专利名称：基板检查用夹具和检查用探头的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于检查作为检查对象的被检査基板的电气特性的基板 检查用夹具和检查用探头。
另外，本发明不限于印刷布线基板，例如可应用于挠性基板、多层 布线基板、液晶显示器和等离子体显示器用的电极板、以及半导体封装 用的封装基板和薄膜载体等各种基板上的电布线检查，在本说明书中， 将上述各种布线基板统称为"基板"。
背景技术：
在基板上形成有由许多布线构成的布线图形，为了检查布线图形是 否按设计那样完成，以往提出了各种基板检査装置，这些装置得到了实 用。
作为这种基板检查装置，例如存在这样的装置，即从构成布线图 形的多个布线中选择任意2组布线上的检査位置，检査这些捡査位置之 间是否电气断线或者是否导电等的电气特性。
在这种装置中，具有这样结构的装置是公知的，即利用保持多个 检查用探头的基板检查用夹具，使检查用探头的一端与被检查基板的检 査点接触，使另一端与电极部接触，将检査装置和检查对象基板电连接。
保持这种检査用探头的基板检査用夹具釆用这样的结构，S卩为了 解决检查用探头与被检査基板或基板检查用夹具的电极部之间的接触问 题，安装有在检査用探头的轴方向进行伸縮的弹簧，或者使检查用探头 自身具有弹性，使检査用探头在其轴方向挠曲，从而使检査用探头向轴 方向外侧施力。
通过采用这种结构，在检查用探头与接触部接触时产生接触压力， 解决了该连接不良问题。例如，如图6所示，基板检查用夹具J将挠性的检查用探头P保持 成在被检查基板100和电极部E之间挠曲，从而向检査用探头P的轴方 向外侧产生施力，针对被检查基板100的检査位置101和电极部E产生 接触压力。利用该接触压力，解决了检查用探头P与被检查基板100或 电极部E之间的接触问题(例如，参照专利文献1或2)。
然而，如专利文献1或2所公开的那样，对于基板检查用夹具J而 言，在检查用探头P产生接触压力而与电极部接触的情况下，检查用探 头2相对于电极部E表面斜斜地倾斜，每当承受负荷时，检查用探头的 前端在电极部表面上滑动，在布线上产生刮痕，或者电极部E和检查用 探头P之间的接触位置发生移动，因而接触不稳定。
专利文献1:日本特许第3690796号公报
专利文献2:日本特许第3690801号公报
发明内容
本发明是鉴于上述情况而作成的，本发明的目的是提供这样的检查 用探头和基板检査用夹具，即在使用检查用探头来实现被检査基板和 基板检查用夹具的电极部的导电连接的情况下，在检査用探头承受负荷 而处于以导电方式接触状态的情况下，可提供稳定的接触状况。
权利要求1所述的发明提供了一种基板检查用夹具，该基板检査用 夹具由以下部分构成，即检查用探头，其第一端部与作为检查对象的 被检查基板的规定检查位置以导电方式接触；连接电极体，其具有与所 述检查用探头的第二端部以导电方式接触的电极部；以及保持体，其配 置在所述被检查基板与所述连接电极体之间并保持所述检查用探头，该 基板检查用夹具的特征在于，所述保持体具有第一引导部，其形成有 将所述检査用探头的第一端部引导到所述检查位置的第一引导孔；以及 第二引导部，其形成有将所述检查用探头的第二端部引导到所述电极部 的第二引导孔，所述检查用探头由以下部分构成，即线状的导体部， 其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部，其以绝 缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述导体部的外周上，所述第二端部的长度形成为比所述第二引导孔的长度短。
权利要求2所述的发明提供了权利要求1所述的基板检查用夹具， 其特征在于，所述电极部形成为与所述连接电极体的表面构成同一面。
权利要求3所述的发明提供了权利要求1或2所述的基板检查用夹
具，其特征在于，所述连接电极体和所述第二引导部以紧密接触的方式 进行了配置。
权利要求4所述的发明提供了权利要求1至3中的任一项所述的基 板检査用夹具，其特征在于，所述检查用探头的最大直径形成为比所述 第二引导部的直径小。
权利要求5所述的发明提供了权利要求1至4中的任一项所述的基 板检査用夹具，其特征在于，所述电极部由圆筒形的导线形成。
权利要求6所述的发明提供了一种基板检查用夹具，该基板检査用 夹具由以下部分构成，即检查用探头，其第一端部与作为检査对象的 被检查基板的规定检查位置以导电方式接触；连接电极体，其具有与所 述检査用探头的第二端部以导电方式接触的电极部；以及保持体，其配 置在所述被检査基板与所述连接电极体之间并保持所述检查用探头，该 基板检査用夹具的特征在于，所述保持体具有第一引导部，其形成有 将所述检査用探头的第一端部引导到所述检查位置的第一引导孔；以及 第二引导部，其形成有将所述检查用探头的第二端部引导到所述电极部 的第二引导孔，且该第二引导部以在其与所述第一引导部之间相隔规定 间隔的方式进行配置，所述检査用探头由以下部分构成，即线状的导 体部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部， 