防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备的制作方法

文档序号:6025481阅读:134来源:国知局
专利名称:防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备的制作方法
技术领域
本发明涉及一种防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,特别是涉及一种具有防管线磨损功能的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备。
背景技术
近年来,随着制程技术的进步,带动了电子产业的蓬勃发展,而各式电子产品也不断地推陈出新。其中,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)基于其高画质、空间利用效率佳、低消耗功率与无辐射等优点,已逐渐成为显示器市场中的主流。
液晶显示器主要包括液晶显示面板(LCDpanel)、背光模组(即模)〔块,BackLight Module)及光源装置等,其中,液晶显示面板的制作大致包括下基板制作、上基板制作、胶框涂布、压合密封以及偏光片贴附等步骤。而在完成偏光片贴附的动作之后,接着便进行一封装制程,其主要是利用外引脚接合技术(Outer Lead Bonding)、软片自动贴合技术(Tape AutomatedBonding,TAB)或晶粒-玻璃接合技术(Chip On Glass,COG),以使液晶显示面板、驱动芯片(晶片)(如闸极驱动芯片或源极驱动芯片)以及电路板彼此电性连接。
值得注意的是,现有习知的液晶显示面板在进行封装制程前,会先对液晶显示面板进行一点亮测试(LOT),以检测液晶显示面板的偏光片的缺陷(Defect)状况。此外,现有习知的液晶显示面板在完成封装制程完成之后,亦会进行一电路板检测(Printed Circuit Board Inspection,PCBI),以藉由液晶显示面板的显示情况检测电路板的品质。上述的检测动作通常是利用一制程设备来吸附并承载液晶显示面板,并藉由例如探针卡(ProbeCard)的数组状排列的多个探针(Probe),来对液晶显示面板进行电性测试。
请参阅图1所示,是现有习知的液晶显示面板的制程设备的立体示意图。该制程设备100,包括一载台110、一真空泵(Vacuum Pump)120及一管线130。其中,真空泵120藉由管线130而与载台110相连通,并进行一抽气的动作,以使得载台110的表面得以吸附一液晶显示面板150。如此一来,藉由载台110的上下移动,使得位于载台上方的探针卡140对液晶显示面板150上的每一个组件进行检测的动作。此外,制程设备100更包括一盖板160,配置于管线130接近载台110的一端的上方,其目的主要在于保护管线130,并可避免在载台110移动时,管线130因与外界碰触而自载台110上脱落的情形发生。
请依序参阅图2A及图2B所示,分别是现有习知的液晶显示面板的制程设备的动作示意图。如图2A所示为载台110位于一检测位置上的情形,此时探针卡140恰与液晶显示面板150接触,以对液晶显示面板150的部分组件进行检测。再如图2B所示,探针卡140完成上述的部分组件的检测后,载台将由原先的位置(虚线位置)向下移动至另一位置,以利探针卡140步进至其它组件上方,而对其他组件进行检测。值得注意的是,当载台110相对于真空泵120上下移动时,将同时带动管线130产生扭曲,进而使得管线130与盖板160来回接触与摩擦。如此长期作用下,管线130的表面将因为磨耗而产生许多微粒,进而影响液晶显示面板150的组件的洁净度及量测时的准确率。此外,管线130更可能因过度磨耗导致破损,而有漏气的现象发生。
