确定传送机构的旋转轴的实际位置的方法

专利名称：确定传送机构的旋转轴的实际位置的方法
技术领域：
本发明涉及确定传送机构的旋转轴的实际位置的方法，特别是具有至少 一个可绕旋转轴旋转的旋转件和至少 一个安装到旋转件的传送臂的晶片传 送机构。本发明还涉及通过根据本发明的确定方法用于调整传送机构的方 法。
背景技术：
在制造电子元件期间，例如存储芯片、微处理器、客户特殊电路设计或 逻辑器件，大量的各种各样的半导体技术加工正在使用。这些加工必须非常 好且精确地彼此可调整，并且通常必须允许每单位时间内重复生产大量的元 件。如果可能，需要避免废料。因为颗粒快速地引起废料，因而如果可能加 工环境必须没有颗粒。因此半导体技术加工典型地在高级别无尘室内执行， 并且在半导体生产线中特殊加工和加工之间的步骤的自动化已经达到了非 常高的水平。为了在各种加工台之间传送，设置了自动传送机构，其中例如使用其它 装置用于加载和卸载快速加热系统，该快速加热系统用于热处理诸如半导体晶片的衬底。还称为RTP系统的快速加热系统在半导体生产中广为人知 (US5359693或US5580830)。它们用于热处理例如包括硅的晶片以及其它 的例如锗、SiC的半导体材料或其它的诸如GaAs或InP的化合物半导体。 这种快速加热系统必须保证接近100%的生产率。因而，加载和卸载要被加 工的晶片由也称为晶片处理器的传送机构自动地执行。该晶片处理器必须相 对于它们服务的系统精确地调整，以避免对将传送的材料的可能的损坏。在加工设备中传送机构通常地用于从晶片盒将晶片或其它半导体衬底 传送到加工设备中，或从加工设备将其传送回晶片盒。它们典型地具有绕旋 转轴可旋转的旋转件，和至少一个安装到旋转件的传送臂。为了允许沿旋转 轴传送通常设置升降装置。传送臂还典型地用关节连接，以允许除了绕旋转 轴旋转之外的横向运动。因而，金属臂件典型地安装到旋转件的一端，并且在其自由端设置有另外的金属臂件，其绕第二轴也可旋转。虽然旋转件能够 执行旋转以及上和下运动，但是第二旋转轴通常是筒单的旋转轴，该旋转轴 用于调整两臂件之间的角度，从而调整要被加工的衬底与中心旋转轴的距 离。在第二臂件的端部通常安装具有运载表面的端件，其设置用于运载衬底。在半导体生产设备件中，类似例如RTP系统，该端件例如必须将晶片从 晶片盒中取出，装载晶片给至少一个加工室，加工后从加工室拾取晶片，可 能地将晶片移动到第二加工室(例如冷却室)中，从那里将它们再次移出， 并将它们放入另外的晶片盒内。将要接连地接近的特殊工作台大部分绕传送 机构定位，使得他们可被快速地到达。因为传送机构典型地以牢固地方式安 装到系统平台上，因而在许多情况下其必须执行绕其中心旋转轴的旋转以到 达所有的工作台。由于旋转件通过传送机构的制造商安装到外壳中且由此对 于其方向的直接测量通常不易得到，因此在许多情况下中心旋转轴相对于预 定方向的位置不能够直接地确定。然而，传送机构的制造商总是力求以至少一个外壳表面垂直于传送机构的中心旋转轴的方式将传送机构安装到外壳 中，从而可用于把中心轴对准确定方向。然而，事实表明由于制造误差，当 旋转轴基于外壳表面的方向对准时，其通常不能沿确定方向足够精确地对 准。因而对准变得更加困难。目前为止，尝试使用非常不精确的方法来解决对准问题，其通常由主观 缺陷导致。因而，尝试沿传送机构的确定的旋转位置调整衬底运载表面的水 平位置，结果是运载表面通常沿相反方向糟糕地在另外的旋转位置对准。这 常常导致不完善的处理或甚至损坏衬底。