一种高纯或低温介质充装方法及系统与流程

本发明涉及介质充装，尤其涉及一种高纯或低温介质充装方法及系统。

背景技术：

1、许多工业设备在使用过程中，采用某种高纯介质或低温介质作为工作介质，介质充装是设备使用前必须要完成的工序。采用的工作介质对纯度有要求，如果工作介质温度较低，充装过程则需要严格控制设备中的杂质含量。

2、对于高纯介质而言，尽可能降低其他介质残留量及避免充装过程中其他介质混入的风险；对于低温介质而言，尽可能降低设备腔体中的水蒸气等易于凝结气体的含量，并避免充装过程中这些易于凝结气体的混入风险。

3、为了解决上述问题，设计了一种高纯或低温介质充装方法及系统。

4、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本发明提供了一种高纯或低温介质充装方法及系统，从而有效解决背景技术中的问题。

2、为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种高纯或低温介质充装方法，包括以下步骤：

3、真空排气，交叉转换阀切换至真空排气档位，接通第一流道接口与第三流道接口，接通第二流道接口与第四流道接口，关闭放空阀和充装阀，打开截断阀，接通真空泵组与充气管道及目标设备腔体，对充气管道与目标设备腔体进行真空排气；

4、介质充装，交叉转换阀切换至介质充装档位，接通第一流道接口与第二流道接口，接通第三流道接口与第四流道接口，断开真空泵组，打开充装阀与截断阀，关闭放空阀，对目标设备腔体进行介质充装；

5、关闭系统，观察压力测量元件示数，判断充装状态，确定充装完成，关闭截断阀与充装阀，关闭真空泵组。

6、进一步地，所述交叉转换阀包括阀座与阀芯，所述阀座包括四个流道接口，分别为所述第一流道接口、所述第二流道接口、所述第三流道接口和所述第四流道接口，所述阀芯包括两个流道，分别为a流道与b流道；

7、其中，在所述真空排气档位时，所述a流道两端分别与所述第一流道接口和所述第三流道接口连通，所述b流道两端分别与所述第二流道接口和所述第四流道连通；

8、在所述介质充装档位时，所述a流道两端分别与所述第一流道接口和所述第二流道接口连通，所述b流道两端分别与所述第三流道接口和所述第四流道接口连通。

9、进一步地，所述交叉转换阀的档位切换通过所述阀芯相对所述阀座的旋转实现；

10、其中，所述阀座的四个流道接口沿旋转方向均匀分布，所述阀芯的两个流道相对旋转轴中心对称。

11、进一步地，所述阀芯与所述阀座之间采用软密封，所述阀芯的材料选用聚四氟乙烯或聚三氟氯乙烯，所述阀座的材料选用304不锈钢或316l不锈钢。

12、进一步地，所述真空泵组包括机械泵与分子泵，所述机械泵为无油真空泵。

13、进一步地，所述交叉转换阀与所述截断阀相连的管路上设置有压力测量元件，所述交叉转换阀与所述充装阀相连的管路上设置有压力测量元件。

14、进一步地，所述充装阀远离所述交叉转换阀的一端管道连接介质充装容器。

15、本发明还包括一种高纯或低温介质充装系统，使用如上述的方法，包括：

16、交叉转换阀，所述交叉转换阀包括四个流道接口，分别为所述第一流道接口、所述第二流道接口、所述第三流道接口和所述第四流道接口；

17、真空泵组，所述真空泵组与所述第一流道接口和所述第二流道接口均连通；

18、充装介质容器，所述充装介质容器与所述第三流道接口连通；

19、目标设备腔体，所述目标设备腔体与所述第四流道接口连通；

20、放空阀，所述放空阀设置在所述交叉转换阀与所述充装介质容器相连通的管道上，所述放空阀的一端与管道连接，另一端与大气连接；

21、充装阀，所述充装阀设置在所述交叉转换阀与所述充装介质容器相连通的管道上，且靠近所述充装介质容器；

22、截断阀，所述截断阀设置在所述交叉转换阀与所述目标设备腔体相连通的管道上。

23、本发明的有益效果为：通过切换交叉转换阀档位，接通对应的流道接口，关闭放空阀和充装阀，打开截断阀，接通真空泵组与充气管道及目标设备腔体，实现充气管道与目标设备腔体的真空排气；然后切换交叉转换阀的介质充装档位，连接对应的流道接口，断开真空泵组，打开充装阀与截断阀，关闭放空阀，对目标腔体进行介质充装；最后关闭系统；一系列操作，实现了真空排气与介质充装两个过程的无缝衔接，轻松实现对目标腔体进行高纯介质或者低温介质的充装，避免充装过程的充装介质污染，充装操作方法简单，避免管道的拆卸，提高充装效率。

技术特征：

1.一种高纯或低温介质充装方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述交叉转换阀包括阀座与阀芯，所述阀座包括四个流道接口，分别为所述第一流道接口、所述第二流道接口、所述第三流道接口和所述第四流道接口，所述阀芯包括两个流道，分别为a流道与b流道；

3.根据权利要求2所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述交叉转换阀的档位切换通过所述阀芯相对所述阀座的旋转实现；

4.根据权利要求3所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述阀芯与所述阀座之间采用软密封，所述阀芯的材料选用聚四氟乙烯或聚三氟氯乙烯，所述阀座的材料选用304不锈钢或316l不锈钢。

5.根据权利要求1所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述真空泵组包括机械泵与分子泵，所述机械泵为无油真空泵。

6.根据权利要求1所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述交叉转换阀与所述截断阀相连的管路上设置有压力测量元件，所述交叉转换阀与所述充装阀相连的管路上设置有压力测量元件。

7.根据权利要求1所述的高纯或低温介质充装方法，其特征在于，所述充装阀远离所述交叉转换阀的一端管道连接介质充装容器。

8.一种高纯或低温介质充装系统，其特征在于，使用如权利要求1至7中任一项所述的方法，包括：

技术总结
本发明涉及介质充装技术领域，尤其涉及一种高纯或低温介质充装方法及系统，方法包括：真空排气，切换至真空排气档位，接通第一流道接口与第三流道接口，接通第二流道接口与第四流道接口，关闭放空阀和充装阀，打开截断阀，接通真空泵组与充气管道及目标设备腔体；介质充装，切换至介质充装档位，接通第一流道接口与第二流道接口，接通第三流道接口与第四流道接口，断开真空泵组，打开充装阀与截断阀，关闭放空阀；关闭系统，关闭截断阀、充装阀和真空泵组。本发明中，真空排气，然后介质充装；最后关闭系统；一系列操作，实现真空排气与介质充装两个过程的无缝衔接，避免充装过程的充装介质污染，充装操作方法简单，避免管道拆卸，提高充装效率。

技术研发人员：杨冬冬,姜思敏
受保护的技术使用者：江苏克劳特低温技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/22