由此可见,上述现有的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备仍存在有诸多的缺陷,而亟待加以进一步改进。为了解决现有技术的缺陷,相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道,但长久以来一直未见适用的设计被发展完成,此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备存在的缺陷,本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识,积极加以研究创新,以期创设一种新型的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,能够改进一般现有的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,使其更具有实用性。经过不断的研究、设计,并经反复试作样品及改进后,终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容
本发明的目的在于,克服现有的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备存在的缺陷,而提供一种新的具有防管线磨损功能的制程设备,所要解决的技术问题是使其适于藉由一防管线磨损装置来导引管线,而可降低管线因载台移动而与盖板之间发生磨损的机会,从而具有更加适于实用的功效,且具有产业上的利用价值。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种防管线磨损机构,适用于一制程设备,该制程设备包括一第一本体、一第二本体、配置于该第一本体上的一盖板,以及连接于该第一本体与该第二本体之间的一管线,其中该第一本体与该第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变,该防管线磨损机构至少包括一调整杆,可移动地连接于该盖板上;一轴杆,可移动地配置于该调整杆上;以及一滚轮,套设于该轴杆上,当该管线与该滚轮承靠时,该滚轮是以滚动的方式导引该管线,以避免该管线与该盖板接触。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的防管线磨损机构,其中所述的轴杆是可转动地配置于该调整杆上。
前述的防管线磨损机构,其更包括一延伸板,配置于该盖板上。
前述的防管线磨损机构,其中所述的调整杆是藉由该延伸板而可转动地连接于该盖板上。
前述的防管线磨损机构,其中所述的调整杆具有一滑槽,该延伸板是与该调整杆中该滑槽的一端连接,且该轴杆是与该调整杆中该滑槽的另一端连接。
前述的防管线磨损机构,其中所述的调整杆是藉由该滑槽而配置于该延伸板上,且该调整杆可在该延伸板上转动并且滑动。
前述的防管线磨损机构,其中所述的轴杆是藉由该滑槽而配置于该调整杆上,且该轴杆可在该调整杆上转动并且滑动。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种制程设备,该制程设备至少包括一第一本体;一第二本体,该第一本体与该第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变;一管线,连接于该第一本体与该第二本体之间;一盖板,配置于该第一本体上且位于该管线旁;以及一防管线磨损机构,配置于该盖板上,且该防管线磨损机构至少包括一调整杆,可移动地连接于该盖板上;一轴杆,可移动地配置于该调整杆上;以及一滚轮,套设于该轴杆上,当该管线与该滚轮承靠时,该滚轮是以滚动的方式导引该管线,以避免该管线与该盖板接触。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的制程设备,其中所述的轴杆是可转动地配置于该调整杆上。
前述的制程设备,其更包括一延伸板,配置于该盖板上。
前述的制程设备,其中所述的调整杆是藉由该延伸板而可转动地连接于该盖板上。
前述的制程设备,其中所述的调整杆具有一滑槽,该延伸板是与该调整杆中该滑槽的一端连接,且该轴杆是与该调整杆中该滑槽的另一端连接。
前述的制程设备,其中所述的调整杆是藉由该滑槽而配置于该延伸板上,且该调整杆可在该延伸板上转动并且滑动。
前述的制程设备,其中所述轴杆是藉由该滑槽而配置于该调整杆上,且该轴杆是可在该调整杆上转动并且滑动。
前述的制程设备,其中所述的第一本体包括一载台。
