一种气瓶接口用防泄漏装置的制作方法

本技术涉及的是一种气瓶接口用防泄漏装置，具体涉及一种半导体生产用有毒、腐蚀性气体供应系统用的气瓶接口用防泄漏装置。

背景技术：

1、在半导体生产过程中，需要使用多种有毒、腐蚀性特种气体，为保证大流量的特种气体供应，一般采用供应能力大的t瓶（940l）和y（470l）瓶。由于t/y瓶体积较大，无法放入气柜中使用，一般供应系统设计中，将t/y瓶直接放在供应气体间内，通过特气管道连接至气体供应柜中（图1）。

2、现有技术中，为了确保气体供应的安全性，气体供应间会设置环境点气体侦测器与房间主排气处理系统联动，在钢瓶接口部位及其它气体系统点设置气体泄漏侦测器，侦测器侦测到数值后，联动房间应急排风系统，将气体房间环境内的泄漏气体抽入主排气处理系统，净化达标后排入大气。在气体供应系统实际使用中，气体泄漏风险较大的是在钢瓶更换时钢瓶接口拆除有残留、接口垫片密封不良时，最容易产生泄漏，从而会对气体供应间整个特种气体供应系统的可靠性、安全性产生不良影响。

技术实现思路

1、本实用新型提出的是一种气瓶接口用防泄漏装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，避免小微量气体泄漏扩散而导致对气体供应间环境内作业人员和设备造成危害的风险。

2、本实用新型的技术解决方案：一种气瓶接口用防泄漏装置，在气体钢瓶接口位置安装一个排气箱，通过电动蝶阀、排气管道连接至气体供应间主排气处理系统，在钢瓶接口位置持续形成一个负压排气空间；同时在排气箱的排气管道上安装气体侦测器取样管，侦测器侦测泄漏可调节电动蝶阀开度，提高排气箱排气负压值，增大排气箱内排气量，即可将钢瓶接口部位的泄漏气体抽入主排气处理系统净化达标后排入大气。

3、具体的，包括密闭包裹在气体钢瓶的管道接口外侧的排气箱，排气箱通过带电动蝶阀和压差计的排气管道连通主排气处理系统，持续形成负压排气空间，侦测器本体的取样管连接排气管道，侦测器本体和压差计分别信号连接控制模块。侦测器本体检测泄漏时，可调节电动蝶阀开度提高排气箱内排气负压，增大排气箱内排气量。

4、优选的，在所述的排气箱外侧上设与控制模块信号连接的气缸，气缸输出端连接位于排气箱内侧的调节挡板，调节挡板尺寸与排气箱其中一内侧面尺寸配合，排气箱内壁中部设有限位块。可用于调节排气压差，在气体泄漏时，气缸控制调节挡板推出，增加排气负压。

5、本实用新型的优点：结构设计合理，可防止气体钢瓶接口发生的小微量气体泄漏时逸出扩散到气体房间环境内，避免由于整个气体间的环境点侦测器泄漏报警，导致其它相关设备报警和供应中断，提高整个气体供应系统安全性和可靠性。

技术特征：

1.一种气瓶接口用防泄漏装置，其结构包括带有管道接口（2）的气体钢瓶（1），管道接口（2）通过气体管道（3）连接气体供应柜（4），气体供应柜（4）连接主排气处理系统（5），其特征在于，还包括密闭包裹在气体钢瓶（1）的管道接口（2）外侧的排气箱（6），排气箱（6）通过带电动蝶阀（7）和压差计（9）的排气管道（8）连通主排气处理系统（5），侦测器本体（10）的取样管（12）连接排气管道（8），侦测器本体（10）和压差计（9）分别信号连接控制模块（11）。

2.如权利要求1所示的一种气瓶接口用防泄漏装置，其特征在于，在所述的排气箱（6）外侧上设与控制模块（11）信号连接的气缸（13），气缸（13）输出端连接位于排气箱（6）内侧的调节挡板（14），调节挡板（14）尺寸与排气箱（6）其中一内侧面尺寸配合，排气箱（6）内壁中部设有限位块（15）。

技术总结
本技术是一种气瓶接口用防泄漏装置，在气体钢瓶接口位置安装一个排气箱，通过电动蝶阀、排气管道连接至气体供应间主排气处理系统，在钢瓶接口位置持续形成一个负压排气空间；同时在排气箱的排气管道上安装气体侦测器取样管，侦测器侦测泄漏可调节电动蝶阀开度，提高排气箱排气负压值，增大排气箱内排气量，即可将钢瓶接口部位的泄漏气体抽入主排气处理系统净化达标后排入大气。本技术的优点：结构设计合理，可防止气体钢瓶接口发生的小微量气体泄漏时逸出扩散到气体房间环境内，避免由于整个气体间的环境点侦测器泄漏报警，导致其它相关设备报警和供应中断，提高整个气体供应系统安全性和可靠性。

技术研发人员：晏青松,蒋锋,王凯,陈志佳,华海洲,巩进
受保护的技术使用者：中电智维（上海）科技有限公司
技术研发日：20230707
技术公布日：2024/2/19