歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置的制作方法

1.实施例涉及歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置，更具体地，涉及能够简化排出、去除和取样化学品的过程并提高稳定性和可靠性的歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置。


背景技术：

2.处理对人体有害的化学品的公司(例如，制造化学品的公司，比如制造半导体、lcds、oleds、药物、油漆等的公司)使用各种类型的化学品用于单个过程或多个单元过程。
3.一般来说，化学品通过罐车等供应到主储存罐，并且储存在主储存罐中的一些化学品被分开并储存在多个子储存罐中，使得化学品可以顺序地供应到单个单元过程或者单独地供应到多个单元过程。
4.作为另一种示例，当化学品的数量较少或者当由于化学品的性质而无法使用罐车时，化学品可以通过桶、瓶等直接供应给子储存罐。
5.同时，如果化学品在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中被污染，则在供应化学品的单元过程中可能出现缺陷。因此，有必要将化学品的污染程度控制在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中的每一者上的主要位置处的适当水平。
6.因此，最近已开发取样装置，用于在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等中的每一者的主要位置处对化学品进行取样。
7.然而，在相关技术中，为了在主要位置处排出、清洁和取样化学品，操作者需要在用于各种化学品的喷嘴位置中依次地将取样瓶准确地放置在用于所需化学品的喷嘴位置。此外，在连接的取样管线中的多个阀中，需要精确地操作所需阀以排出、清洁和取样化学品，这使得排出、去除和取样化学品的过程变得复杂。
8.此外，如果在将取样瓶放置在所需化学品的喷嘴位置处的过程中，由于操作者的失误，取样瓶被放置在不正确位置或者阀被错误地操作，则存在的问题是，化学品在没有改变的情况下暴露在取样瓶的外部的底板上，或者操作者在移动包含化学品的取样瓶的过程中暴露于化学品。
9.另外，当通过在多个阀的后端处对管道进行分组来提供放置取样瓶的单个位置以解决上述问题时，残留化学品滞留在从阀的后端到分组管道所限定的空间中，这导致的问题是，在对不同化学品进行取样的过程中，残留化学品影响污染的程度和物质分析的结果。
10.因此，最近已进行各种研究以简化化学品取样的过程并提高稳定性和可靠性，但研究结果仍然不足。因此，需要开发一种技术以简化化学品取样的过程并提高稳定性和可靠性。


技术实现要素：

11.技术问题
12.实施例的一个目的是提供一种歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置，其
能够简化排出、去除和取样化学品的过程，并提高稳定性和可靠性。
13.具体而言，实施例的目的是在单个位置处排出、去除和取样从多个取样管线供应的化学品。
14.实施例的另一个目的是在排出、去除和取样从不同取样管线供应的化学品的过程中，最小化化学品的污染、纯度的劣化和分析结果的误差。
15.实施例的又一个目的是提高与化学品的污染程度和物质的分析相关的精度。
16.实施例的又一个目的是简化结构并提高空间利用率。
17.实施例要实现的目的不限于上述目的，而是还包括可从下文描述的解决方案或实施例中理解的目的或效果。
18.技术解决方案
19.为了实现上述目的，本发明的一种示例性实施例提供了一种歧管组件，该歧管组件包括：主体，该主体具有设置在其中的公共腔室；第一化学品流动通道，该第一化学品流动通道连接到公共腔室并被配置为供应第一化学品；第一阀，该第一阀被配置为选择性地打开或关闭第一化学品流通道；第二化学品流动通道，该第二化学品流动通道连接到所述公共腔室并被配置为供应第二化学品；第二阀，该第二阀被配置为选择性地打开或关闭第二化学品流通道；以及排出流动通道，该排出流动通道被配置为与公共腔室连通并将被引入公共腔室的第一化学品或第二化学品排出到主体的外部。
20.这是为了简化化学品的排出、去除和取样的过程，并提高稳定性和可靠性。
21.根据实施例，无需在每个主要位置处移动包含化学品的取样瓶，这使得可以获得提高稳定性和可靠性并最小化化学品被暴露于操作者的情况的有利效果。
22.第一化学品流动通道可以具有能够向公共腔室供应第一化学品的各种结构。
23.例如，第一化学品流动通道包括：第一供应流动通道，该第一供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第一化学品；第一流入流动通道，该第一流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并配置为与公共腔室连通；以及第一导向流动通道，该第一导向流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与第一供应流动通道和第一流入流动通道连通，并将第一化学品导向至第一流入流动通道。
24.具体地，第一供应流动通道包括第一竖直流动通道，该第一竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第一水平流动通道，该第一水平流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第一竖直流动通道连通。
25.第一阀可以具有能够选择性地打开或关闭第一化学品流动通道的各种结构。本发明不受第一阀的类型和结构的约束或限制。
