一种三氯化硼分装装置的制作方法

1.本实用新型属于三氯化硼技术领域，特别是涉及一种三氯化硼分装装置。


背景技术：

2.电子气体是微电子工业必不可少的关键基础材料之一，被喻为电子工业的“血液”和“粮食”，在半导体集成电路、光导纤维和太阳能电池等制造过程中起着举足轻重的作用。随着世界电子行业的快速发展，电子气体的生产和销售呈稳步上升趋势，具有广阔的发展前景，其中，三氯化硼主要用作以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化，半导体的掺杂源，合金精制中作为除氧剂、氮化物和碳化物的添加剂，许多厂家在生产三氯化硼时会对三氯化硼进行分装，但是，现有的装置在对三氯化硼进行分装时往往不够简便，使得使用者对装置进行操作时太过繁琐，进而降低了装置的实用性。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种三氯化硼分装装置，以解决现有的问题：现有的装置在对三氯化硼进行分装时往往不够简便，使得使用者对装置进行操作时太过繁琐，进而降低了装置的实用性。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种三氯化硼分装装置，包括精馏塔，所述精馏塔的一侧固定有第一输送管，所述第一输送管的外侧安装有第一电磁阀，所述第一输送管的另一侧固定有成品储罐，所述成品储罐的底部固定有第二输送管，所述第二输送管的外侧安装有第三电磁阀，所述第二输送管的底部安装有钢瓶，所述成品储罐的顶部安装有进气结构，所述进气结构用于向成品储罐内部输送氦气。
5.进一步地，所述进气结构包括输气管和第二电磁阀；
6.所述输气管固定于成品储罐的顶部，所述输气管的外侧安装有第二电磁阀。
7.进一步地，所述第二输送管的底部固定有第一接触片，所述钢瓶的顶部固定有第二接触片，所述第一接触片与第二接触片贴合，所述成品储罐底部的两端均固定有连接柱，所述连接柱的底部焊接有固定框，所述固定框的一侧固定有电机，所述电机的输出端固定有主动锥齿轮；
8.所述主动锥齿轮的顶部和底部均啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮远离主动锥齿轮的一端均焊接有螺纹杆，且所述螺纹杆与固定框转动连接，所述固定框的内侧且位于螺纹杆的两侧均焊接有限位杆，所述限位杆的外侧滑动连接有夹持板，且所述夹持板与螺纹杆螺纹连接。
9.进一步地，两个所述夹持板相互靠近的一端分别增加有软垫，且所述软垫的材质为橡胶。
10.进一步地，所述螺纹杆与固定框通过轴承转动连接。
11.进一步地，所述限位杆与夹持板为间隙配合。
12.本实用新型具有以下有益效果：
13.1、本实用新型通过第一电磁阀、输气管和第三电磁阀之间的相互配合，使得该装置对三氯化硼的分装更加方便，操作也更加简单，提升了装置操作的便捷性。
14.2、本实用新型通过螺纹杆、夹持板和限位杆之间的相互配合，使得两个夹持板对第一接触片和第二接触片进行夹紧，从而对第二输送管和钢瓶的连接处进行固定，避免三氯化硼泄漏。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型成品储罐、第三电磁阀和钢瓶之间的结构示意图；
18.图3为本实用新型成品储罐、连接柱和钢瓶之间的结构示意图；
19.图4为本实用新型图3中a处的放大图；
20.图5为本实用新型螺纹杆、夹持板和限位杆之间的结构示意图。
21.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
22.1、精馏塔；2、第一输送管；3、成品储罐；4、第一电磁阀；5、输气管；6、第二电磁阀；7、第二输送管；8、钢瓶；9、第三电磁阀；10、第一接触片；11、第二接触片；12、连接柱；13、固定框；14、电机；15、主动锥齿轮；16、第二锥齿轮；17、螺纹杆；18、限位杆；19、夹持板。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-5所示，本实用新型为一种三氯化硼分装装置，包括精馏塔1，精馏塔1的一侧固定有第一输送管2，第一输送管2的外侧安装有第一电磁阀4，第一输送管2的另一侧固定有成品储罐3，成品储罐3和精馏塔1之间还设置有一液化器，该液化器用于对气态产品进行液化，从而排入成品储罐3内部，成品储罐3的底部固定有第二输送管7，第二输送管7的外侧安装有第三电磁阀9，第二输送管7的底部安装有钢瓶8，成品储罐3的顶部安装有进气结构，进气结构用于向成品储罐3内部输送氦气。
25.进气结构包括输气管5和第二电磁阀6；
26.输气管5固定于成品储罐3的顶部，输气管5的外侧安装有第二电磁阀6。
27.第二输送管7的底部固定有第一接触片10，钢瓶8的顶部固定有第二接触片11，第一接触片10与第二接触片11贴合，成品储罐3底部的两端均固定有连接柱12，连接柱12的底部焊接有固定框13，固定框13的一侧固定有电机14，电机14的输出端固定有主动锥齿轮15；
28.主动锥齿轮15的顶部和底部均啮合连接有第二锥齿轮16，第二锥齿轮16远离主动锥齿轮15的一端均焊接有螺纹杆17，且螺纹杆17与固定框13转动连接，螺纹杆17与固定框
13通过轴承转动连接，使得螺纹杆17转动时减少与固定框13之间的摩擦力，进而提升了螺纹杆17转动的流畅度，固定框13的内侧且位于螺纹杆17的两侧均焊接有限位杆18，限位杆18的外侧滑动连接有夹持板19，限位杆18与夹持板19为间隙配合，使得限位杆18能够对夹持板19进行限位，避免夹持板19跟随螺纹杆17转动，两个夹持板19相互靠近的一端分别增加有软垫，且软垫的材质为橡胶，使得夹持板19对第一接触片10和第二接触片11夹紧时避免对第一接触片10和第二接触片11造成损伤，且夹持板19与螺纹杆17螺纹连接。
29.本实施例的一个具体应用为：使用者使用该装置时，当需要将三氯化硼充入钢瓶8内时，启动第一电磁阀4，使得精馏塔1内部的气态产品经过液化器再通过第一输送管2进入至成品储罐3内部，接着关闭第一电磁阀4，接着启动第二电磁阀6，使得输气管5可将外部设备中的氦气引入成品储罐3内部，进而能够对成品储罐3内部的三氯化硼进行加压，使得三氯化硼压力加压到0.1～0.2mpa，加压完成后，启动第三电磁阀9，使得成品储罐3内部的三氯化硼通过第二输送管7进入至钢瓶8内部，再关闭第三电磁阀9，从而完成分装工序，进而使得该装置对三氯化硼的分装更加方便，操作也更加简单，提升了装置操作的便捷性；
30.当第二输送管7内部的三氯化硼加入至钢瓶8内部时，将钢瓶8顶部的第二接触片11与第二输送管7底部的第一接触片10合并，如果不加以固定，很可能会造成设备漏气，此时启动电机14，使得电机14的输出端带动主动锥齿轮15转动，进而通过主动锥齿轮15和第二锥齿轮16之间的啮合连接，使得主动锥齿轮15能够带动第二锥齿轮16和螺纹杆17转动，进而通过螺纹杆17和夹持板19之间的螺纹连接，且通过夹持板19和限位杆18之间的滑动连接，使得两个夹持板19能够在限位杆18外侧滑动，且通过两个第二锥齿轮16转动方向相反，进而使得两个夹持板19会向着相反的方向移动，从而使得两个夹持板19对第一接触片10和第二接触片11进行夹紧，从而对第二输送管7和钢瓶8的连接处进行固定，避免三氯化硼泄漏。
31.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
32.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。