开盒治具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及开盒治具。


背景技术：

2.薄膜车间相关的机台常用pod盒来存放晶片，取片时，往往会使用开盒工具来打开pod盒，现有的开盒工具常常会导致pod盒的底座损坏，损坏之后，需将其拆除进行维修，导致pod盒无法正常使用，影响作业的效率，增加作业成本。近年来，工作人员常采用薄膜lam9600机台的smif进行取片，但由于工作环境以及开盒时间的限制，极易导致工作人员划伤或烫伤，存在较大的安全隐患。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供开盒治具，旨在有效避免由于操作人员施力不均而导致盖体倾斜，对盒体造成损坏，提高该开盒治具的使用可靠性。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.开盒治具，包括：
6.控位盘，所述控位盘用于抵接于盒体的表面，所述盒体上设有开口，所述开口处盖设有盖体，所述盖体与所述盒体螺纹连接，所述盖体上设有至少两个开孔，所述控位盘能完全盖设于所述盖体上；
7.支撑组件，固定连接于所述控位盘的上表面，所述支撑组件包括连接件和扭动件，所述连接件与所述控位盘连接，所述扭动件固定设于所述连接件远离所述控位盘的一端；
8.接入件，至少两个所述接入件固定设于所述控位盘的下表面，所述接入件与所述开孔相对应。
9.可选地，所述连接件和所述扭动件均为杆状结构，且所述连接件与所述扭动件相互垂直设置。
10.可选地，所述支撑组件为t型结构。
11.可选地，所述连接件的一端设于所述控位盘的中心处。
12.可选地，所述连接件与所述扭动件的长度方向的中心处连接。
13.可选地，所述扭动件的长度大于所述控位盘的直径。
14.可选地，所述接入件为两个，两个所述接入件相对所述控位盘的轴线对称设置。
15.可选地，所述控位盘的直径为45mm-55mm。
16.可选地，所述接入件的长度为8mm-12mm。
17.可选地，所述扭动件的长度为55mm-65mm。
18.本实用新型的有益效果：本实用新型提供的开盒治具，使用时，接入件插入对应的开孔内，控位盘抵接于盒体的表面，旋钮扭动件，扭动件带动连接件、控位盘和接入件转动，所有接入件沿控位盘的周向运动以带动盖体旋转，使盖体与盒体分离，完成开盒操作，控位盘完全盖设于盖体，避免由于操作人员施力不均而导致盖体倾斜，对盒体造成损坏，提高了
该开盒治具的使用可靠性。
附图说明
19.图1是本实用新型实施例提供的开盒治具的结构示意图。
20.图中：
21.1、控位盘；2、支撑组件；21、连接件；22、扭动件；3、接入件。
具体实施方式
22.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
23.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
25.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
26.如图1所示，本实施例提供了一种开盒治具，该开盒治具包括控位盘1、支撑组件2和接入件3，控位盘1用于抵接于盒体的表面，盒体上设有开口，开口处盖设有盖体，盖体与盒体螺纹连接，盖体上设有至少两个开孔，控位盘1能完全盖设于盖体上；支撑组件2固定连接于控位盘1的上表面，支撑组件2包括连接件21和扭动件22，连接件21与控位盘1连接，扭动件22固定设于连接件21远离控位盘1的一端；至少两个接入件3固定设于控位盘1的下表面，接入件3与开孔相对应。
27.本实用新型提供的开盒治具，使用时，接入件3插入对应的开孔内，控位盘1抵接于盒体的表面，旋钮扭动件22，扭动件22带动连接件21、控位盘1 和接入件3转动，所有接入件3沿控位盘1的周向运动以带动盖体旋转，使盖体与盒体分离，完成开盒操作，控位盘1完全盖设于盖体，避免由于操作人员施力不均而导致盖体倾斜，对盒体造成损坏，提高了该开盒治具的使用可靠性。
28.可选地，连接件21和扭动件22均设为杆状结构，易于加工，提高了加工效率，且连接件21与扭动件22相互垂直设置，便于工作人员对支撑组件2握持。
29.进一步地，支撑组件2为t型结构，连接件21和扭动件22连接形成t型结构，t型结构便于握持，进而地提高了操作便利性。
30.安装时，连接件21的一端设于控位盘1的中心处，以保证连接件21作用于控位盘1的力尽量均匀，以提高操作的安全性，避免由于控位盘1受力不均导致盒体损坏。
31.具体地，连接件21与扭动件22的长度方向的中心处连接，进一步保证操作人员施力的均匀性。
32.于本实施例中，扭动件22的长度大于控位盘1的直径，以增加扭动件22 与操作人员的接触面积，更进一步提高了该开盒治具的受力均匀性。
33.可选地，接入件3的数量为两个，两个接入件3相对控位盘1的轴线对称设置。两个接入件3分别位于控位盘1轴线的两侧，接入件3在转动时，两个接入件3能更好地带动盖体旋转，提高了开盒效率。在其他实施例中，本领域技术人员可根据实际需要设定接入件3的数量。
34.优选地，接入件3的表面做抛光处理，且其插入开孔内的一端进行倒角处理，以提高其进入开孔的速度，提高开盒效率。
35.可选地，控位盘1的直径为45mm-55mm，控位盘1的高度为8mm-12mm。于本实施例中，控位盘1的直径设为50mm，控位盘1的高度优选为10mm。如此设置，能有效提高该开盒治具与pod盒的适配度。
36.可选地，接入件3的长度为8mm-12mm，接入件3的直径为2mm-4mm。于本实施例中，接入件3的长度设为10mm，接入件3的直径设为3mm，以提高与开孔的适配度。
37.可选地，扭动件22的长度为55mm-65mm，扭动件22的直径为8mm-12mm。
38.于本实施例中，扭动件22的长度为60mm，扭动件22的直径为10mm，便于人工握持。
39.可选地，连接件21的长度为15mm-25mm；连接件21的直径为8mm-12mm。
40.于本实施例中，连接件21的长度为20mm；连接件21的直径为10mm。具体地，当接入件3设有两个时，两个接入件3之间的距离为2mm-4mm，优选为3mm。
41.在其他实施例中，本领域技术人员可根据实际需要设定控位盘1、接入件3、扭动件22和连接件21的具体尺寸。
42.可选地，该开盒治具的材质为sus304或sus316不锈钢，sus304或sus316 不锈钢的重量轻，且具有一定的强度。
43.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。