为了最小化错误的发生，于是整个 工作台必须再对准。另外的解决方案在US6763281中进行了描述。根据此专利通过特别开发 的对准装置，相对于将被服务的系统使运载要被传送的材料的传送机构的端 件对准而解决了对准问题。该对准装置具有限定开口的主体，其中该开口足 够大，因而要被传送的材料可穿过开口移动。在主体上围绕开口处安装了多 个传感器。对准装置必须相对于要服务的系统具有限定方向地安装到平台 上。此后端件穿过开口移动，以通过传感器确定其相对于要服务的系统的方 向。因为该对准装置在执行程序之前必须精确的安装，因而这是非常复杂的 手动处理。此外，如果传送机构服务多个工作台，那么所有此外的工作台必 须与端件对准，这非常复杂。如果盒工作台被对准以安装传送机构，那么盒工作台可竖着朝向内侧倾 斜，并且容纳在盒工作台内的晶片于是由于重力和系统振动能够倒出。这种 振动能够通过传送机构的运动产生。倒出的晶片可能石皮裂，因而不能够再^吏 用。系统用于移去破裂的晶片的停工次数将不得不考虑。另 一方面，如果传送机构例如已经达到其使用寿命尽头时必须由新的传 送机构替换时，所有的将被服务的工作台必须相应地再对准，因为新的传送 机构的中心轴的方向不是一定与被替换的传送机构的中心轴的最初方向一 致。因而，本发明的目的是以简单和有效成本的方式，相对于参考轴特别是 相对于地球重力确定传送机构的轴。此确定允许旋转轴沿期望位置的对准， 特别是与地球重力对准。发明内容的方法而被实现，其中传送机构具有至少一个绕旋转轴可旋转的旋转件，和 至少一个安装到旋转件的传送臂，至少一个倾斜传感器安装到传送机构，该 倾斜传感器至少具有一个测量轴，其中所述至少一个倾斜传感器的初始倾斜 度沿至少 一个测量轴在传送机构的第 一旋转位置被测量，并且传送机构随后 绕旋转轴旋转进入第二旋转位置，并且所述至少 一个倾斜传感器的倾斜度沿 所述至少一个测量轴在第二旋转位置被测量。随后，传送机构的旋转轴的实 际位置根据倾斜传感器的测量值和根据旋转位置之间的角度差别确定。根据 本发明的方法能够通过以简单的方式在不同的旋转位置提供测量而确定旋 转轴的实际位置。基于确定的实际位置，即使在例如对于封闭的传送系统不 可能直接接近旋转轴的情况下，也可容易地调整旋转轴。根据本发明的优选实施例，传送机构在确定其位置之前转到至少一个其 它的旋转位置，并且倾斜传感器的倾斜度在所述其它的旋转位置处被测量， 因而提供倾斜传感器的三个测量值以及各个旋转位置之间的两个角度差别， 用于后来确定实际位置。因此，实际位置的确定的精确性可增加。从而，任何各种旋转位置之间的角度差别优选的是不等于180°，特别是倾斜传感器仅具有一个测量轴，以为了确保可执行沿不同测量方向的测量。在本发明的另外的实施例中，在位置确定之前，倾斜传感器的倾斜度在四个不同的旋转位置中进行测量，以提供倾斜传感器的相应数量的测量结 果，用于确定实际位置。从而，相邻旋转位置之间的角度差优选的是90 。或180 °,以沿正交测量方向产生测量。当提供三次或四次测量时，形成测量对，提供沿同样测量方向但在旋转轴的相对侧的测量。这种测量结合即使 在倾斜传感器未校准的情况下，也能够以特别筒单的方式确定相对于地球重 力的实际位置。在本发明的优选实施例中，安装到旋转件的至少一个传送臂包括至少两 个相对于彼此可活动的臂，借此该臂至少在不同旋转位置的测量中不相对于 彼此移动，以确保倾斜传感器仅受绕已经确定其实际位置的旋转件的旋转轴的运动影响。为了不干扰传送机构的正常操作，并且为了允许使用倾斜传感器用于确 定不同传送机构的实际位置，倾斜传感器优选地以非永久的方式安装到传送 机构。