其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述导体 部的外周上，当所述第一端部与被检査基板抵接而要使检查用探头弯曲 时，为了使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端 部和与该第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝 缘部的一部分以在其与该第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第 二引导孔内，并且所插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的 长度长，所述第二端部的长轴方向的长度形成为与所述检查用探头的绝缘部的外径大致相同或比所述检查用探头的绝缘部的外径短。
权利要求7所述的发明提供了一种基板检查用夹具，该基板检查用
夹具由以下部分构成，即检查用探头，其第一端部与作为检查对象的
被检査基板的规定检査位置以导电方式接触；连接电极体，其具有与所 述检查用探头的第二端部以导电方式接触的电极部；以及保持体，其配 置在^f述被检查基板与所述连接电极体之间并保持所述检查用探头，该
基板检查用夹具的特征在于，所述保持体具有第一引导部，其形成有
将所述检查用探头的第一端部引导到所述检查位置的第一引导孔；以及 第二引导部，其形成有将所述检査用探头的第二端部引导到所述电极部 的第二引导孔，且该第二引导部以在其与所述第一引导部之间相隔规定 间隔的方式进行配置，所述检查用探头由以下部分构成，即线状的导 体部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部， 其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述导体 部的外周上，当所述第一端部与被检查基板抵接而要使检查用探头弯曲 时，为了使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端 部和与该第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝 缘部的一部分以在其与该第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第 二引导孔内，并且所插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的 长度长，所述第二引导孔的最小直径形成为比所述检查用探头的绝缘部 的外径大。
权利要求8所述的发明提供了权利要求6或7所述的基板检查用夹 具，其特征在于，所述第二引导部层叠有多个板状构件，该多个板状构 件分别形成有引导所述第二端部的引导孔，所述第二引导孔通过将所述 板状构件的引导孔以在同一方向各偏移规定量的方式进行配置而形成为 相对于板面的直角方向倾斜，所述第二端部和所述绝缘部的边界配置在 与所述连接电极体连接的所述板状构件的引导孔内。
权利要求9所述的发明提供了一种检查用探头，该检查用探头由检 查基板用夹具的保持体保持，并将被检查基板和该检查基板用夹具的电 极部电连接，其中，所述保持体将成为检查对象的该被检查基板和检查该被捡查基板的电气特性的检査装置电连接，该检査用探头的特征在于， 所述检查用探头由以下部分构成，即具有挠性的线状的导体部，其具 有在由保持体保持时与所述被检查基板的检査位置以导电方式接触的 第一端部；和与所述被检查基板用夹具的电极部以导电方式接触的第二 端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二 端部以外的导体部的外周上，所述检査用探头的第二端部的长度形成为 比所述引导孔的长度短。
权利要求IO所述的发明提供了一种检査用探头，该检査用探头由检
查基板用夹具的保持体保持，并被插通在该保持体具有的引导到被检查 基板的检査点的第一引导孔和引导到该检查基板用夹具的电极部的第二 引导孔内，从而将该被检査基板和该检查基板用夹具的电极部电连接， 其中，所述保持体将成为检査对象的该被检查基板和检查该被检査基板 的电气特性的检查装置电连接，该检查用探头的特征在于，所述检查用
探头由以下部分构成，即具有挠性的线状的导体部，其具有在由保 持体保持时与所述被检査基板的捡査位置以导电方式接触并被插通在所 述第一引导孔内的第一端部；和与所述被检查基板用夹具的电极部以导 电方式接触并被插通在所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其 以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的导体部的外 周上，当所述第一端部与被检査基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为 了使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与 该第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的
