mo源出气管，所述初级mo源出气管通过所述主级连接管道接入所述mo源进气管；所述惰性气体进气管和终极mo源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和终极mo源控制开关阀；其中，

各钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，所述同轴内衬套瓶将其对应的mo源封装空间分隔为外周mo源封装空间和内周mo源封装空间；

所述外周mo源封装空间的下端包括第一锥面，所述内周mo源封装空间的下端采用第二锥面，所述第二锥面的锥度大于所述第一锥面的锥度，且所述外周mo源封装空间底部与所述内周mo源封装空间底部连通；

各mo源钢瓶本体的上端部分别设置第一mo源充装口和第二mo源充装口，所述第一mo源充装口与其对应的外周mo源封装空间连通，所述第二mo源充装口与其对应的内周mo源封装空间连通。

优选地，所述惰性气体进气管与所述初级mo源出气管之间通过第一辅助连接管道连通，且所述第一辅助连接管道上设有第一管道开关控制阀；所述mo源进气管与所述终极mo源出气管之间通过第二辅助连接管道连通，且所述第二辅助连接管道上设有第二管道开关控制阀。

优选地，所述第一钢瓶本体和第二钢瓶本体相同。

优选地，所述第一钢瓶本体的mo源封装空间大于所述第二钢瓶本体的mo源封装空间。

优选地，所述第一钢瓶本体的mo源封装空间的体积为200-1000ml，所述第二钢瓶本体的mo源封装空间的体积为150-1000ml。

优选地，所述惰性气体进气管以及所述初级mo源出气管分别与所述第一钢瓶本体中心线平行；所述mo源进气管和终极mo源出气管分别与所述第二钢瓶本体中心线平行。

优选地，所述终极mo源控制开关阀的安装高度大于所述惰性气体控制开关阀的安装高度。

优选地，所述第一管道开关控制阀与所述第二管道开关控制阀的安装高度相等，且均大于所述惰性气体控制开关阀的安装高度和所述终极mo源控制开关阀的安装高度。

优选地，所述同轴内衬套瓶密封焊接在与其对应mo源钢瓶本体的上端部内侧，包括连接为一体的位于上方的圆柱型内衬和位于下方的锥面内衬，该锥面内衬作为所述第二锥面，其中，所述锥面内衬的下端部还一体连接有圆柱导向内衬端口，所述锥面内衬的高度大于所述圆柱导向内衬端口的高度且小于所述圆柱型内衬的高度，且所述圆柱导向内衬端口与所述外周mo源封装空间底部具有用于连通的通道。

优选地，所述圆柱型内衬的高度范围为5-30cm，所述锥面内衬的高度范围为1-10cm，所述圆柱导向内衬端口的高度范围为0.2-1cm。

需要说明的是，本申请涉及的锥度是指该锥面与水平面之间的夹角。

本申请人发现导致固体mo源有较多余量剩余的核心原因是由于在钢瓶底部发生了沉积，导致无法形成饱和蒸气压，最终导致固体mo源的利用率较低，因此，本申请人通过提出本实用新型的技术方案来提高mo源钢瓶的利用率，具体是在mo源钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，形成可分别进行充装固体mo源的外周mo源封装空间和内周mo源封装空间，同时两者空间的底部连通而且设置锥度不同的锥面结构，在实施工作时，惰性气体(即为mo源载气)进入外周mo源封装空间，位于外周mo源封装空间内的mo源快速形成饱和气体进入内周mo源封装空间，并通过mo源出气管向产线供给输出，位于内周mo源封装空间下端的第二锥面与位于外周mo源封装空间下端的第一锥面在钢瓶底部可以有效改善气体流动效果，进而可以明显改善固体mo源在钢瓶底部的沉积问题，最终有效提高了本实用新型固体mo源钢瓶的利用率；

本实用新型在固体mo源钢瓶的基础上，进一步提出mo源双联钢瓶的结构方案，其中，第一mo源钢瓶作为输入端接入惰性气体，第二mo源钢瓶作为输出端主要用于向产线供给mo源，且两个mo源钢瓶内均存储有固体mo源，在进行实际工作时，惰性气体输入第一mo源钢瓶后，位于第一mo源钢瓶的固体mo源受到气体压力，快速形成初级mo源气体，然后通过连接管道输入第二mo源钢瓶，初级mo源气体进入第二mo源钢瓶后进一步混合mo源气体，经过双钢瓶的联动气流作用，可以进一步提高固体mo源钢瓶的利用率，同时可以有效改善终极mo源出气管输出mo源气体的均匀性；