从而倾斜传感器优选地如同诸如要被处理的半导体晶片的衬底一样， 被传送臂拾取。此外，倾斜传感器在已经确定位置之后通过传送臂自动地存 放。因而，根据本发明的确定方法可以大体上完全自动的方式执行。在本发明的特别优选的实施例中，使用具有两个内在的不同测量轴的倾 斜传感器或具有不同方向的测量轴的两个分开的倾斜传感器。从而每个旋转 位置的测量值的数目可增加，这可为加速执行此方法。因而倾斜传感器的测量轴优选地;波此垂直定向。为了获得相对的测量对，从而在第一旋转位置沿第一测量方向获得第一 测量值并沿第二测量方向确定第二测量值，并且在第二旋转位置沿第一测量 方向确定第三测量值并沿第二测量方向确定第四测量值，从而第一和第二旋 转位置相对于彼此旋转了 180 °。通过旋转位置相对于彼此旋转180 °,可确 保测量方向相对于彼此对准，从而获得相对的测量结果，其便于以特别简单 的方式确定旋转轴相对于地球重力的实际位置。另外根据本发明，提供了一种用于对准传送机构的方法，该传送机构具 有至少一个绕旋转轴可旋转的旋转件，和至少一个安装到旋转件的传送臂， 其中旋转轴的实际位置最初以上述方式确定，并且此后旋转轴被引入到期望 的位置。通过采用上述用于确定旋转轴的实际位置的方法，进入预定位置的 调整可以筒单的方式实现。从而在本发明的优选实施例中，通过测量对的产 生得到旋转轴的期望位置，其中第一算术平均由第一和第三测量值计算，并且第二算术平均由第二和第四测量值计算。优选地，传送机构的旋转轴与地球重力对准，从而自动地执行对准。因而传送机构的旋转件优选地安装在驱动外壳内，并且; 走转轴的对准通过驱动外壳的位置的改变而执行。因而可设置用于旋转件的封闭系统，并且旋转件 不必相对于其驱动件改变。因而，对准了包括旋转件的整个驱动系统。在本发明的优选实施例中，在旋转件的旋转轴已经引入期望位置之后， 传送臂相对于旋转轴对准。从而将实现例如传送臂上的晶片运载表面水平上 精确地对准。因而例如通过传送臂上的另外的旋转轴^l行传送臂的对准。根据本发明的确定程序还适合于以有利的方式用于更换传送机构的过 程，该传送机构具有至少一个绕旋转轴可旋转的旋转件，和至少一个安装到 旋转件的传送臂，其中要被更换的传送机构的旋转件的旋转轴的实际位置起 初根据本发明的方法被确定。随后，要被更换的传送机构用新的传送机构代 替，新传送机构具有至少一个绕旋转轴可旋转的旋转件，和至少一个安装到 旋转件的传送臂，并且最终对准新传送机构，其中新传送机构的旋转件的旋 转轴的实际位置最初以根据本发明的方式确定，并接着？ 1入到期望的位置， 其中新传说机构的旋转轴的期望位置等于要被替换的传送机构的旋转件的 旋转轴的实际位置。从而可实现新的传送机构以与原来的传送机构同样的方 式对准周围的工作台，从而避免工作台的重新对准。优选地，在根据本发明的方法中，提供了旋转轴的相对于参考轴的期望 位置和/或实际位置的图形显示。因为优选地将执行相对于地球重力的对准， 因而参考轴优选地与地球重力对准。优选地，来自倾斜传感器的测量值以无线的方式传送到用于确定旋转轴 的实际位置的单元，。通过无线数据传输，可避免使用干扰处理的电缆。测 量值优选地经由发射器/接收器传输，其可从控制单元接收测量指令并将其传 输到倾斜传感器，并且将测量值传输回控制单元。优选地至少倾斜传感器和 发射器/接收器形成一单元。在本发明的实施例中，该单元具有能量源并且在 执行确定方法之后传送机构传输包括能量源的单元到充电单元以给能量源 充电并且使单元准备接下来的操作。