一部分在被插入该第二引导孔内时与该第二引导孔相隔微小间隔，并且 所插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述第二 端部的长轴方向的长度形成为与所述检查用探头的绝缘部的外径大致相 同或比所述检查用探头的绝缘部的外径短。
权利要求11所述的发明提供了一种检査用探头，该检查用探头由检 査基板用夹具的保持体保持，并被插通在该保持体具有的引导到被检查 基板的检查点的第一引导孔和引导到该检查基板用夹具的电极部的第二 引导孔内，将该被检查基板和该检査基板用夹具的电极部电连接，其中，所述保持体将成为检查对象的该被检查基板和检查该被检査基板的电气 特性的检査装置电连接，该检査用探头的特征在于，所述检查用探头由 以下部分构成，即具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保 持时与所述被检査基板的检查位置以导电方式接触并被插通在所述第一 引导孔内的第一端部；和与所述被检查基板用夹具的电极部以导电方式 接触并被插通在所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘 方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的导体部的外周上， 当所述第一端部与被检查基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了使所 述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该第二 端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一部分 在被插入该第二弓I导孔内时与该第二引导孔相隔微小间隔，并且所插入 的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述检査用探头 的绝缘部的外径形成为比所述第二引导孔的最小直径小。 通过提供这些发明，解决了上述课题。
根据权利要求1所述的发明，提供了这样的基板检査用夹具，艮口 挠性的检查用探头的第一端部由保持体的第一引导部的第一引导孔引导 而与被检查基板的检查位置接触，并且检查用探头的第二端部由保持体 的第二引导部的第二引导孔引导而与连接电极体的电极部接触，检查用 探头的第二端部的长度形成为比第二引导孔的长度短，因而检査用探头 被保持在被检查基板和连接电极体之间，即使在检査用探头挠曲的情况 下，第二端部也与电极部的表面成大致直角接触。
因此，本基板检查用夹具提供了稳定的接触状况。并且，由于第二 端部与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑 动引起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
根据权利要求2所述的发明，由于连接电极体的电极部与连接电极 体表面构成同一面，因而可利用在制造工序中容易形成的电极部，并且 由于形成第二端部与电极部的表面成大致直角接触的电极部，因而可防 止第二端部的滑动，可使检查用探头和电极部更稳定地接触。
根据权利要求3所述的发明，由于连接电极体和第二引导部以紧密接触的方式配置，因而第二端部的电极部接触面能以与第二引导部的表 面大致同一面接触，可使检查用探头和电极部更稳定地接触。
根据权利要求4所述的发明，由于检査用探头的最大直径形成为比
第二引导部的直径小，因而可从基板检查用夹具的保持体上容易插拔检 查用探头，可容易更换检查用探头。
根据权利要求5所述的发明，由于电极部由圆筒形状的导线形成， 因而在检查用探头与电极部接触的情况下，检査用探头的一部分嵌入该 电极部的孔部内，可使检査用探头和电极部稳定接触。
根据权利要求6所述的发明，提供了这样的基板检查用夹具，艮口
挠性的检查用探头的第一端部由保持体的第一引导部的第一引导孔引导 而与被检查基板的检查位置接触，并且检查用探头的第二端部由保持体 的第二引导部的第二引导孔引导而与连接电极体的电极部接触，当所述 第一端部与被检查基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了使所述第二 端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该第二端部邻 接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一部分以在其 与该第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第二引导孔内，并且所 插入的所述绝缘部的长度形成为比第二端部的长度长，第二端部的长轴 方向的长度形成为与检查用探头的绝缘部的外径大致相同或比其短，因 而检査用探头被保持在被检查基板和连接电极体之间，即使在检查用探 头挠曲的情况下，第二端部也与电极部的表面成大致直角接触。