26.例如，第一阀包括：阀体，该阀体设置成覆盖第一导向流动通道；缸构件，该缸构件设置在阀体中并且被配置为能够在朝向和远离第一导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，该隔膜被配置为通过由缸构件按压而选择性地与第一导向流动通道的壁表面紧密接触。
27.第二化学品流动通道可以具有能够向公共腔室供应第二化学品的各种结构。
28.例如，第二化学品流动通道包括：第二供应流动通道，该第二供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第二化学品；第二流入流动通道，该第二流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与公共腔室连通；以及第二导向流动通道，该第二导向流动通道
设置在主体的侧向表面中，并被配置为与第二供应流动通道和第二流入流动通道连通，并将第二化学品导向至第二流入流动通道。
29.具体地，第二供应流动通道包括第二竖直流动通道，该第二竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第二水平流动通道，该第二水平流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第二竖直流动通道连通。
30.第二阀可以具有能够选择性地打开或关闭第二化学品流动通道的各种结构。本发明不受第二阀的类型和结构的约束或限制。
31.例如，第二阀包括：阀体，该阀体设置成覆盖第二导向流动通道；缸构件，该缸构件设置在阀体中并且被配置为能够在朝向和远离第二导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，该隔膜被配置为通过由缸构件按压而选择性地与第二导向流动通道的壁表面紧密接触。
32.根据本发明的示例性实施例，歧管组件可以包括第三化学品流动通道，该第三化学品流动通道连接到公共腔室并被配置为供应第三化学品，以及第三阀，该第三阀被配置为选择性地打开或关闭第三化学品流动通道。
33.第三化学品流动通道可以具有能够向公共腔室供应第三化学品的各种结构。
34.例如，第三化学品流动通道包括：第三供应流动通道，该第三供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第三化学品；第三流入流动通道，该第三流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并配置为与公共腔室连通；以及第三导向流动通道，该第三导向流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与第三供应流动通道和第三流入流动通道连通，并将第三化学品导向至第三流入流动通道。
35.具体地，第三供应流动通道包括第三竖直流动通道，该第三竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第三水平流动通道，该第三水平流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第三竖直流动通道连通。
36.第三阀可以具有能够选择性地打开或闭合第三化学品流动通道的各种结构。本发明不受第三阀的类型和结构的约束或限制。
37.例如，第三阀包括：阀体，该阀体设置成覆盖第三导向流动通道；缸构件，该缸构件设置在阀体中并且被配置为能够在朝向和远离第三导向流动通道的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜，该隔膜被配置为通过由缸构件按压而选择性地与第三导向流动通道的壁表面紧密接触。
38.根据本发明的示例性实施例，第一倾斜导向表面可以设置在第一流入流动通道的壁表面上，并且第一倾斜导向表面可以在相对于穿过公共腔室的中心的参考线倾斜的方向上导向被引入第一流入流动通道的第一化学品。
39.此外，第二倾斜导向表面可以形成在第二流入流动通道的壁表面上。第二倾斜导向表面可以在相对于穿过公共腔室的中心的参考线倾斜的方向上导向被引入第二流入流动通道的第二化学品。
40.此外，第三倾斜导向表面可以形成在第三流入流动通道的壁表面上。第三倾斜导向表面可以在相对于穿过公共腔室的中心的参考线倾斜的方向上导向被引入第三流入流动通道的第三化学品。
41.如上所述，被引入第一流入流动通道、第二流入流动通道或第三流入流动通道中
的第一化学品、第二化学品或第三化学品沿第一倾斜导向表面、第二倾斜导向表面或第三倾斜导向表面在相对于穿过公共腔室的中心的参考线倾斜的方向上被引导，使得被引入公共腔室中的化学品可以强制地形成具有漩涡形状的涡流。因此，可以获得更有效地去除可能残留在公共腔室和第一流入流动通道、第二流入流动通道或第三流入流动通道中的残余化学品的有利效果。
42.也就是说，由于引入到公共腔室中的化学品可以形成具有漩涡形状的涡流，因此可以最小化当化学品被排出时化学品集中在公共腔室中的特定区域的情况。因此，可以获得更有效地去除可能残留在公共腔室和流入流动通道中的残余化学品的有利效果。
43.本发明的另一示例性实施例提供了一种化学品取样装置，该化学品取样装置包括：第一取样管线，该第一取样管线被配置为供应第一化学品；第二取样管线，该第二取样管线被配置为供应第二化学品；以及歧管组件，该歧管组件包括：主体，该主体具有设置在其中的公共腔室；第一化学品流动通道，该第一化学品流动通道连接到第一取样管线并被配置为向公共腔室供应第一化学品；第一阀，该第一阀被配置用于选择性地打开或关闭第一化学品流动通道；第二化学品流动通道，该第二化学品流动通道连接到第二取样管线并被配置为向公共腔室供应第二化学品；第二阀，该第二阀被配置用于选择性地打开或关闭第二化学品流动通道；以及排出流动通道，该排出流动通道被配置为与公共腔室连通，并将引入公共腔室的第一化学品或第二化学品排出到主体的外部。