优选地，电存储倾斜传感器的测量数据。电子存储器可优选的是单元的 一部分，其中还设置有倾斜传感器，其例如使得中间存储可能。于是在完成 所有的测量后传送测量数据。例如在插座的区域中不使用发射器/接收器这也可执行，该插座具有读出触点，通过触点存储器可净皮读取。插座可具有另外 的充电触点以给能量源充电。根据本发明提供了一种特别地用于传送特别是半导体晶片的盘形衬底 的传送机构的方法。从而传送机构优选地设置用于给快速加热室加载半导体 衬底。本发明和优选的实施例在专利的权利要求书中变得显而易见。


接下来本发明将参考附图根据优选实施例进行详细描述，附图示出了 图1是传送机构的示意图；图2是传送机构在不同旋转位置的示意图；和图3是用于执行根据本发明的方法的测量装置的示意图。
具体实施方式
图l和图2分别示出了用于传送特别是半导体晶片的半导体衬底2的传 送机构1的示意图和平面图。传送机构1具有外壳4，其中升降轴6至少部 分地容纳。升降轴6经由未详细示出的升降装置相对于外壳4的纵向方向可 移动。升降轴是空心圆筒，并且在其内接收旋转轴，旋转轴未详细示出并可 绕旋转轴线A (z轴)旋转。除了设置分开的旋转和升降轴以外，还可能在 外壳4中设置结合的旋转/升降轴。旋转轴(未示出)配合在外壳4中的旋转 驱动器。在旋转轴的上端设置传送臂组件10。传送臂组件10由第一臂12、 旋转接头14、第二臂16和运载臂18形成，其中第一臂12以旋转固定方式 连接到旋转轴。第一臂在其第一端以刚性的方式连接旋转轴，并且在其第二 端具有旋转接头14。旋转接头14以可旋转的方式连接第一和第二臂，其中 两臂之间的旋转通过驱动器(未详细示出)执行，该驱动器主要用于调整要 被传送的材料和旋转轴线A之间的距离。旋转接头连接到第二臂的一端。在 第二臂的另外一端处安装运载臂18,其中运载臂18可相对于第二臂旋转。 第二臂和运载臂之间的旋转经由未详细示出的旋转装置而执行。传送机构适合于在各种位置之间传送半导体晶片，例如晶片接收盒和 RTP室之间。从而运载臂18在各个的晶片下移动，并通过升降轴6的运动 升高，以使晶片升高远离各自的运载表面。接下来，停留在运载臂18上的晶片通过未示出的旋转轴的旋转以及通过臂12、 16和18相对于彼此的运动移动到第二位置。通过分别降低升降轴，晶片于是可向下放置到各自的运载 表面上。对于受控的向下放置，需要传送机构与用于半导体晶片的各个接收工作台对准。从而有利的是各个工作台的运载表面形成水平支撑，并且运载臂18 在旋转轴的每个旋转位置中水平地定位。从而旋转轴6必须垂直地对准。为了便于这样的对准，需要初始确定旋转轴的实际位置或旋转轴的旋转 轴线A的实际位置。因而设置如图2和3所示的测量装置2。测量装置20包括盘形的主体22，例如其具有半导体晶片的形状。在主 体的中间设置有倾斜传感器24,其在示出的实施例中是双轴倾斜传感器。在 此方面，双轴倾斜传感器是沿两个测量轴测量倾斜度的倾斜传感器，如表示 测量轴的箭头26所示。在当前的优选实施例中，测量轴垂直彼此定位。在 倾斜传感器24上设置有发射器/接收器28,其能够将测量信号传送到外部处 理器，例如在图3中可见的PC30。为了接收信号并且发出测量指令，PC30 具有各自的发射器-接收器32。 PC30连接有显示和/或控制单元34,例如触 摸屏，为了图形显示来自倾斜传感器的信号并且为了输入指令。如图3所示，接触件36位于盘形衬底20上，以4妄触衬底运载表面40 的接触件38,以给倾斜传感器24提供能量。