技术编号：6122843
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，特别是具有至少 一个可绕旋转轴旋转的旋转件和至少 一个安装到旋转件的传送臂的晶片传 送机构。本发明还涉及通过根据本发明的确定方法用于调整传送机构的方 法。背景技术在制造电子元件期间，例如存储芯片、微处理器、客户特殊电路设计或 逻辑器件，大量的各种各样的半导体技术加工正在使用。这些加工必须非常 好且精确地彼此可调整，并且通常必须允许每单位时间内重复生产大量的元 件。如果可能，需要避免废料。因为颗粒快速地引起废料，因而如果可能加 工环境必须没有颗粒...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。