44.根据本发明的示例性实施例，第一化学品流动通道包括：第一供应流动通道，该第一供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第一化学品；第一流入流动通道，该第一流入流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与公共腔室连通；以及第一导向流动通道，该第一导向流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第一供应流动通道和第一流入流动通道连通，并将第一化学品导向至第一流入流动通道，第一阀选择性地打开或关闭第一供应流动通道的出口或第一流入流动通道的入口，第二化学品流动通道包括：第二供应流动通道，该第二供应流动通道设置在主体中并被配置为供应第二化学品；第二流入流动通道，该第二流入流动通道设置在主体的侧向表面中，并被配置为与公共腔室连通；以及第二导向流动通道，该第二导向流动通道设置在主体的侧向表面中并被配置为与第二供应流动通道和第二流入流动通道连通，并将第二化学品导向至第二流入流动通道，并且第二阀选择性地打开或关闭第二供应流动通道的出口或第二流入流动通道的入口。
45.根据本发明的示例性实施例，第一供应流动通道包括：第一竖直流动通道，该第一竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第一水平流动通道，该第一水平流动通道设置在第一导向流动通道的壁表面中，并被配置为与第一竖直流动通道连通，第一水平流动通道的一端部限定第一供应流动通道在第一导向流动通道的壁表面中的出口，第二供应流动通道包括：第二竖直流动通道，该第二竖直流动通道设置在主体的上部表面中；以及第二水平流动通道，该第二水平流动通道设置在第二导向流动通道的壁表面中，并被配置为与第二竖直流动通道连通，并且第二水平流动通道的一端部限定第二供应流动通道在第二导向流动通道的壁表面中的出口。
46.根据本发明的示例性实施例，在第一化学品取样之后且在第二化学品取样之前，第二化学品通过公共腔室排放。
47.如上所述，第二化学品不是在第一化学品取样之后立即取样，而是第二化学品在
预定时间内(或以预定流速)通过公共腔室排放。因此，可以获得最小化由残留在公共腔室中的残余化学品(第一化学品)导致的第二化学品的污染、纯度劣化和分析结果的误差的有利效果，以及提高与化学品的污染程度和物质的分析相关的可靠性的有利效果。
48.有益效果
49.根据上述的本发明的实施例，可以获得简化排出、去除和取样化学品的过程以及提高稳定性和可靠性的有利效果。
50.具体地，根据本发明的实施例，可以获得在单个位置处排出、去除和取样从多个取样管线供应的化学品的有利效果。
51.此外，根据本发明的实施例，可以获得在排出、去除和取样从不同取样管线供应的化学品的过程中，最小化化学品的污染、纯度的劣化和分析结果的误差的有利效果。
52.此外，根据本发明的实施例，可以获得提高与化学品的污染程度和物质的分析相关的精度的有利效果。
53.此外，根据本发明的实施例，可以获得简化结构并提高空间利用率的有利效果。
附图说明
54.图1是用于说明根据本发明的一种实施例的化学品储存设施的视图。
55.图2是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的视图。
56.图3是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的排出流动通道的视图。
57.图4是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的导向流动通道的视图。
58.图5a是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的第一化学品流动通道的横截面视图。
59.图5b是示出相关技术中的结构的视图，其中，多条取样管线连接到单个排出流动通道。
60.图6是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的第二化学品流动通道的横截面视图。
61.图7是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的第三化学品流动通道的横截面视图。
62.图8和图9是用于说明根据本发明的实施例的用于操作歧管组件的阀的结构的视图。
63.图10是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件的倾斜导向表面的视图。
具体实施方式
64.在下文中，将参考附图描述本发明的实施例。
65.然而，本发明的技术精神不限于本文描述的一些实施例，而是可以以多种不同形式实现。在本发明的技术精神的范围内，实施例中的一个或更多个组成元件可以被选择性地组合和替换使用。
66.此外，除非另有明确地定义和说明，否则在本发明的实施例中使用的术语(包括技术术语和科学术语)可被解释为可被本发明所属领域的普通技术人员普遍理解的含义。可以考虑相关技术的上下文含义来解释常用术语(比如字典中定义的术语)的含义。
67.此外，在本发明的实施例中使用的术语用于解释实施例，而不是用于限制本发明。
68.在本说明书中，除非另有明确说明，否则单数形式也可以包括复数形式。表述“a、b和c中的至少一个(或一个或更多个)”可以包括可以通过组合a、b和c实现的所有组合中的一个或更多个。
69.此外，术语第一、第二、a、b、(a)和(b)可以用于描述本发明的实施例的组成要素。
70.这些术语仅用于区分一个组成要素与另一个组成要素的目的，并且组成要素的性质、顺序或次序不受这些术语的限制。
71.此外，当一个组成元件被描述为被“连接”、“联接”或“附接”到另一个组成元件时，一个组成元件可以直接连接、联接或附接到另一个组成元件，或者通过插入其间的又一个组成元件连接、联接或附接到另一个组成元件。