倾斜传感器24包括例如可充电 电池，其经由接触件36和38可充电。测量装置.20的功能将随后参考图2进行说明。传送机构1首先通过在盘形衬底'20下移动运载臂18并将其升高从衬底 运载表面40拾取测量装置20。传送机构的运动受到例如PC30的控制。发 射器/接收器32发送测量指令给倾斜传感器24，其于是沿两轴(x轴和y轴) 测量倾斜度。此后，各个测量值经由发射器-接收器28传送到PC30,并且 PC30将两测量值存储为xl和yl。接下来，传送机构1绕旋转轴A旋转预 定角度a，例如120°,如图2b所示。在图2b中，初始测量位置以虚线示出。 旋转角度例如可由PC30提供。在旋转期间，旋转臂组件的各个元件不相对 于彼此移动。PC经由发射器-接收器32发出第二测量指令给倾斜传感器24,其沿各 个测量轴线依次执行测量。测量结果经由发射器-接收器28依次传送给PC30。在PC30中，这两个测量值存储为x2和y2。基于两旋转位置之间的 角度差别的和各个测量值的了解，PC现在可确定旋转轴线A的实际位置。通过上述方法，可容易地确定旋转轴线A的实际位置。从而，旋转角度 或两测量点之间的角距a可任意选择，其中优选地采用至少10°的旋转角度。 当使用其测量轴定位成垂直于彼此的双轴倾斜传感器时，特别地180°的旋 转是有利的，如图2c所示。因为沿同样的轴但是沿不同的方向执行测量， 因而测量值xl和x2以及yl和y2的比较使得容易确定位置。如果两数值对 相同，则旋转轴线A垂直，这意味着对准了地球重力。如果两数值对不一样，旋转轴线A的实际位置可容易地通过差别确定。 此外，即使对于未校准倾斜传感器，根据下面公式可确定垂直参考轴(这意 味着参考轴对准了地球重力)xE= ( xl+x2 ) /2;和yE= (yl+y2) /2。其中xE、 yE分别表示沿对准地球重力的x轴和y轴的值。这些值于是可传送 给显示和/或控制单元34,使得旋转轴线A关于垂直线的实际位置可显示。 显示使得维修技术人员可沿期望的位置对准旋转轴，典型地其与垂直线相一 致。然而，在确定实际位置之后可完全自动地执行对准。在对准之后，测量程序可重复以确保成功对准。在对准旋转轴线A之后， 传送臂组件10可相对于旋转轴线A对准，例如以水平地对准运载臂18。在完成实际位置的确定之后，传送机构1再次将测量装置20存放在衬 底运载表面40上，其中盘形衬底20上的接触件36和衬底运载表面40上的 接触件38接触，以能够使倾斜传感器的内部电源充电。在本发明的示出的实施例中设置了倾斜传感器，其可由传送机构拾取， 并可在执行根据本发明的方法之后再次放下。然而，还可能的是将倾斜传感 器以牢固的方式安装到传送机构，例如通过螺钉或胶合或通过任何其它的将 倾斜传感器结合到传送机构的方式。从而可免除拾取和存放传感器。独立于倾斜传感器以牢固的方式安装到传送机构，或通过传送机构拾取 和放下，根据本发明的用于确定传送机构的旋转轴线A的实际位置的方法可 结合到自动方法中，以能够在传送机构使用寿命期间经常地控制实际位置。 —通过轴承部件的磨损或通过不期望的事件(传送机构与外部物体的碰撞)， 实际位置可能改变。根据本发明的方法于是能够以简单和可靠的方式确定新的实际位置。在预定时间或在发生诸如碰撞的不期望事件之后可立即执行该 确定。确定的实际位置可用于将旋转轴对准重力。替换地，当更换现有系统 的传送机构时，还可能以与替换的传送机构的旋转轴一致的方式对准新传送 机构的旋转轴。本发明在上文中参考优选实施例和附图进行了详细的描述。