本实用新型还进一步优选地在惰性气体进气管与初级mo源出气管之间通过安装有第一管道开关控制阀的第一辅助连接管道连通，在mo源进气管与终极mo源出气管之间通过安装有第二开关控制阀的第二辅助连接管道连通，可以在进行mo源气体供给前对管路内空气进行预先排空，提高mo源的供给质量。

附图说明

附图1是本实用新型实施例1中固体mo源钢瓶的结构示意图；

附图2是图1的俯视图；

附图3是本实用新型实施例2中mo源双联钢瓶的结构示意图；

附图4是图3的侧面结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种mo源双联钢瓶，包括通过主级连接管道连通且用于第一mo源钢瓶和第二mo源钢瓶，第一mo源钢瓶包括具有mo源封装空间的第一钢瓶本体，第一钢瓶本体上端部分别设有与mo源封装空间连通的惰性气体进气管和初级mo源出气管；第二mo源钢瓶包括具有mo源封装空间的第二钢瓶本体，第二钢瓶本体上端部分别设有与mo源封装空间连通的mo源进气管和终极mo源出气管，初级mo源出气管通过主级连接管道接入mo源进气管；惰性气体进气管和终极mo源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和终极mo源控制开关阀；其中，各钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，同轴内衬套瓶将其对应的mo源封装空间分隔为外周mo源封装空间和内周mo源封装空间；外周mo源封装空间的下端包括第一锥面，内周mo源封装空间的下端采用第二锥面，第二锥面的锥度大于第一锥面的锥度，且外周mo源封装空间底部与内周mo源封装空间底部连通；各mo源钢瓶本体的上端部分别设置第一mo源充装口和第二mo源充装口，第一mo源充装口与其对应的外周mo源封装空间连通，第二mo源充装口与其对应的内周mo源封装空间连通。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

实施例1：请参见图1和图2所示，一种固体mo源钢瓶100，包括具有mo源封装空间的mo源钢瓶本体110，mo源钢瓶本体110内设有同轴内衬套瓶120，同轴内衬套瓶120将mo源封装空间分隔为外周mo源封装空间130a和内周mo源封装空间130b；其中，外周mo源封装空间130a的下端包括第一锥面141，内周mo源封装空间130b的下端采用第二锥面142，第二锥面142的锥度大于第一锥面141的锥度，优选地，第一锥面141的高度大于第二锥面142的高度，第一锥面141的锥度为30-50゜，第二锥面142的锥度为40-70゜；

在本实施方式中，外周mo源封装空间130a底部与内周mo源封装空间130b底部连通；mo源钢瓶本体110的上端部分别设置惰性气体进气管151、mo源出气管152、第一mo源充装口153和第二mo源充装口154，惰性气体进气管151和第一mo源充装口153分别与外周mo源封装空间130a连通，mo源出气管152和第二mo源充装口154分别与内周mo源封装空间130b连通；惰性气体进气管151和mo源出气管152上分别安装有惰性气体控制开关阀161和mo源控制开关阀162；

优选地，在本实施方式中，同轴内衬套瓶120密封焊接在mo源钢瓶本体110的上端部内侧，包括连接为一体的位于上方的圆柱型内衬121和位于下方的锥面内衬，该锥面内衬作为第二锥面142，其中，锥面内衬的下端部还一体连接有圆柱导向内衬端口122，锥面内衬的高度大于圆柱导向内衬端口122的高度且小于圆柱型内衬121的高度，且圆柱导向内衬端口122与外周mo源封装空间130a底部具有用于连通的通道123；优选地，圆柱型内衬121的高度范围为5-30cm，锥面内衬的高度范围为1-10cm，圆柱导向内衬端口122的高度范围为0.2-1cm；

优选地，为了调节外周mo源封装空间130a和内周mo源封装空间130b之间的气体流通效果，在本实施方式中，圆柱型内衬121的上端设有用于与外周mo源封装空间130a连通的连通口124。

