一种新型三氯氧磷源瓶的制作方法

本技术涉及太阳能电池生产，尤其涉及一种新型三氯氧磷源瓶。

背景技术：

1、晶硅太阳能电池在制备时需要通过扩散工艺制备pn结，扩散制结工序中，大多数采用的都是三氯氧磷液态源扩散法，通过该法制备的pn结均匀性好，不受硅片尺寸的影响，适用于规模化生产，而采用三氯氧磷液态源扩散法制结的过程中需要用到用来盛载三氯氧磷的源瓶。

2、现有技术中的三氯氧磷源瓶只有一个进气口和一个出气口，也就是一个源瓶只能供应一个炉管使用，若机台数量炉管过多时，需要频繁更换源瓶，不但影响机台正常生产，同时也带来了更换源瓶时的危险性，而且，由于源瓶内源量偏少时会导致压力变化，供应的源量浓度偏低，从而给产品的合格性造成不利影响，所以当源瓶内的三氯氧磷源液剩余0.8l的时候，就必须得进行更换，但是，现有技术中所用的三氯氧磷源瓶皆是平底，剩余量较大造成浪费，导致成本费和回收利用费用变高。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型三氯氧磷源瓶，解决了现有技术中的三氯氧磷源瓶一次性只能向一根炉管散发磷源，需要频繁更换源瓶，同时会造成磷源浪费的技术问题，具备能够同时向多个炉管提供磷源，降低了源瓶更换频率的优点。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：一种新型三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，所述源瓶本体的内部固定安装有进气管，进气管的左右两侧对称设置有第一出气管和第二出气管，第一出气管的上端设置有第一控制阀，第二出气管的上端设置有第二控制阀，源瓶本体的下端向上凹陷形成底部凸起，使用时，工作人员会将第一出气管和第二出气管分别与不同的炉管连接，接下来，工作人员会通过进气管向源瓶本体的内部冲入氮气，从而使氮气携带磷源散发到第一出气管和第二出气管的内部。

3、优选的，所述源瓶本体下端的左右两侧均设有用于放出残留源液的放液组件，当源瓶本体被更换后，可以通过放液组件将瓶内残留的源液放出。

4、优选的，所述放液组件包括固定安装在源瓶本体下端的排液管，排液管的外端设置有液体阀门，初始时液体阀门处于关闭状态，打开时，源瓶本体内的源液会通过排液管向外排出。

5、优选的，所述第一出气管和第二出气管均与源瓶本体的内部接通，进气管的上端延伸至源瓶本体的上方，使用时，氮气会通过进气管进入到源瓶本体的内部，从而使氮气携带磷源向上散发。

6、优选的，所述第一出气管、第二出气管可设置有若干个，从而实现能够同时向多个机台炉管提供磷源的效果。

7、借由上述技术方案，本实用新型提供了一种新型三氯氧磷源瓶，至少具备以下有益效果：

8、1、本实用新型通过设置第一出气管和第二出气管，能够同时向多个炉管提供磷源，可以有效避免因机台炉管数量较多而导致源瓶更换工作量过大的问题，缓解了人力紧张，同时也降低了换源时的危险性，提高了炉管的生产效率。

9、2、本实用新型通过设置底部凸起和放液组件，能够有效减少更换源瓶本体时源液的剩余量，减少了磷源的浪费，节约了成本费用，而且，源瓶本体更换后，工作人员可以通过放液组件快速将残留源液放出，可以有效提高生产效率。

技术特征：

1.一种新型三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体(1)，其特征在于：所述源瓶本体(1)的内部固定安装有进气管(2)，进气管(2)的左右两侧对称设置有第一出气管(3)和第二出气管(4)，第一出气管(3)的上端设置有第一控制阀(5)，第二出气管(4)的上端设置有第二控制阀(6)，源瓶本体(1)的下端向上凹陷形成底部凸起(7)。

2.根据权利要求1所述的一种新型三氯氧磷源瓶，其特征在于：所述源瓶本体(1)下端的左右两侧均设有用于放出残留源液的放液组件(8)。

3.根据权利要求2所述的一种新型三氯氧磷源瓶，其特征在于：所述放液组件(8)包括固定安装在源瓶本体(1)下端的排液管，排液管的外端设置有液体阀门。

4.根据权利要求1所述的一种新型三氯氧磷源瓶，其特征在于：所述第一出气管(3)和第二出气管(4)均与源瓶本体(1)的内部接通，进气管(2)的上端延伸至源瓶本体(1)的上方。

5.根据权利要求1所述的一种新型三氯氧磷源瓶，其特征在于：所述第一出气管(3)、第二出气管(4)可设置有若干个。

技术总结
本技术涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种新型三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，所述源瓶本体的内部固定安装有进气管，进气管的左右两侧对称设置有第一出气管和第二出气管，第一出气管的上端设置有第一控制阀，第二出气管的上端设置有第二控制阀，源瓶本体的下端向上凹陷形成底部凸起，源瓶本体下端的左右两侧均设有用于放出残留源液的放液组件，放液组件包括固定安装在源瓶本体下端的排液管。本技术通过设置第一出气管和第二出气管，能够同时向多个炉管提供磷源，可以有效避免因机台炉管数量较多而导致源瓶更换工作量过大的问题，缓解了人力紧张，同时也降低了换源时的危险性，提高了炉管的生产效率。

技术研发人员：张科,朱浩,唐剑明,王永亮,马中红,段冰
受保护的技术使用者：淮安捷泰新能源科技有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/5/19