然而，本发 明不限于实际描述的实施例。特别地在不同测量位置之间可选择任何角度。 同样，根据本发明的方法可与不同的传送机构一起执行，特别是具有不同传 送臂组件的传送机构。特别地，根据本发明的方法可有利地使用在除了在此 描述之外的其它应用或加工区域中。本发明的描述的实施例可通过根据示出 的实施例的元件和特征的结合产生的元件和特征、或通过将示出的实施例的 元件和特征替换为其它的元件和特征而另外地修改。对于本发明的这些和其它修改及变形可由本领域普通技术人员实施，而 不脱离本发明的精神和范围。此外，应理解各种实施例的方面可整体或部分 地互换。此外，本领域普通技术人员将意识到前述描述仅是为了示例，并不 打算限制本发明。本申请参考2005年7月27日申请的德国专利申请No.102005035199.9， 其整个内容在此引入用于所有目的。
权利要求
1.一种确定传送机构的旋转轴相对于参考轴的实际位置的方法，该方法包括当所述传送机构定位在第一旋转位置时，沿至少一个测量轴测量由所述传送机构支撑的至少一个倾斜传感器的倾斜度；使所述传送机构绕所述旋转轴旋转进入第二旋转位置，并且在所述第二旋转位置沿所述至少一个测量轴测量所述至少一个倾斜传感器的倾斜度；和根据所述倾斜传感器的测量值以及根据所述旋转位置之间的角距确定所述旋转轴的实际位置。
2. 如权利要求l所述的方法，还包括旋转所述传送机构进入至少一个另外的旋转位置，并且在确定所述旋转 轴的实际位置之前测量所述至少一个倾斜传感器的倾斜度。
3. 如权利要求1或2所述的方法，其中任何被测量倾斜度的不同旋转 位置之间的角距不等于180度。
4. 如权利要求2所述的方法，其中所述倾斜传感器的倾斜度在四个不 同的旋转位置处测量。
5. 如权利要求l、 2或4所述的方法，其中相邻旋转位置之间的角度差 为90度或180度。
6. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述传送机构包括至少两个相对于彼此可移动的臂；和其中所述臂在不同的旋转位置的测量之间不相对于彼此移动。
7. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述倾斜传感器可拆卸 地由所述传送机构支撑。
8. 如权利要求7所述的方法，还包括使用所述传送臂以在第一次倾斜度测量之前自动地将所述倾斜传感器 拾起。
9. 如权利要求7或8所述的方法，还包括使用所述传送臂以在最后的倾斜度测量之后自动地将所述倾斜传感器 放下。
10. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中测量所述倾斜度包括沿至少两个不同的测量轴测量所述倾斜度。
11. 如权利要求IO所述的方法，其中所述的测量轴;f皮此垂直。
12. 如权利要求10或11所述的方法，其中当所述传送机构处于所述第一旋转位置时，沿第一测量轴确定第一倾斜 值并且沿第二测量轴确定第二倾斜值；和在所述传送机构旋转进入所述第二旋转位置之后，沿所述第一测量轴确 定第三倾斜值并且沿所述第二测量轴确定第四倾斜值；其中所述第 一旋转位置和第二旋转位置之间的角距为180度。
13. 如前述权利要求中任一项所述的方法，还包4舌基于所述旋转轴的确 定的实际位置，通过将所述旋转轴^ 1入期望的位置而对准所述旋转轴。