72.此外，表述“一个组成元件设置或布置在另一个组成元件的上方(上面)或下方(下面)”不仅包括这两个组成元件彼此直接接触的情况，还包括一个或更多个其他组成元件设置或布置在这两个组成元件之间的情况。表述“上方(上面)或下方(下面)”可以表示基于一个组成元件的向下方向和向上方向。
73.参照图1至图9，根据本发明的一种实施例的歧管组件100包括：主体110，该主体具有设置在其中的公共腔室112；第一化学品流动通道120，该第一化学品流动通道连接到公共腔室112并被配置为供应第一化学品；第一阀152，该第一阀被配置为选择性地打开或关闭第一化学品流通道120；第二化学品流动通道130，该第二化学品流动通道连接到公共腔室112并被配置为供应第二化学品；第二阀154，该第二阀被配置为选择性地打开或关闭第二化学品流通道130；以及排出流动通道114，该排出流动通道被配置为与公共腔室112连通并被配置为将被引入公共腔室112的第一化学品或第二化学品排出到主体110的外部。
74.作为参考，根据本发明的实施例的歧管组件100被设置用于收集通过取样管线l1、l2和l3供应的化学品。例如，歧管组件100可以安装在化学品存储设施1中并构成化学品取样装置10，以便在罐车、桶、瓶、储存罐、管道等上的主要位置处对化学品进行取样。
75.参考图1，化学品存储设施1可以包括自动清洁快速联接器(acqc)单元2、第一化学品储存罐3、化学品分配装置4和多个第二化学品储存罐5和6。
76.acqc单元2可以将从罐车供应的化学品输送到第一化学品储存罐3。化学品分配装置4可以分配储存在第一化学品储存罐3中的一些化学品，并将化学品供应到多个第二化学品储存罐5和6。
77.例如，化学品取样装置10可以通过多条取样管线l1、l2和l3连接到化学品储存罐3、5和6。用于调节化学品的输送的开关阀v和泵p可以设置在取样管线l1、l2和l3中。
78.根据本发明的另一个实施例，气体(例如，氮气或空气)可以被供应到化学品供应源，使得来自化学品供应源的化学品可以通过取样管线输送。
79.在本发明的实施例中，已描述了取样管线l1、l2和l3连接到化学品储存罐的示例。然而，根据本发明的另一实施例，取样管线可以连接到所有类型的化学品供应源，比如供应、储存或输送化学品的罐车、桶、瓶、储存罐和管道。本发明不受取样管线所连接的对象或位置的约束或限制。
80.根据本发明的示例性实施例，歧管组件100包括相应地连接到多个取样管线l1、l2和l3的多个化学品流动通道120、130和140，以及被配置为独立地打开或关闭化学品流动通
道120、130和140的多个阀152、154和156。
81.在下文中，将描述在歧管组件100中形成有三个化学品流动通道的示例，并且三个取样管线l1、l2和l3分别连接到所述化学品流动通道。根据本发明的另一实施例，两个或四个或更多的取样管线可以连接到歧管组件。本发明不受取样管线的数量(化学品流动通道的数量)的约束或限制。
82.更具体地，参照图2至图9，歧管组件100包括：主体110，该主体具有设置在其中的公共腔室112；第一化学品流动通道120，该第一化学品流动通道连接到公共腔室112并被配置为供应第一化学品；第一阀152，该第一阀被配置为选择性地打开或关闭第一化学品流通道120；第二化学品流动通道130，该第二化学品流动通道连接到公共腔室112并被配置为供应第二化学品；第二阀154，该第二阀被配置为选择性地打开或关闭第二导向流动通道136；第三化学品流动通道140，该第三化学品流动通道连接到公共腔室112并被配置为供应第三化学品；第三阀156，该第三阀被配置为选择性地打开或关闭第三化学品流通道140；以及排出流动通道114，该排出流动通道被配置为与公共腔室112连通，并且被配置为将被引入公共腔室112的化学品(第一化学品、第二化学品和第三化学品中的任何一种)排出到主体110的外部。
83.公共腔室112设置在主体110中并容纳化学品(第一化学品、第二化学品和第三化学品中的任何一种)。
84.主体110可以具有各种结构，其中设置有公共腔室112。本发明不受主体110的形状和结构的约束或限制。例如，主体110可以具有近似三角形的横截面形状。
85.设置公共腔室112以在主体110中限定密封的容纳空间，并且该容纳空间容纳化学品。
86.公共腔室112可以具有能够容纳化学品的各种结构。本发明不受公共腔室112的结构和形状的约束或限制。
87.例如，公共腔室112可以以近似圆形块体的形式设置，并布置在主体110的中心部分处。根据本发明的另一实施例，公共腔室可以设置为具有四边形块体形状或其他形状。
88.具体地，公共腔室112的内壁表面可以设置为弯曲表面。在这种情况下，公共腔室112的内壁表面设置为弯曲表面的构造意味着公共腔室112以圆形块体或椭圆形块体的形式设置。
89.由于公共腔室112的内壁表面被配置为如上所述的弯曲表面，因此可以获得最小化将引入公共腔室112的化学品残留在公共腔室112的内壁表面(例如，边缘部分)上的情况的有利效果。
90.第一化学品流动通道120连接到公共腔室112并被配置为向公共腔室112供应第一化学品。
91.第一化学品流动通道120可以具有能够向公共腔室112供应第一化学品的各种结构。
92.例如，参考图5a，第一化学品流动通道120包括：第一供应流动通道122，该第一供应流动通道设置在主体110中并被配置为供应第一化学品；第一流入流动通道124，该第一流入流动通道设置在主体110的侧向表面中，并配置为与公共腔室112连通；以及第一导向流动通道126，该第一导向流动通道设置在主体110的侧向表面中，并被配置为与第一供应
流动通道122和第一流入流动通道124连通，并将第一化学品导向至第一流入流动通道124。