因此，本基板检査用夹具提供了稳定的接触状况。并且，由于第二 端部与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑 动引起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
根据权利要求7所述的发明，提供了这样的基板检查用夹具，艮卩 挠性的检査用探头的第一端部由保持体的第一引导部的第一引导孔引导 而与被检查基板的检查位置接触，并且检査用探头的第二端部由保持体 的第二引导部的第二引导孔引导而与连接电极体的电极部接触，当所述 第一端部与被检査基板抵接而要使检査用探头弯曲时，为了使所述第二 端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一部分以在其 与第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第二引导孔内，并且所插 入的所述绝缘部的长度形成为比第二端部的长度长，第二引导孔的最小 直径形成为比检查用探头的绝缘部的外径大，因而检查用探头被保持在 被检査基板和连接电极体之间，即使在检查用探头挠曲的情况下，第二 端部也与电极部的表面成大致直角接触。
因此，本基板检查用夹具提供了稳定的接触状况。并且，由于第二 端部与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑 动引起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
因此，本基板检查用夹具提供了稳定的接触状况。并且，由于第二 端部与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑 动引起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
根据权利要求8所述的发明，所述第二引导部层叠有多个板状构件，
该多个板状构件分别形成有引导所述第二端部的引导孔，所述第二引导 孔通过将所述板状构件的引导孔以在同一方向各偏移规定量的方式进行 配置而相对于板面的直角方向倾斜，所述第二端部和所述绝缘部的边界 配置在与所述连接电极体连接的所述板状构件的引导孔内，因而可控制 成在进行检査的情况下使检查用探头在大致相同方向以大致相同量挠 曲。
根据权利要求9所述的发明，提供了这样的检査用探头，即挠性 的检查用探头的第一端部由保持体的第一引导部的第一引导孔引导而与 被检査基板的检査位置接触，并且检査用探头的第二端部由保持体的第 二引导部的第二引导孔引导而与连接电极体的电极部接触，检査用探头 的第二端部的长度形成为比第二引导孔的长度短，因而检査用探头被保 持在被检査基板和连接电极体之间，即使在检查用探头挠曲的情况下， 第二端部也与电极部的表面成大致直角接触。
因此，本检査用探头提供了稳定的接触状况。并且，由于第二端部 与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑动引 起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。根据权利要求10所述的发明，提供了这样的检査用探头，该检査用 探头由将成为检查对象的被检查基板和检査该被检查基板的电气特性的 检查装置电连接的检査基板用夹具的保持体保持，并被插通在该保持体 具有的引导到该被检查基板的检查点的第一引导孔和引导到该检査基板 用夹具的电极部的第二引导孔内，将该被检查基板和该检査基板用夹具 的电极部电连接，该检查用探头的特征在于，所述检査用探头由以下部 分构成，即具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保持时与 所述被检查基板的检查位置以导电方式接触并被插通在所述第一引导孔 内的第一端部；和与所述被检査基板用夹具的电极部以导电方式接触并 被插通在所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆 盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的导体部的外周上，所述检 査用探头的第二端部的长度形成为比所述引导孔的长度短，而且，在所 述第二引导孔内部的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度 长，以便在使用时，使所述第二端部与所述电极部的表面成大致直角， 第二端部的长轴方向的长度形成为与检査用探头的绝缘部的外径大致相 同或比其短。
因此，本检查用探头提供了稳定的接触状况。并且，由于第二端部 与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑动引 起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
