一种便于检修的特气柜的制作方法

文档序号:32558290发布日期:2022-12-14 04:41阅读:62来源:国知局
一种便于检修的特气柜的制作方法

1.本实用新型涉及特气柜技术领域,特别涉及一种便于检修的特气柜。


背景技术:

2.特气柜主要用要供应特种气体,如易燃,易爆,剧毒等,主要用于半导体和led的新兴行业,全自动特气柜在led、半导体、集成电路工艺制程中广泛应用,特气柜是一种储罐,用来储存气体,适用于要保持气体压力不变的气体储存,特气柜的作用是收集气体贮存气体,稳定后续工段的需要,及开停车的负荷波动,气柜顶是浮动的,浮顶可以随气体量的增加而上升,随气体量的减少而下降,使里面的气体保持一定的压力,气柜分为干式气柜和湿式气柜,干式气柜又分为柔性膜密封式、油液密封式、油脂密封式;柔性膜密封式气柜,湿式气柜主要由水槽和钟罩组成,钟罩分为数节(可随煤气输入输出而升降),按升降方式不同,可分为直立式和螺旋式两种;
3.现有的特气柜在使用时发现以下不足:
4.1、柜体上的盖子多为直接使用螺栓螺纹安装,进行检修时,需要将螺栓全部卸下,不便于及时对损坏的零部件进行检修。
5.2、因为不方便移动的特征在发生故障后,无法快速转移到安全地区,具备一定的安全隐患。故此,我们提出一种便于检修的特气柜。


技术实现要素:

6.本实用新型的主要目的在于提供一种便于检修的特气柜,可以有效解决背景技术中的问题。
7.为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
8.一种便于检修的特气柜,包括特气柜柜体,所述特气柜柜体为箱型结构,且特气柜柜体的内腔贯穿特气柜柜体的前后端面,所述特气柜柜体的后端通过铰链活动安装有后盖板,所述特气柜柜体的前端中部固定安装有一号隔板,所述特气柜柜体的前端上部固定安装有防护机构,所述特气柜柜体的前端下部通过铰链活动安装有安全门,所述安全门上固定安装有门锁,所述特气柜柜体的左内壁面和右内壁面之间共同固定安装有二号隔板,所述二号隔板的前端固定安装有多个一号安装架,所述防护机构的内壁面上固定安装有多个二号安装架,所述特气柜柜体内设置有输气管路。
9.优选的,所述防护机构包括安装板,所述安装板上开设有贯穿其前后两端的检修槽,所述安装板的前端右部固定安装有一号锁扣,所述安装板的前端通过铰链活动安装有防护门,所述防护门的前端右部固定安装有把手,所述防护门的右端固定安装有二号锁扣,所述一号锁扣和二号锁扣呈上下平行设置。
10.优选的,所述安装板固定安装在特气柜柜体的前端,所述二号安装架与安装板固定连接,所述检修槽与特气柜柜体内部相连通。
11.优选的,所述特气柜柜体的左端和右端均固定卡接有两个呈上下分布的散热窗。
12.优选的,输气管路的上端向上延伸至特气柜柜体的上端,所述输气管路通过一号安装架和二号安装架固定安装在二号隔板安装板之间。
13.优选的,所述一号隔板的前端面与特气柜柜体的前端面齐平,所述所述一号隔板的厚度与特气柜柜体的壁厚一致;所述二号隔板呈竖直设置且将特气柜柜体的内腔分为前后两个空腔。
14.优选的,所述特气柜柜体的下端固定安装有四个呈矩形阵列分布的万向轮。
15.与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
16.1.本实用新型中,通过设置防护机构,当需要使用进气控制阀和气体流量控制阀对气体的流量进行控制时,利用把手将防护门打开,即可轻松的调节气体流量,在调节过程中,还可以观察到输气管路的质量情况,若需要对输气管路进行检修,维修人员可直接将手通过检修槽伸入特气柜柜体内进行检修,使得检修更加简便,使得损坏的零部件能够第一时间得到检修,实用性更高。
17.2.本实用新型中,通过设置四个万向轮,四个万向轮便于在发生故障时进行紧急移动,移动到安全地区,避免了安全隐患。
附图说明
18.图1为本实用新型一种便于检修的特气柜的整体结构示意图;
19.图2为本实用新型一种便于检修的特气柜的整体结构示意图;
20.图3为本实用新型一种便于检修的特气柜的防护机构的结构示意图;
21.图4为本实用新型一种便于检修的特气柜的防护机构的结构示意图;
22.图5为本实用新型一种便于检修的特气柜的部分结构示意图。
23.图中:1、特气柜柜体;2、后盖板;3、安全门;31、门锁;4、防护机构;5、一号隔板;6、万向轮;7、散热窗;8、输气管路;9、一号安装架;10、二号隔板;11、二号安装架;41、安装板;42、检修槽;43、一号锁扣;44、防护门;45、把手;46、二号锁扣;81、进气管路;811、进气控制阀;812、气体流量控制阀;813、气体压力计;82、出气管路。
具体实施方式
24.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
25.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
26.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.如图1-5所示,一种便于检修的特气柜,特气柜柜体1为箱型结构,且特气柜柜体1的内腔贯穿特气柜柜体1的前后端面,包括特气柜柜体1,特气柜柜体1的后端通过铰链活动安装有后盖板2,特气柜柜体1的前端中部固定安装有一号隔板5,特气柜柜体1的前端上部固定安装有防护机构4,防护机构4使得检修更加简单快速;特气柜柜体1的前端下部通过铰链活动安装有安全门3,安全门3上固定安装有门锁31,特气柜柜体1的左内壁面和右内壁面之间共同固定安装有二号隔板10,二号隔板10的前端固定安装有多个一号安装架9,防护机构4的内壁面上固定安装有多个二号安装架11,特气柜柜体1内设置有输气管路8,一号安装架9和二号安装架11起到固定输气管路8的作用。
28.防护机构4包括安装板41,安装板41上开设有贯穿其前后两端的检修槽42,检修槽42使得检修时更加快速,使得检修更加简便,使得损坏的零部件能够第一时间得到检修;安装板41的前端右部固定安装有一号锁扣43,安装板41的前端通过铰链活动安装有防护门44,防护门44的前端设置为便于观察特气柜柜体1内情况的透明玻璃板;防护门44的前端右部固定安装有把手45,把手45用于开关防护门44的作用;防护门44的右端固定安装有二号锁扣46,一号锁扣43和二号锁扣46呈上下平行设置;一号锁扣43和二号锁扣46相配合使用,便于将防护门44锁住;安装板41固定安装在特气柜柜体1的前端,二号安装架11与安装板41固定连接,检修槽42与特气柜柜体1内部相连通。
29.特气柜柜体1的左端和右端均固定卡接有两个呈上下分布的散热窗7;散热窗7起到散热的作用;输气管路8的上端向上延伸至特气柜柜体1的上端,输气管路8通过一号安装架9和二号安装架11固定安装在二号隔板10安装板41之间;特气柜柜体1的下端固定安装有四个呈矩形阵列分布的万向轮6,通过设置四个万向轮6,四个万向轮6便于在发生故障时进行紧急移动,移动到安全地区,避免了安全隐患。
30.一号隔板5的前端面与特气柜柜体1的前端面齐平,一号隔板5的厚度与特气柜柜体1的壁厚一致;二号隔板10呈竖直设置且将特气柜柜体1的内腔分为前后两个空腔
31.输气管路8包括进气管路81和出气管路82,输气管路8有三个进气口和一个出气口,由三个进气管路81和一个出气管路82组成,且进气管路81与出气管路82相连,每一个进气管路81都包括一个进气控制阀811、若干个气体流量控制阀812和一个气体压力计813,进气管路81用于气体输入,三个进气管路81中输入的气体在出气管路82中混合并由出气管路82输出。
32.需要说明的是,本实用新型为一种便于检修的特气柜,使用时,先利用把手45将防护门44打开,随后将三种不同的气体分别通入三个输气管路8的进气管路81内,再利用进气控制阀811和气体流量控制阀812控制进气的流量,随后三种不同的气体流入出气管路82,混合后,从出气口流出,在进行气体流量控制的同时,可以观察到输气管路8的质量情况,若需要对特气柜柜体1内上侧的输气管路8进行检修,只需将防护门44打开,随后维修人员可将手通过维修槽42伸进特气柜柜体1内进行维修,需要对特气柜柜体1内下侧的输气管路8进行维修时,只需将安全门3打开,即可轻松的对输气管路8进行检修,操作简单,安全实用。
33.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型
要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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