93.具体地，第一供应流动通道122形成为大致“l”形，并包括：第一竖直流动通道122a，该第一竖直流动通道设置在主体110的上部表面(基于图2)中；以及第一水平流动通道122b，该第一水平流动通道设置在主体110的侧向表面中并被配置为与第一竖直流动通道122a连通。根据本发明的另一实施例，第一水平流动通道可以设置在主体的侧向表面中，且第一竖直流动通道可以设置在主体的上部表面(或底部表面)中。
94.第一流入流动通道124与公共腔室112的侧向部分连通，并穿透主体110的侧向表面。也就是说，第一流入流动通道124的一端与公共腔室112的侧向部分连通，并且第一流入流动通道124的另一端暴露于主体110的侧向表面。例如，第一流入流动通道124可以设置为沿穿过公共腔室112的中心的参考线被朝向公共腔室112的中心引导。
95.第一导向流动通道126设置在主体110的外表面(例如，侧向表面)中，并允许第一供应流动通道122和第一流入流动通道124彼此连通。第一导向流动通道126将供应至第一供应流动通道122的第一化学品引导至第一流入流动通道124。
96.更具体地，第一导向流动通道126在主体110的一个侧表面中形成为凹陷圆顶形状，使得第一导向流动通道126设置在主体110的侧向表面和将在下文描述的第一阀152之间。第一供应流动通道122的出口(第一水平流动通道122b的出口)和第一流入流动通道124的入口位于第一导向流动通道126中。
97.在这种情况下，第一水平流动通道122b的出口和第一流入流动通道124的入口位于第一导向流动通道126中的构造意味着第一水平流动通道122b的出口和第一流入流动通道124的入口暴露于第一导向流动通道126的面向第一阀152的壁表面。
98.第一阀152被配置为选择性地打开或关闭第一化学品流动通道120。
99.具体地，第一阀152被配置为选择性地打开或关闭第一供应流动通道122的出口和第一流入流动通道124的入口。
100.作为参考，在第一阀152关闭第一供应流动通道122的出口和第一流入流动通道124的入口的状态下，第一供应流动通道122和第一流入流动通道124可以在空间上完全分离。第一阀152可以关闭第一供应流动通道122的出口和/或第一流入流动通道124的入口。
101.因此，第一阀152可以通过防止第一化学品被引入至第一流入流动通道124来切断通过第一取样管线l1的第一化学品的供应。因此，可以防止第一化学品被进一步引入公共腔室112。
102.残留在公共腔室112、排出流动通道114和第一流入流动通道124中的第一化学品可以通过使用其他化学品去除。例如，当通过第一取样管线l1的第一化学品的供应被切断并且通过第二取样管线l2供应第二化学品(或者通过第三取样管线供应第三化学品)时，排出预定量的第二化学品(或者第三化学品)。因此，可以去除残留在公共腔室112、排出流动通道114和第一流入流动通道124中的第一化学品。残留在公共腔室112、排出流动通道114和第一流入流动通道124中的第二化学品和第三化学品可以通过相同方法去除。
103.然而，本发明不必局限于此。残留在公共腔室112和排出流动通道114中的化学品可以通过使用清洁水去除。例如，在清洁水被连接到第三取样管线l3的情况下，在第一化学品被使用之后，立即通过第三取样管线l3注入清洁水，可以去除残留在公共腔室112、排出流动通道114和第一流入流动通道124中的化学品。此后，可以对另一种化学品进行取样。
104.如果第一化学品、第二化学品和第三化学品分别通过独立的排出流动通道114排出，则排出流动通道(第一化学品通过其排出)不能通过使用另一种化学品来清洁。
105.此外，即使在如图5b所示的通过连接用于第一化学品、第二化学品和第三化学品的取样管线l1、l2和l3形成单个排出流动通道l4的情况下，残留在排出流动通道l4和分别连接到取样管线l1、l2和l3的阀v1、v2和v3之间的化学品也不能通过使用另一种化学品来去除。例如，残留在排出流动通道l4和在第一取样管线l1中的第一阀v1之间的第一化学品c1不能通过使用第二化学品或第三化学品来去除。
106.相比之下，该实施例的优点在于，阀和排出流动通道之间的区域可以通过使用另一种化学品来清洁。也就是说，第一流入流动通道至第三流入流动通道、公共腔室和排出流动通道彼此相邻布置，使得残留化学品可以通过使用另一种化学品来去除。因此，可以获得防止化学品的污染、化学品的纯度劣化和分析结果的误差，并提高与化学品的污染的程度的分析相关的可靠性的有利效果。
107.根据该实施例，第一阀152可以关闭第一供应流动通道122的出口和/或第一流入流动通道124的入口。因此，当通过第一取样管线l1的第一化学品的供应被切断时，可以防止第一供应流动通道122中的第一化学品通过第一流入流动通道124被引入至公共腔室112。
108.第一阀152立即切断第一化学品向第一流入流动通道124的供应，并且第二化学品可以通过第二取样管线l2供应(或者第三化学品可以通过第三取样管线供应)。在这种情况下，用于在对另一种化学品取样之前去除化学品的配置如上所述。此后，为了再次对第一化学品进行取样，在执行取样之前，打开第一阀以排出残留在第一取样管线和第一流入流动通道中的第一化学品。因此，可以对未受污染的第一种化学品进行取样。也就是说，根据该实施例，由于第一化学品的排出由第一阀控制，所以无需在取样管线中设置单独的阀。然而，本发明不必局限于此。如果需要，可以进一步设置单独的阀。
109.第一阀152可以具有能够选择性地打开或关闭第一化学品流动通道120的各种结构。本发明不受第一阀152的类型和结构的约束或限制。
110.具体地，第一阀152可以通过打开或关闭(例如，同时)第一供应流动通道122的出口和第一流入流动通道124的入口来选择性地打开或关闭第一化学品流动通道120。根据本发明的另一实施例，第一阀可以被配置为仅打开或仅关闭第一流入流动通道的入口。
