专利名称：高亮度超光洁检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种检测照明装置，尤其涉及一种高亮度超光洁检测装置。
背景技术：
在一些精密光学的表面加工和半导体集成电路板生产好以后，需对这些产品进行检测。
目前，技术人员使用的检测照明装置一般采用市场上现成的各种照明灯或幻灯机，观察其表面质量。但由于其一般有效光通量仅1000流明以下，光照度仅达数千勒克斯，不能达到检测的目的。如在检测DVD母盘过程中，由于光照度不够，实际上一些是次品的产品误作为正品，严重影响了产品的质量。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是提供了一种高亮度超光洁检测装置，旨在解决目前还没有能够真正检测出的精密光学的表面疵病的这种装置的缺陷。
为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的本发明包括发光源，非球面聚光镜，球面聚光镜，投影物镜；所述的发光源经非球面聚光镜和球面聚光镜通过投影物镜指向被照物体；所述的非球面聚光镜的截面X和Y满足方程式Y2＝AX-BX2+CX3；所述的系数A在大于等于40和小于等于50之间，系数B在大于0和小于等于1之间，系数C在大于0和小于等于0.002之间；所述的X为横向值，Y为纵向值；其直径(2Y)在4厘米到10厘米之间；所述的投影物镜的相对孔径＝1/Z，Z在1.2到2之间。
与现有技术相比，本发明的有益效果是如果采用的灯泡是250W/24V，有效光通量为2500流明以上150W/24V，有效光通量为2000流明以上；而局部的光照度可达到200000勒克斯，光线均匀度为60％以上，能清晰地观察不同大小工件的表面质量，如玻璃表面划痕，气泡，条纹，麻点，油迹，以及集成电路模块的各类疵病一览无遗，达到了检测的目的。
图1是本发明的结构示意主视图；其中发光源1非球面聚光镜2投影物镜3滑槽4滤热器5球面聚光镜6滤色片具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式
对本发明作进一步详细描述由图1可见本发明包括发光源1，非球面聚光镜2，球面聚光镜6，投影物镜3；所述的发光源1经非球面聚光镜2和球面聚光镜6通过投影物镜3指向被照物体；所述的非球面聚光镜2的截面X和Y满足方程式Y2＝AX-BX2+CX3；所述的系数A在大于等于40和小于等于50之间，系数B在大于0和小于等于1之间，系数C在大于0和小于等于0.002之间；所述的X为横向值，Y为纵向值；其直径(2Y)在4厘米到10厘米之间；所述的系数A等于42；B等于0.6；C等于0.0018；直径等于5厘米；所述的投影物镜3的相对孔径＝1/Z，Z在1.2到2之间；Z＝1.5；所述的发光源1和非球面聚光镜2之间还可以包括一个将发光源1安置在其上的滑槽4；所述的投影物镜3是可调节的投影物镜；所述的非球面聚光镜2和球面聚光镜6之间还可以安置滤热器5；
所述的滤热器5是红外线滤热玻璃片；所述的投影物镜3之前还可以安置滤色片7；所述的发光源1是溴钨灯。
下面对本发明的原理作如下描述由于本发明采用发光源和非球面聚光镜之间采用滑槽及大口径可调节投影物镜，所以光照度特别强烈，且光强度和光照范围都可以调节。
当光线进入非球面聚光镜，有效发光包容角达到110度；由于采用双平凸聚光系统，可以保证综合像差的最小量；采用对称结构，垂轴光学像差自动消除，以保证大口径条件下的光能集中。
同时采用红外线滤热玻璃片隔温措施以及滤色片可以降低被照物的温度和控制不同光谱光线，并可以广泛应用在其它光照场合。
权利要求
1.一种高亮度超光洁检测装置，包括发光源(1)，非球面聚光镜(2)，球面聚光镜(6)，投影物镜(3)；所述的发光源(1)经非球面聚光镜(2)和球面聚光镜(6)通过投影物镜(3)指向被照物体；其特征在于所述的非球面聚光镜(2)的截面X和Y满足方程式Y2＝AX-BX2+CX3；所述的系数A在大于等于40和小于等于50之间，系数B在大于0和小于等于1之间，系数C在大于0和小于等于0.002之间；所述的X为横向值，Y为纵向值；其直径(2Y)在4厘米到10厘米之间。
2.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的系数A等于42；B等于0.6；C等于0.0018；直径等于5厘米。
3.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的投影物镜(3)的相对孔径＝1/Z，Z在1.2到2之间。
4.根据权利要求3所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的Z＝1.5。
5.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的发光源(1)和非球面聚光镜(2)之间还可以包括一个将发光源(1)安置在其上的滑槽(4)。
6.根据权利要求1或3或4所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的投影物镜(3)是可调节的投影物镜。
7.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的非球面聚光镜(2)和球面聚光镜(6)之间还可以安置滤热器(5)。
8.根据权利要求7所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的滤热器(5)是红外线滤热玻璃片。
9.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的投影物镜(3)之前还可以安置滤色片7。
10.根据权利要求1所述的一种高亮度超光洁检测装置，其特征在于所述的发光源(1)是溴钨灯。
全文摘要
本发明涉及一种高亮度超光洁检测装置，本发明包括发光源(1)，非球面聚光镜(2)，球面聚光镜(6)，投影物镜(3)；所述的发光源(1)经非球面聚光镜(2)和球面聚光镜(6)通过投影物镜(3)指向被照物体；所述的非球面聚光镜(2)的截面X和Y满足方程式Y
文档编号G01N21/84GK1553171SQ03128908
公开日2004年12月8日 申请日期2003年5月28日 优先权日2003年5月28日
发明者应永伟, 周德林 申请人:上海申菲激光光学系统有限公司