前述的制程设备,其中所述的第二本体包括一抽气装置。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知,为了达到前述发明目的,本发明的主要技术内容如下本发明提出一种防管线磨损机构,其适用于一制程设备。该制程设备包括一第一本体、一第二本体、配置于第一本体上的一盖板,以及连接于第一本体与第二本体之间的一管线,其中第一本体与第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变。而该防管线磨损机构例如是由一调整杆、一轴杆及一滚轮所构成。其中,调整杆是可移动地连接于盖板上,而轴杆是可移动地配置于调整杆上,且滚轮是套设于轴杆上。当管线与滚轮承靠时,滚轮是以滚动的方式导引管线,以避免管线与盖板接触。
在本发明的防管线磨损机构中,轴杆例如可转动地配置于调整杆上,而防管线磨损机构例如更包括配置于盖板上的一延伸板,其中调整杆例如藉由延伸板而可转动地连接于盖板上。此外,调整杆上例如可设计一滑槽,其中延伸板是与滑槽的一端连接,且轴杆是与滑槽的另一端连接。如此一来,调整杆则可藉由滑槽而配置于延伸板上,且调整杆可在延伸板上转动并且滑动,而轴杆例如可藉由滑槽而配置于调整杆上,且轴杆可在调整杆上转动并且滑动。
应用上述的防管线磨损机构,本发明更提出一种制程设备,其至少包括一第一本体、一第二本体、一管线、一盖板及上述的防管线磨损机构。其中,第一本体例如包括一载台,而第二本体例如包括一抽气装置,且第一本体与第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变。此外,管线是连接于第一本体与第二本体之间,且盖板是配置于第一本体上并位于管线旁,而上述的防管线磨损机构则配置于盖板上。
基于上述,本发明的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,是藉由一滚轮来承靠管线,并在载台移动时,以滚动的方式将管线因载台移动而扭曲的部分导引至盖板外,而可避免该扭曲的部分因与盖板来回摩擦而产生微粒,或发生管线破损的现象。
藉由本发明的防管线磨损机构,可有效保护制程设备内的管线,避免因管线破损而导致机台故障,此外。当本发明的制程设备应用于例如检测作业时,更可提升机台洁净度,以提高检测的准确率。值得注意的是,本发明的制程设备的用途,并非仅限于上述实施例中所提及的测试作业,举凡各领域中所使用的相关类型的加工机台,诸如半导体制程的晶圆切割机台、液晶显示面板的封胶机台,甚或大型的机械加工机台等,皆可有效应用本发明的制程设备,以得到较高生产效率与较佳的产品品质。
综上所述,本发明特殊结构的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,适于藉由一防管线磨损装置来导引管线,而可降低管线因载台移动而与盖板之间发生磨损的机会,从而具有更加适于实用的功效,且具有产业上的利用价值。其具有上述诸多的优点及实用价值,并在同类产品及设备中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新,其不论在产品、设备或功能上皆有较大的改进,在技术上有较大的进步,并产生了好用及实用的效果,且较现有的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备具有增进的多项功效,从而更加适于实用,而具有产业的广泛利用价值,诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。


图1是现有习知的液晶显示面板的制程设备的立体示意图。
图2A及图2B分别是现有习知的液晶显示面板的制程设备的动作示意图。
图3是本发明较佳实施例中第一种制程设备的立体示意图。
图4A及图4B分别是本发明较佳实施例中第一种制程设备的动作示意图。
图5是本发明较佳实施例中第二种制程设备的立体示意图。
图6A及图6B分别是上述的第二种制程设备的动作示意图。
100制程设备 110载台120真空泵 130管线140探针卡 150液晶显示面板160盖板 200制程设备202a滑槽 202b滑槽210载台 220抽气装置230管线 240盖板250防管线磨损机构 252延伸板254a调整杆254b调整杆256轴杆 258滚轮260液晶显示面板 270探针卡具体实施方式
以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备其具体结构、特征及其功效,详细说明如后。