111.更具体地说，参考图8和图9，第一阀152包括：阀体150a，该阀体设置成覆盖第一导向流动通道126；缸构件(cylinder member)150b，该缸构件设置在阀体150a中并且被配置为能够在朝向和远离第一导向流动通道126的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜150c，该隔膜被配置为通过由缸构件150b按压而选择性地与第一导向流动通道126的壁表面紧密接触。
112.第一阀152的阀体150a联接到主体110的外表面，以便覆盖第一导向流动通道126。第一导向流动通道126被限定在第一阀152的阀体150a和主体110的外表面之间。
113.第一阀152的缸构件150b设置在第一阀152的阀体150a中，并且被配置为能够在朝向和远离第一导向流动通道126的壁表面(主体110的侧向表面)的方向上直线移动。
114.第一阀152的缸构件150b可以通过液压或气压在第一阀152的阀体150a中直线移动。本发明不受直线地移动第一阀152的缸构件150b的方法的约束或限制。在一些情况下，
缸构件150b可以被配置为通过马达或其他驱动源直线地移动。
115.隔膜150c可以由柔性材料制成。隔膜150c通过被缸构件150b按压而选择性地与第一导向流动通道126的壁表面紧密接触。在隔膜150c与第一导向流动通道126的壁表面间隔开的状态下，第一供应流动通道122和第一流入流动通道124彼此连通(见图8)。在隔膜150c与第一导向流动通道126的壁表面紧密接触的状态下，第一供应流动通道122和第一流入流动通道124在空间上被彼此阻断(见图9)。
116.参考图6，第二化学品流动通道130连接到公共腔室112，并被配置为向公共腔室112供应第二化学品。
117.第二化学品流动通道130可以具有能够向公共腔室112供应第二化学品的各种结构。
118.例如，第二化学品流动通道130包括：第二供应流动通道132，该第二供应流动通道设置在主体110中并被配置为供应第二化学品；第二流入流动通道134，该第二流入流动通道设置在主体110的侧向表面中，并配置为与公共腔室112连通；以及第二导向流动通道136，该第二导向流动通道设置在主体110的侧向表面中，并被配置为与第二供应流动通道132和第二流入流动通道134连通，并将第二化学品导向至第二流入流动通道134。
119.具体地，第二供应流动通道132形成为大致“l”形，并包括：第二竖直流动通道132a，该第二竖直流动通道设置在主体110的上部表面(基于图2)中；以及第二水平流动通道132b，该第二水平流动通道设置在主体110的侧向表面中并被配置为与第二竖直流动通道132a连通。根据本发明的另一实施例，第二水平流动通道可以设置在主体的侧向表面中，且第二竖直流动通道可以设置在主体的上部表面(或底部表面)中。
120.第二流入流动通道134与公共腔室112的侧向部分连通，并穿透主体110的侧向表面。也就是说，第二流入流动通道134的一端与公共腔室112的侧向部分连通，并且第二流入流动通道134的另一端暴露于主体110的侧向表面。
121.第二导向流动通道136设置在主体110的外表面(例如，侧向表面)中，并允许第二供应流动通道132和第二流入流动通道134彼此连通。第二导向流动通道136将供应至第二供应流动通道132的第二化学品导向至第二流入流动通道134。例如，第二流入流动通道134可以设置为沿穿过公共腔室112的中心的参考线被朝向公共腔室112的中心导向。
122.更具体地，第二导向流动通道136在主体110的另一个侧表面中形成为凹陷圆顶形状，使得第二导向流动通道136设置在主体110的侧向表面和将在下文描述的第二阀154之间。第二供应流动通道132的出口(第二水平流动通道132b的出口)和第二流入流动通道134的入口位于第二导向流动通道136中。
123.在这种情况下，第二水平流动通道132b的出口和第二流入流动通道134的入口位于第二导向流动通道136中的构造意味着第二水平流动通道132b的出口和第二流入流动通道134的入口暴露于第二导向流动通道136的面向第二阀154的壁表面。
124.第二阀154被配置为选择性地打开或关闭第二化学品流动通道130。
125.具体地，第二阀154被配置为打开或关闭第二供应流动通道132的出口和/或第二流入流动通道134的入口。
126.在第二阀154关闭第二供应流动通道132的出口和第二流入流动通道134的入口的状态下，第二供应流动通道132和第二流入流动通道134可以在空间上完全分离。
127.因此，第二阀154可以通过防止第二化学品被引入至第二流入流动通道134来切断通过第二取样管线l2的第二化学品的供应。因此，可以防止第二化学品被引入公共腔室112。
128.如上所述，残留在公共腔室112、流入流动通道134和排出流动通道114中的第二化学品可以通过使用另一种化学品或清洁水来去除。第二阀154可以执行与第一阀相同的功能。
129.第二阀154可以具有能够选择性地打开或关闭第二化学品流动通道130的各种结构。本发明不受第二阀154的类型和结构的约束或限制。
130.具体地，第二阀154可以通过打开或关闭(例如，同时地)第二供应流动通道132的出口和第二流入流动通道134的入口来选择性地打开或关闭第二化学品流动通道130。根据本发明的另一实施例，第二阀可以被配置为仅打开或仅关闭第二流入流动通道的入口。
131.更具体地说，第二阀154包括：阀体150a，该阀体设置成覆盖第二导向流动通道136；缸构件150b，该缸构件设置在阀体150a中并且被配置为能够在朝向和远离第二导向流动通道136的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜150c，该隔膜被配置为通过由缸构件150b(见图8和图9)按压而选择性地与第二导向流动通道136的壁表面紧密接触。
132.第二阀154的阀体150a联接到主体110的外表面，以便覆盖第二导向流动通道136。第二导向流动通道136被限定在第二阀154的阀体150a和主体110的外表面之间。