14. 如权利要求13所述的方法，其中测量所述倾斜度包括沿至少两个不同的测量轴的倾斜度测量；当所述传送机构处于所述第一旋转位置时，沿第一测量轴确定第一倾斜 值并且沿第二测量轴确定第二倾斜值；和在所述传送机构旋转进入所述第二旋转位置之后，沿所述第一测量轴确 定第三倾斜值并且沿所述第二测量轴确定第四倾斜值；并且其中所述旋转轴的期望的位置通过计算第一算术平均值和第二算术平 均值而确定，所述第一算术平均值来自所述第一测量值和第三测量值，并且 所述第二算术平均值来自所述第二测量值和第四测量值。
15. 如权利要求13或14所述的方法，其中用于对准所述传送机构的旋 转轴的所述期望的位置与地球重力对准。
16. 如权利要求13至15中任一项所述的方法，其中所述旋转轴自动地 引入到所述期望的位置。
17. 如权利要求13至16中任一项所述的方法，其中所述传送机构包括 至少一个安装到旋转件的传送臂，并且其中所述方法还包括在所述旋转件的旋转轴已经引入到所述期望的位置之后，相对于所述旋 转轴对准所述传送臂。
18. 如权利要求13至17中任一项所述的方法，其中所述传送机构的旋 转件安装在驱动外壳中，并且所述旋转轴的对准通过所述驱动外壳的位置的 改变而#皮#^亍。
19. 如前述权利要求中任一项所述的方法，还包括在确定所述传送机构的旋转轴的实际位置之后，用新的传送机构替换所 述传送机构，所述新的传送机构包括至少一个绕旋转轴可旋转的旋转件，和至少一个安装到该旋转件的传送臂；和确定所述新的传送机构的旋转轴的实际位置，并通过将所述轴引入到期望的位置而对准所述轴；其中所述新的传送机构的轴的期望位置与被替换的传送机构的旋转件 的旋转轴的实际位置一致。
20. 如前述权利要求中任一项所述的方法，还包括 图形显示所述旋转轴相对于所述参考轴的期望位置和/或实际位置。
21. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述参考轴与重力对准。
22. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中使用无线发射器-接收 器，所述测量值从每个倾斜传感器传送到用于确定所述旋转轴的实际位置的 单元。
23. 如权利要求22所述的方法，其中所述至少一个倾斜传感器和所述 无线发射器-接收器包括校准单元。
24. 如权利要求23所述的方法，其中 所述校准单元还包括能量源；和所述传送机构在最后的倾斜度测量之后将所述单元传送到充电台。
25. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中电存储所述倾斜传感器 的测量值。
26. 如前述权利要求中任一项所述的方法，其中 所述传送机构配置成支撑盘形衬底；和所述倾斜传感器、无线发射器-接收器和能量源配置到大体上具有与盘 形衬底同样形状的单元中。
全文摘要
本发明公开了一种确定传送机构的旋转轴相对于参考轴的实际位置的方法，该方法用至少一个安装到传送机构的具有至少一个测量轴的倾斜传感器执行。该方法包括在传送机构的第一旋转位置沿至少一个测量轴测量至少一个倾斜传感器的倾斜度，以及在第二旋转位置沿至少一个测量轴测量至少一个倾斜传感器的倾斜度。传送机构的旋转轴的实际位置可根据倾斜传感器的测量值和旋转位置之间的角距确定。该方法特别适合于用于对准传送机构的旋转轴的方法和用于替换传送机构的方法。
文档编号G01B3/56GK101268333SQ200680034464
公开日2008年9月17日 申请日期2006年7月21日 优先权日2005年7月27日
发明者奥特玛·格拉夫 申请人:马特森技术公司