防止供应泵憋压的化学品输送柜的制作方法

本申请涉及调节系统，且特别涉及一种防止供应泵憋压的化学品输送柜。

背景技术：

1、半导体制程需要使用湿式化学品，其主要用于清洗、涂胶、去胶、显影、金属化、抛光研磨等工艺。这些工艺所需的化学品通常需要在厂务站房通过管路输送到厂房的不同需求区域。行业内常用的化学品供应方式为由化学品输送柜(cdm)经由阀门分配箱(vmb)送往机台(tool)。在上述输送方式的实际应用中，由于输送管道的管径大小、流体粘性强弱、流量大小等因素影响，化学品输送柜容易产生管路及供应泵憋压现象。

2、化学品输送柜的供应泵憋压会使其供液流量变小，例如气动隔膜泵的实际工作压力过高时，气动隔膜泵将无法正常工作。造成供应系统不稳定，影响产品生产质量和生产效率。化学品输送柜长时间憋压可能会造成的泵损坏或影响泵的使用寿命。管道憋压可能会造成管道接头漏液，甚至有可能造成管道接头脱落进而带来化学品大面积的泄露的风险。供应泵憋压还容易进一步造成卡泵的现象，引起化学品输送柜宕机，影响产线正常生产，造成产能损失。

3、cn218413266u公开了一种基于光伏化学品的集中供液超时中断装置，其包括设置在车间设备端、集中供液系统之间的控制电路模块。控制电路模块包括中间继电器一、中间继电器二、定时器、报警装置。车间设备端的药液信号输出端分别连接中间继电器一、中间继电器二，中间继电器二的输出端连接集中供液系统。中间继电器一的输出端连接定时器，当计时器达到预设值时，其输出信号传递给中间继电器二，中间继电器二输出信号传递至报警装置。当设备要液出现异常长时间持续要液时，能够及时对要液信号进行中断，停止集中供液系统对此设备的供液要求。

4、上述实用新型专利公开的基于光伏化学品的集中供液超时中断装置通过计时器记录要液信号时长来防止隔膜泵的发生憋压。这种防止化学品供应过程憋压的方式不能直接监测泵处的压力，而是根据供液时间推导泵处可能会发生憋压。这种防憋压方式有可能导致未发生憋压而终止供液，或者已发生憋压而未能及时终止供液。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的状态而做出本申请。本申请的目的在于提供一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其通过设置回流流路来防止供应泵发生憋压现象。

2、本申请提供一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其包括原料桶、供应泵和过滤器，化学品输送柜还包括回流流路，所述回流流路包括回流管道和回流阀，

3、所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器通过管道依次连接，

4、所述回流管道连接所述原料桶和所述过滤器的下游管道，

5、所述回流阀设置于所述回流管道，所述回流阀能够基于所述化学品输送柜的实际供应压力开启或关闭。

6、在至少一个可能的实施方式中，化学品输送柜还包括一个或多个压力检测器，所述压力检测器设置于所述过滤器的上游和/或下游。

7、在至少一个可能的实施方式中，所述回流管道和所述回流阀的管径为3/8至1/2英寸。

8、至少一个可能的实施方式中，化学品输送柜还包括气液分离器，所述气液分离器设置于所述供应泵和所述过滤器之间，并与所述供应泵和所述过滤器分别通过管道连接，以排出化学品中的气体。

9、至少一个可能的实施方式中，化学品输送柜还包括取样器，所述取样器连接到所述过滤器的下游，以提取化学品样本。

10、至少一个可能的实施方式中，所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器的数量为两个或更多个，

11、所述回流管道包括：分别与两个或更多个所述原料桶连接的两个或更多个分支管道；以及将所述两个或更多个分支管道连接到所述过滤器的下游管道的共用管道，在每个所述分支管道设置一个所述回流阀。

12、至少一个可能的实施方式中，多个所述过滤器并联连接，所述回流管道连接到所述过滤器的并联连接处或该并联连接处的下游。

13、至少一个可能的实施方式中，所述回流阀为气动隔膜阀。

14、至少一个可能的实施方式中，所述供应泵为隔膜泵或者风囊泵。

15、至少一个可能的实施方式中，所述原料桶为中型散装容器。

16、本申请提供的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其设置有回流流路，可以通过设置回流流路避免供应泵憋压，提升化学品输送柜的供应流量稳定性以及运行安全性。

技术特征：

1.一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其包括原料桶、供应泵和过滤器，其特征在于，化学品输送柜还包括回流流路，所述回流流路包括回流管道和回流阀，

2.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，还包括一个或多个压力检测器，所述压力检测器设置于所述过滤器的上游和/或下游。

3.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，所述回流管道和所述回流阀的管径为3/8至1/2英寸。

4.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，还包括气液分离器，所述气液分离器设置于所述供应泵和所述过滤器之间，并与所述供应泵和所述过滤器分别通过管道连接，以排出化学品中的气体。

5.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，还包括取样器，所述取样器连接到所述过滤器的下游，以提取化学品样本。

6.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器的数量为两个或更多个，

7.根据权利要求6所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，多个所述过滤器并联连接，所述回流管道连接到所述过滤器的并联连接处或该并联连接处的下游。

8.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，所述回流阀为气动隔膜阀。

9.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，所述供应泵为隔膜泵或者风囊泵。

10.根据权利要求1所述的防止供应泵憋压的化学品输送柜，其特征在于，所述原料桶为中型散装容器。

技术总结
提供了一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其包括原料桶、供应泵和过滤器，化学品输送柜还包括回流流路，所述回流流路包括回流管道和回流阀。所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器通过管道依次连接。所述回流管道连接所述原料桶和所述过滤器的下游管道。所述回流阀设置于所述回流管道，所述回流阀能够基于所述化学品输送柜的实际供应压力开启或关闭。

技术研发人员：李课,张勇,张功城
受保护的技术使用者：浙江瞻芯电子科技有限公司
技术研发日：20230829
技术公布日：2024/3/17