本申请人发现导致固体mo源有较多余量剩余的核心原因是由于在钢瓶底部发生了沉积，导致无法形成饱和蒸气压，最终导致固体mo源的利用率较低，因此，本申请人通过在mo源钢瓶本体110内设有同轴内衬套瓶120，形成可分别进行充装固体mo源的外周mo源封装空间130a和内周mo源封装空间130b，同时两者空间的底部连通而且设置锥度不同的锥面141,142结构，在实施工作时，惰性气体(即为mo源载气)通过惰性气体进气管151进入外周mo源封装空间130a，位于外周mo源封装空间130a内的mo源快速形成饱和气体进入内周mo源封装空间130b，并通过mo源出气管152向产线供给输出，位于内周mo源封装空间130b下端的第二锥面142与位于外周mo源封装空间130a下端的第一锥面141在钢瓶底部可以有效改善气体流动效果，进而可以明显改善固体mo源在钢瓶底部的沉积问题，最终有效提高了本实施例固体mo源钢瓶100的利用率。

实施例2：请参见图3和图4所示，一种mo源双联钢瓶，包括通过主级连接管道30连通且用于存储封装mo源的第一mo源钢瓶10和用于供给mo源的第二mo源钢瓶20，其中，第一mo源钢瓶10包括具有mo源封装空间11的第一钢瓶本体12，第一钢瓶本体12上端部分别设有与mo源封装空间11连通的惰性气体进气管13和初级mo源出气管14；第二mo源钢瓶20包括具有mo源封装空间21的第二钢瓶本体22，第二钢瓶本体22上端部分别设有与mo源封装空间21连通的mo源进气管23和终极mo源出气管24，初级mo源出气管24通过主级连接管道30接入mo源进气管23；惰性气体进气管13和终极mo源出气管24上分别安装有惰性气体控制开关阀13a和终极mo源控制开关阀24a；

在本实施方式中，第一钢瓶本体12和第二钢瓶本体22均采用实施例1中固体mo源钢瓶100结构，各钢瓶本体12,22内设有同轴内衬套瓶120，同时各mo源钢瓶本体的上端部分别设置第一mo源充装口40a和第二mo源充装口40b，第一mo源充装口40a与其对应的外周mo源封装空间连通，第二mo源充装口40b与其对应的内周mo源封装空间连通；优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体12和第二钢瓶本体22相同，当然地，在其他实施方式中，可以采用第一钢瓶本体的mo源封装空间大于第二钢瓶本体的mo源封装空间；优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体的mo源封装空间的体积为200-1000ml，第二钢瓶本体的mo源封装空间的体积为150-1000ml；具体地，在本实施方式中，第一钢瓶本体12的mo源封装空间11的体积以及第二钢瓶本体22的mo源封装空间21的体积均为400ml；

优选地，在本实施方式中，惰性气体进气管13与初级mo源出气管14之间通过第一辅助连接管道连通15，且第一辅助连接管道15上设有第一管道开关控制阀15a；mo源进气管23与终极mo源出气管24之间通过第二辅助连接管道25连通，且第二辅助连接管道25上设有第二管道开关控制阀25a；

优选地，为了确保mo源供给饱和度不受到负面影响，在本实施方式中，惰性气体进气管13和初级mo源出气管14分别与第一钢瓶本体12中心线平行；在本实施方式中，mo源进气管23和终极mo源出气管24分别与第二钢瓶本体22中心线平行；终极mo源控制开关阀24a的安装高度大于惰性气体控制开关阀13a的安装高度；第一管道开关控制阀15a与第二管道开关控制阀25a的安装高度相等，且大于终极mo源控制开关阀24a的安装高度。

本实施例在固体mo源钢瓶的基础上，进一步提出mo源双联钢瓶的结构方案，其中，第一mo源钢瓶10作为输入端接入惰性气体，第二mo源钢瓶20作为输出端主要用于向产线供给mo源，且两个mo源钢瓶10,20内均存储有固体mo源，在进行实际工作时，惰性气体输入第一mo源钢瓶10后，位于第一mo源钢瓶10的固体mo源受到气体压力，快速形成初级mo源气体，然后通过连接管道30输入第二mo源钢瓶20，初级mo源气体进入第二mo源钢瓶20后进一步混合mo源气体，经过双钢瓶的联动气流作用，可以进一步提高固体mo源钢瓶的利用率，同时可以有效改善终极mo源出气管输出mo源气体的均匀性；

本实施例还进一步优选地在惰性气体进气管13与初级mo源出气管14之间通过安装有第一管道开关控制阀15a的第一辅助连接管道连通15，在mo源进气管23与终极mo源出气管24之间通过安装有第二开关控制阀25a的第二辅助连接管道25连通，可以在进行mo源气体供给前对mo源双联钢瓶的管路内空气进行预先排空，提高mo源的供给质量。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。