根据权利要求ll所述的发明，提供了这样的检查用探头，该检査用 探头由将成为检查对象的被检查基板和检查该被检査基板的电气特性的 检查装置电连接的检查基板用夹具的保持体保持，并被插通在该保持体 具有的引导到该被检查基板的检查点的第一引导孔和引导到该检查基板 用夹具的电极部的第二引导孔内，将该被检査基板和该检査基板用夹具 的电极部电连接，该检查用探头的特征在于，所述检查用探头由以下部 分构成，即具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保持时与 所述被检查基板的检查位置以导电方式接触并被插通在所述第一引导孔 内的第一端部；和与所述被检查基板用夹具的电极部以导电方式接触并 被插通在所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的导体部的外周上，当所述 第一端部与被检查基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了使所述第二 端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该第二端部邻 接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一部分在被插 入该第二引导孔内时与该第二引导孔相隔微小间隔，并且所插入的所述 绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述检査用探头的绝缘 部的外径形成为比所述第二引导孔的最小直径小。
因此，本检查用探头提供了稳定的接触状况。并且，由于第二端部 与电极部的表面成大致直角，因而防止产生由于在电极部表面上滑动引 起的刮痕，并防止第二端部和电极部的接触位置偏移。
图1示出本发明的实施例的基板检査用夹具的截面图，(a)示出检 查用探头承受负荷前的状态，(b)示出检査用探头承受了负荷的状态。
图2 (a)示出本发明的实施例的基板检查用夹具的保持体的截面图， (b)放大示出检査用探头被插入保持体内的状态。
图3示出本发明的实施例的检査用探头的侧面图。
图4 (a)示出本发明的实施例的基板检查用夹具的连接电极体的截 面图，(b)示出另一实施例的电极部的立体图，(c)示出检查用探头与 (b)的电极部接触的状况。
图5示出本发明的具体例的基板检查用夹具的一实施例。
图6示出现有的基板检查用夹具和检查用探头。
标号说明
1:基板检査用夹具；2:检查用探头；21:导体部；22:绝缘部； 23:第一端部；24:第二端部；25:边界；26:边界；3:保持体；31: 第一引导部；311:第一引导孔；32:第二引导部；321:第二引导孔；4: 连接电极体；41:电极部；100:被检査基板；101:检查位置。
具体实施方式
参照
本发明的实施例的基板检查用夹具1的结构。
图1示出本发明的实施例的基板检查用夹具的截面图，图1 (a)示 出检査用探头承受负荷前的状态，图1 (b)示出检査用探头承受了负荷 的状态。图2 (a)示出本发明的实施例的基板检查用夹具的保持体的截 面图，图2 (b)放大示出检査用探头被插入的状态。图3示出本发明的 实施例的检査用探头的侧面图。图4 (a)示出本发明的实施例的基板检 査用夹具的连接电极体的截面图，图4 (b)示出另一实施例的电极部的 立体图，图4 (c)示出检查用探头与(b)的电极部接触的状况。
另外，在本说明书中所说明的基板检查用夹具的各结构以一根检查 用探头为对象进行说明，然而实际上，可利用与检査点对应的数量的检 査用探头，可设置数根至数万根左右的检查用探头。
基板检査用夹具1具有检查用探头2、保持体3以及连接电极体4。
检査用探头2与被检查基板100的检查位置101以导电方式接触， 并与连接电极体4的电极部41以导电方式接触。保持体3将检查用探头 2引导到规定的检査位置101和电极部41并将其保持。连接电极体4将 所检测的信号传递到检查装置(未作图示)。
保持体3配置在被检查基板100和连接电极体4之间，保持检查用 探头2。该保持体3具有第一引导部31，其具有第一引导孔311，该第 一引导孔311引导检查用探头2的第一端部23，使其与被检查基板100 的规定检査位置101接触；以及第二引导部32，其具有第二引导孔321， 该第二引导孔321引导检查用探头2的第二端部24，使其与电极部41接 触。
如图2所示，在本说明书的实施例中所示的保持体3由第一引导部 31、第二引导部32以及支柱33构成。该第一引导部31和第二引导部32 分别由不同的构件形成，这些构件借助支柱33固定成一体。设置该支柱 33的数量、形状和长度根据需要来决定。另外，由于保持体3的厚度(图 2所示的纵方向的长度)根据该支柱33的长度来决定，因而根据检查夹 具的设计上的要求来设定。
如上所述，第一引导部31具有用于将检查用探头2的第一端部23引导到检査位置101的第一引导孔311。该第一引导孔311的直径311W 形成为比检查用探头2的绝缘部22具有的最大直径(检査用探头2的直 径22W)小，防止检查用探头2向图面朝上方向突出。
图2所示的第一引导部31由3块板状体形成，以便具有后述的3种 功能，然而不限于该块数，可以由一块板状体形成，也可以由2块以上 的板状体形成。