133.第二阀154的缸构件150b设置在第二阀154的阀体150a中，并且被配置为能够在朝向和远离第二导向流动通道136的壁表面(主体110的侧向表面)的方向上直线移动。
134.第二阀154的缸构件150b可以通过液压或气压在第二阀154的阀体150a中直线移动。本发明不受直线地移动第二阀154的缸构件150b的方法的约束或限制。在一些情况下，缸构件150b可以被配置为通过马达或其他驱动源直线地移动。
135.隔膜150c可以由柔性材料制成。隔膜150c通过被缸构件150b按压而选择性地与第二导向流动通道136的壁表面紧密接触。在隔膜150c与第二导向流动通道136的壁表面间隔开的状态下，第二供应流动通道132和第二流入流动通道134彼此连通。在隔膜150c与第二导向流动通道136的壁表面紧密接触的状态下，第二供应流动通道132和第二流入流动通道134在空间上彼此阻断。
136.参考图7，第三化学品流动通道140连接到公共腔室112，并被配置为向公共腔室112供应第三化学品。
137.第三化学品流动通道140可以具有能够向公共腔室112供应第三化学品的各种结构。
138.第三化学品流动通道140包括：第三供应流动通道142，该第三供应流动通道设置在主体110中并被配置为供应第三化学品；第三流入流动通道144，该第三流入流动通道设置在主体110的侧向表面中，并配置为与公共腔室112连通；以及第三导向流动通道146，该第三导向流动通道设置在主体110的侧向表面中，并被配置为与第三供应流动通道142和第三流入流动通道144连通，并将第三化学品导向至第三流入流动通道144。
139.具体地，第三供应流动通道142形成为大致“l”形，并包括：第三竖直流动通道142a，该第三竖直流动通道设置在主体110的上部表面(基于图2)中；以及第三水平流动通道142b，该第三水平流动通道设置在主体110的侧向表面中并被配置为与第三竖直流动通
道142a连通。根据本发明的另一实施例，第三水平流动通道可以设置在主体的侧向表面中，且第三竖直流动通道可以设置在主体的上部表面(或底部表面)中。
140.第三流入流动通道144与公共腔室112的侧向部分连通，并穿透主体110的侧向表面。也就是说，第三流入流动通道144的一端与公共腔室112的侧向部分连通，并且第三流入流动通道144的另一端暴露于主体110的侧向表面。例如，第三流入流动通道144可以设置为沿穿过公共腔室112的中心的参考线被朝向公共腔室112的中心导向。
141.第三导向流动通道146设置在主体110的外表面(例如，侧向表面)中，并允许第三供应流动通道142和第三流入流动通道144彼此连通。第三导向流动通道146将供应至第三供应流动通道142的第三化学品导向至第三流入流动通道144。
142.更具体地，第三导向流动通道146在主体110的另一个侧表面中形成为凹陷圆顶形状，使得第三导向流动通道146设置在主体110的侧向表面和将在下文描述的第三阀156之间。第三供应流动通道142的出口(第三水平流动通道142b的出口)和第三流入流动通道144的入口位于第三导向流动通道146中。
143.在这种情况下，第三水平流动通道142b的出口和第三流入流动通道144的入口位于第三导向流动通道146中的构造意味着第三水平流动通道142b的出口和第三流入流动通道144的入口暴露于第三导向流动通道146的面向第三阀156的壁表面。
144.第三阀156被配置为选择性地打开或关闭第三化学品流动通道140。
145.具体地，第三阀156被配置为打开或关闭第三供应流动通道142的出口和/或第三流入流动通道144的入口。
146.作为参考，在第三阀156关闭第三供应流动通道142的出口和第三流入流动通道144的入口的状态下，第三供应流动通道142和第三流入流动通道144可以在空间上完全分离。
147.因此，第三阀156可以通过防止第三化学品被引入至第三流入流动通道144来切断通过第三取样管线l3的第三化学品的供应。因此，可以防止第三化学品被引入公共腔室112。
148.如上所述的，残留在公共腔室112、第三流入流动通道144和排出流动通道114中的第三化学品可以通过使用另一种化学品或清洁水来去除。
149.第三阀156可以具有能够选择性地打开或关闭第三化学品流动通道140的各种结构。本发明不受第三阀156的类型和结构的约束或限制。
150.具体地，第三阀156可以通过打开或关闭(例如，同时地)第三供应流动通道142的出口和第三流入流动通道144的入口来选择性地打开或关闭第三化学品流动通道140。根据本发明的另一实施例，第三阀可以被配置为仅打开或仅关闭第三流入流动通道的入口。
151.更具体地说，第三阀156包括：阀体150a，该阀体设置成覆盖第三导向流动通道146；缸构件150b，该缸构件设置在阀体150a中并且被配置为能够在朝向和远离第三导向流动通道146的壁表面的方向上直线移动；以及隔膜150c，该隔膜被配置为通过由缸构件150b(见图8和图9)按压而选择性地与第三导向流动通道146的壁表面紧密接触。
152.第三阀156的阀体150a联接到主体110的外表面，以便覆盖第三导向流动通道146。第三导向流动通道146被限定在第三阀156的阀体150a和主体110的外表面之间。
153.第三阀156的缸构件150b设置在第三阀156的阀体150a中，并且被配置为能够在朝
向和远离第三导向流动通道146的壁表面(主体110的侧向表面)的方向上直线移动。
154.第三阀156的缸构件150b可以通过液压或气压在第三阀156的阀体150a中直线移动。本发明不受直线地移动第三阀156的缸构件150b的方法的约束或限制。在一些情况下，缸构件150b可以由马达或其他驱动源直线移动。
155.隔膜150c可以由柔性材料制成。隔膜150c通过被缸构件150b按压而选择性地与第三导向流动通道146的壁表面紧密接触。在隔膜150c与第三导向流动通道146的壁表面间隔开的状态下，第三供应流动通道142和第三流入流动通道144彼此连通。在隔膜150c与第三导向流动通道146的壁表面紧密接触的状态下，第三供应流动通道142和第三流入流动通道144在空间上彼此阻断。