请参阅图3所示,是本发明较佳实施例中第一种制程设备的立体示意图。该制程设备200,例如应用于一液晶显示面板的电性测试,并例如是由一载台210、一抽气装置220、一管线230、一盖板240及一防管线磨损机构250所构成。其中,载台210可在空间中进行一水平及垂直的移动,而管线230是连接于载台210与抽气装置220之间,且抽气装置220可藉由管线230对载台210进行抽气的动作。如此一来,载台210例如可吸附一液晶显示面板260,并藉由配置于该液晶显示面板260上的一探针卡270,对液晶显示面板260进行检测。
请再参阅图3所示,盖板240是配置于载台210上并位于管线230的上方,而防管线磨损机构250则配置于盖板240上。防管线磨损机构250是由一调整杆254a、一调整杆254b、一轴杆256及一滚轮258所构成。其中,调整杆254a及调整杆254b的一端则分别可转动地配置于盖板240的两侧。此外,滚轮258是套设于轴杆256上,而轴杆256的两端分别可转动地调整杆254a及调整杆254b的另一端,以使得滚轮258可以滚动的方式承靠管线230。
请依序参阅图4A及图4B所示,其分别是上述的制程设备的动作示意图。图4A所绘示的载台210是位于一检测位置上,而探针卡270是对液晶显示面板260的部分组件进行检测,此时滚轮258是自然下垂并承靠管线230。接着,如图4B所示,当探针卡270完成上述组件的检测后,载台210是由原先的位置(虚线位置)移动至另一位置,并使得管线230产生扭曲。此时由于滚轮258与管线230间为一滚动式的接触,因此,管线230的扭曲的部分将被导引至盖板240外,而避免管线230与盖板240之间产生摩擦。
然而本发明的防管线磨损机构的各项组件的连接关系并不仅限于上述实施例所绘示的结构,请参阅图5所示,是本发明较佳实施例中第二种制程设备的立体示意图。其中,盖板240上配置有一延伸板252,而调整杆254a及254b则分别配置于延伸板252的两侧。此外,调整杆254a及254b分别具有滑槽202a及202b,其中,延伸板252是分别与滑槽202a及202b的一端连接,且轴杆256则分别与滑槽202a及202b的另一端连接。如此一来,调整杆254a及254b可藉由滑槽202a及202b而在延伸板252上转动,并可沿滑槽202a及202b的方向在延伸板上滑动,而轴杆256亦可带动滚轮258转动,并沿滑槽202a及202b的方向在调整杆254a及254b上滑动。
接着,请依序参阅图6A及图6B所示,分别是上述的第二种制程设备的动作示意图。其中,如图6B所示,载台210由原先的位置(虚线位置)下移后,滚轮258仍然得以完全承靠管线230。此外,与第一实施例相较,本实施例的防管线磨损机构200的调整杆254a及254b上更具有一滑槽的设计,因此在载台210移动的过程中,滚轮258的表面与管线230之间将具有更佳的贴合效果。
综上所述,本发明的制程设备是在盖板上藉由一调整杆连接一滚轮来承靠管线,以将管线扭曲的部分导引至盖板外,而可避免该扭曲的部分与盖板来回摩擦而导致破损。其中,调整杆可转动连接至盖板上,而滚轮可藉由轴杆转动连接至调整杆上。此外,盖板上可选择式的配置一延伸板,以改变调整杆与盖板的距离,而调整杆上例如可设计有一滑槽,使得调整杆及滚轮除转动之外,更可藉由滑槽而与盖板相对滑动,以提供更佳的管线导引效果。
然而,在不脱离本发明技术方案实质的范围内,本发明的防管线磨损机构至少具有下列所述的多种变化(一)、改变调整杆的形状、数量及位置等,例如仅在盖板的一侧配置一调整杆,或将调整杆的形状设计为例如一L形并配置于盖板的上表面。
(二)、改变调整杆上的滑槽的形状、数量及位置等,例如滑槽仅与轴杆连接,而使得轴杆可在滑槽内转动并滑动,但调整杆仅可相对于盖板转动。
(三)、视管线的配置位置而改变滚轮的数量及位置。
