技术编号:36790078
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及介质充装,尤其涉及一种高纯或低温介质充装方法及系统。背景技术、许多工业设备在使用过程中,采用某种高纯介质或低温介质作为工作介质,介质充装是设备使用前必须要完成的工序。采用的工作介质对纯度有要求,如果工作介质温度较低,充装过程则需要严格控制设备中的杂质含量。、对于高纯介质而言,尽可能降低其他介质残留量及避免充装过程中其他介质混入的风险;对于低温介质而言,尽可能降低设备腔体中的水蒸气等易于凝结气体的含量,并避免充装过程中这些易于凝结气体的混入风险。、为了解决上述问题,设计了一种高纯或...
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