156.具体地，第一阀152、第二阀154和第三阀156设置在主体110的侧向表面上，并且在公共腔室112的周向方向上以相等间隔彼此隔开。
157.在本发明的实施例中，第一供应流动通道122、第二供应流动通道132和第三供应流动通道142的入口设置在主体110的上部表面中，并且第一阀152、第二阀154和第三阀156安装在主体110的侧向表面上。因此，可以获得将取样管线容易地安装在第一供应流动通道122、第二供应流动通道132和第三供应流动通道142的入口中，而不会在第一阀152、第二阀154和第三阀156之间产生干涉的有利效果。
158.排出流动通道114可以设置在主体110的底部表面中并被配置为与公共腔室112连通。引入公共腔室112的第一化学品、第二化学品或第三化学品可以通过连接到排出流动通道114的排出管线排出到主体110的外部。
159.作为参考，通过排出管线排出的化学品可以储存在容器中(未示出)。装满化学品的容器可以固定至盖，并输送到执行污染的程度和物质的分析的位置。
160.能够储存化学品并具有可选择性分离的盖的各种储存器件可以用作容器。本发明不受容器的结构和形状的约束或限制。
161.例如，能够储存化学品的取样瓶可以用作容器。盖可以通过沿形成在容器的注射端口上的螺纹旋转被紧固至容器或与容器分离。
162.具体地，在化学品通过排出流动通道114排出之前，残留在公共腔室112中的残余化学品可以被排放装置(未示出)收集。
163.也就是说，即使在第一化学品排出之后，少量的第一化学品可能残留在公共腔室112中。随着预定时间的流逝，残留在公共腔室112中的化学品有可能滞留并被污染或导致沉积。在这种情况下，如果第二化学品(或第三化学品)通过公共腔室112排出，则储存在取样瓶中的第二化学品包括少量的第一化学品。由于这个原因，存在的问题是第二化学品的纯度降低或被污染，并且与化学品恶化的物质和污染程度的分析相关的可靠性降低。
164.相比较而言，根据该实施例，第二化学品不在第一化学品取样之后立即取样，而是在穿过公共腔室112一段预定时间(或以预定流速)的同时，由排放装置排出第二化学品。因此，可以获得最小化由残留在公共腔室112中的残余化学品(第一化学品)导致的第二化学品的污染和纯度劣化的有利效果，以及提高与化学品的污染程度和物质的分析相关的可靠性的有利效果。
165.此外，根据本发明的示例性实施例，第一流入流动通道124、第二流入流动通道134和第三流入流动通道144均与公共腔室112连通，使得在排放第二化学品的过程中被引入到
公共腔室112中的第二化学品可以去除(排放)可能残留在第一流入流动通道124和第三流入流动通道144中的另一种化学品以及附着到隔膜150c的外表面(面向公共腔室112的表面)的另一种化学品。因此，可以获得更有效地防止第二化学品的污染和纯度劣化的有利效果。
166.同时，图10是用于说明根据本发明的实施例的歧管组件100的倾斜导向表面的视图。此外，与上述配置中的零件相同或等同的零件将由相同或等同的附图标记表示，并且将省略其详细描述。
167.在以上示出和描述的本发明的实施例中，已描述了第一流入流动通道124、第二流入流动通道134和第三流入流动通道144被设置为导向公共腔室112的中心的示例。然而，根据本发明的另一实施例，第一流入流动通道124、第二流入流动通道134和第三流入流动通道144可以相对于穿过公共腔室112的中心x的参考线cl倾斜。
168.参照图10，第一倾斜导向表面124a可以形成在第一流入流动通道124的壁表面上。第一倾斜导向表面124a可以在相对于穿过公共腔室112的中心x的参考线cl倾斜的方向上导向被引入第一流入流动通道124的第一化学品。
169.此外，第二倾斜导向表面可以形成在第二流入流动通道134的壁表面上。第二倾斜导向表面可以在相对于穿过公共腔室112的中心x的参考线cl倾斜的方向上导向被引入第二流入流动通道134的第二化学品。
170.同样地，第三倾斜导向表面144a可以形成在第三流入流动通道144的壁表面上。第三倾斜导向表面144a可以在相对于穿过公共腔室112的中心x的参考线cl倾斜的方向上导向被引入第三流入流动通道144的第三化学品。
171.第一倾斜导向表面124a、第二倾斜导向表面和第三倾斜导向表面144a的倾斜角度θ可以在在公共腔室112中强制形成具有漩涡形状的涡流的范围内不同地变化。本发明不受第一倾斜导向表面124a、第二倾斜导向表面和第三倾斜导向表面144a的倾斜角度θ的约束或限制。
172.如上所述，被引入至第一流入流动通道124、第二流入流动通道134或第三流入流动通道144中的第一化学品、第二化学品或第三化学品沿第一倾斜导向表面124a、第二倾斜导向表面或第三倾斜导向表面144a在相对于穿过公共腔室112的中心x的参考线cl倾斜的方向上被导向，使得被引入至公共腔室112中的化学品可以强制地形成具有漩涡形状的涡流。因此，可以获得更有效地去除可能残留在公共腔室112和第一流入流动通道124、第二流入流动通道134或第三流入流动通道144中的残余化学品的有利效果。
173.也就是说，由于引入到公共腔室112中的化学品可以形成具有漩涡形状的涡流，因此可以最小化排出化学品时化学品被集中在公共腔室112中的特定区域的情况。因此，可以获得更有效地去除可能残留在公共腔室112和流入流动通道中的残余化学品的有利效果。
174.上文已经描述了多个实施例，但是所述实施例仅仅是说明性的，并不意在限制本发明。本领域技术人员可以理解，在不脱离本发明的固有特征的情况下，可以进行上文未描述的各种修改和变更。例如，可以修改并随后实施在所述实施例中具体描述的各个组成元件。此外，应当理解，与修改和应用相关的差异包括在由所附权利要求限定的本发明的范围内。