藉由本发明的防管线磨损机构,可有效保护制程设备内的管线,避免因管线破损而导致机台故障,此外。当本发明的制程设备应用于例如检测作业时,更可提升机台洁净度,以提高检测的准确率。值得注意的是,本发明的制程设备的用途,并非仅限于上述实施例中所提及的测试作业,举凡各领域中所使用的相关类型的加工机台,诸如半导体制程的晶圆切割机台、液晶显示面板的封胶机台,甚或大型的机械加工机台等,皆可有效应用本发明的制程设备,以得到较高生产效率与较佳的产品品质。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例,但是凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种防管线磨损机构,适用于一制程设备,该制程设备包括一第一本体、一第二本体、配置于该第一本体上的一盖板,以及连接于该第一本体与该第二本体之间的一管线,其中该第一本体与该第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变,其特征在于该防管线磨损机构至少包括一调整杆,可移动地连接于该盖板上;一轴杆,可移动地配置于该调整杆上;以及一滚轮,套设于该轴杆上,当该管线与该滚轮承靠时,该滚轮是以滚动的方式导引该管线,以避免该管线与该盖板接触。
2.根据权利要求1所述的防管线磨损机构,其特征在于其中所述的轴杆是可转动地配置于该调整杆上。
3.根据权利要求1所述的防管线磨损机构,其特征在于其更包括一延伸板,配置于该盖板上。
4.根据权利要求3所述的防管线磨损机构,其特征在于其中所述的调整杆是藉由该延伸板而可转动地连接于该盖板上。
5.根据权利要求3所述的防管线磨损机构,其特征在于其中所述的调整杆具有一滑槽,该延伸板是与该调整杆中该滑槽的一端连接,且该轴杆是与该调整杆中该滑槽的另一端连接。
6.根据权利要求5所述的防管线磨损机构,其特征在于其中所述的调整杆是藉由该滑槽而配置于该延伸板上,且该调整杆可在该延伸板上转动并且滑动。
7.根据权利要求5所述的防管线磨损机构,其特征在于其中所述的轴杆是藉由该滑槽而配置于该调整杆上,且该轴杆可在该调整杆上转动并且滑动。
8.一种制程设备,其特征在于该制程设备至少包括一第一本体;一第二本体,该第一本体与该第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变;一管线,连接于该第一本体与该第二本体之间;一盖板,配置于该第一本体上且位于该管线旁;以及一防管线磨损机构,配置于该盖板上,且该防管线磨损机构至少包括一调整杆,可移动地连接于该盖板上;一轴杆,可移动地配置于该调整杆上;以及一滚轮,套设于该轴杆上,当该管线与该滚轮承靠时,该滚轮是以滚动的方式导引该管线,以避免该管线与该盖板接触。
9.根据权利要求8所述的制程设备,其特征在于其中所述的轴杆是可转动地配置于该调整杆上。
10.根据权利要求8所述的制程设备,其特征在于其更包括一延伸板,配置于该盖板上。
11.根据权利要求10所述的制程设备,其特征在于其中所述的调整杆是藉由该延伸板而可转动地连接于该盖板上。
12.根据权利要求10所述的制程设备,其特征在于其中所述的调整杆具有一滑槽,该延伸板是与该调整杆中该滑槽的一端连接,且该轴杆是与该调整杆中该滑槽的另一端连接。
13.根据权利要求12所述的制程设备,其特征在于其中所述的调整杆是藉由该滑槽而配置于该延伸板上,且该调整杆可在该延伸板上转动并且滑动。
14.根据权利要求12所述的制程设备,其特征在于其中所述的轴杆是藉由该滑槽而配置于该调整杆上,且该轴杆是可在该调整杆上转动并且滑动。
15.根据权利要求8所述的制程设备,其特征在于其中所述的第一本体包括一载台。
16.根据权利要求8所述的制程设备,其特征在于其中所述的第二本体包括一抽气装置。
全文摘要
本发明是关于一种防管线磨损机构及应用此防管线磨损机构的制程设备,该防管线磨损机构,适用于一制程设备。该制程设备包括一第一本体、一第二本体、配置于第一本体上的一盖板,以及连接于第一本体与第二本体之间的一管线,其中第一本体与第二本体之间的相对位置会视操作状态而改变。该防管线磨损机构例如由一调整杆、一轴杆及一滚轮所构成。其中,调整杆是可移动地连接于盖板上,而轴杆可移动地配置于调整杆上,且滚轮是套设于轴杆上。当管线与滚轮承靠时,滚轮是以滚动方式导引管线,避免管线与盖板接触,可有效保护管线避免因破损导致机台故障。该制程设备应用于如检测作业时可提升机台洁净度,提高检测准确率;应用于相关类型加工机台可得到较高生产效率与较佳产品品质。
文档编号G01R31/00GK1529177SQ20031010041
公开日2004年9月15日 申请日期2003年10月15日 优先权日2003年10月15日
发明者蔡承卫, 胡俊杰 申请人:友达光电股份有限公司
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