该图2所示的第一引导部31具有3块板状体312、 313、 314，板状 体312是用于将检查用探头2 (的第一端部23)引导到检查位置101的 板状体，板状体313是用于调整第一引导部31的厚度的板状体，板状体 314形成有用于固定支柱33的螺纹孔。
另外，该第一引导部31的厚度形成为比第一端部23的长度23L短。
如上所述，第二引导部32具有用于将检查用探头2的第二端部24 引导到电极部41的第二引导孔321。该第二引导孔321的直径321W形 成为比检查用探头2具有的最大直径大，可插拔检查用探头2。
图2所示的第二引导部32与第一引导部31 —样，由3块板状体形 成，以便具有后述的3种功能，然而不限于该块数，可以由一块板状体 形成，也可以由2块以上的板状体形成。
该图2 (a)所示的第二引导部32具有3块板状体322、 323、 324， 板状体322是用于形成有用于固定支柱33的螺纹孔的板状体，板状体323 是用于调整第二引导部32的厚度的板状体，板状体324是用于将检查用 探头2 (的第二端部24)引导到电极部41的板状体。
图2 (b)是图2 (a)所示的虚线部位的放大图，示出检查用探头2 被插入保持体3内的状态。
在本发明的实施例的基板检查用夹具1中，由于在第二引导孔321 内存在第二端部24和绝缘部22的边界26,因而可将检查用探头2的挠 曲影响抑制到最小限度。
并且，由于该第二端部24的长度24L (参照图3)形成为比第二引 导部32的厚度32T短，因而即使在检查用探头2承受了负荷的情况下， 该边界26也存在于第二引导孔321内部。这样由于绝缘部22存在于第二引导部321内部，因而与第二引导部 321的直径321W之间的间隙S减小，即使在检查用探头2挠曲的情况下， 由于第二端部24与电极部41的表面成大致直角接触，因而也防止检查 用探头2的滑动，或者抑制摆动。因此，本基板检查用夹具1可提供比 现有的检查夹具更稳定的与电极部之间的接触状态。
第二引导孔321的直径321W如上所述形成为比检査用探头2具有 的最大直径(图3所示的22W)大。该直径321W形成为比检查用探头 2的直径22W大lfim 50|um，更优选的是大10(im 30jam。
例如，在检查用探头2的最大直径形成为0.09mm的情况下，第二 引导孔321的直径可形成为0.12mm，在检查用探头2和保持体3之间具 有合适的保持力。
图2所示的保持体3配置成使第一引导孔311和第二引导孔321在 大致垂直方向一致，然而可以配置成使第一引导部31或第二引导部32 在平行方向错开规定间隔。在该情况下，由于第一引导孔311和第二引 导孔321在垂直方向的一直线上不一致，因而在插入了检査用探头2时， 检查用探头2挠曲，并与第一引导孔311或第二引导孔321的侧部摩擦 接触而被卡定，可防止落下。
检查用探头2由线状的导体部21和覆盖在导体部21的外周上的绝 缘部22构成(参照图3)。
该导体部21由具有挠性的材料形成，并形成为，在承受了来自导体 部21的轴方向的负荷的情况下，导体部21在与轴方向成大致直角方向 挠曲。由于该挠曲而使检査用探头2产生出用于与检查位置和后述的电 极部接触的接触力。
该导体部21的材料只要是如上所述具有挠性的材料，就能适当利用 合适材料，例如可利用铍铜(BeCu)和鸨(W)。
另外，由于检查用探头2的轴方向长度(导体部21的长度)如图1 所示由保持体3保持，因而有必要至少形成为比保持体3的厚度长，并 且需要用于满足下述条件的长度。
该检查用探头2的导体部21的长度(轴方向长度)是根据保持体3的大小和长度来决定的，可以形成为10mm 100mm左右，可根据检查 基板用夹具1的大小适当设定。
检査用探头2的导体部21具有与被检查基板100的检查位置101 接触的第一端部23，和与后述的连接电极体4的电极部41接触的第二端 部24。
如图3所示，第一端部23和第二端部24形成在从绝缘部22露出的 导体部21上。
如图1所示，该第一端部23配置成从第一引导部31的第一引导孔 311突出到外侧(图面的上方向)。并且，后述的第二端部24配置成从第 二引导部32的第二引导孔321突出到外侧(图面的下方向)。检查用探 头2配置成贯通保持体3的第一和第二引导孔311、 321。
并且，第一和第二端部23、 24从保持体3 (第一引导部31和第二 引导部32)的各自的突出量是根据需要来决定的，然而当连接电极体4 和被检査基板100接触配置时，检查用探头2挠曲，必要的是可使连接 电极体4和被检査基板100分别与保持体3密合固定。
该第一端部23和绝缘部22的边界25配置在第一弓1导部31的内侧。 该第一端部23的长度23L只要满足上述条件，就能根据与保持体3之间 的关系适当设定，优选的是形成为10mm 50mm，更优选的是形成为 20mm 40mm左右。这是因为，通过具有该范围的长度，当检查用探头 2挠曲时，可使检査位置101和第一端部23产生稳定的接触状态。
第二端部24与连接电极体4的电极部41接触。与形成第二端部24 的绝缘部22之间的边界26如图1所示配置在第二引导部32的第二引导 孔321内。如上所述，该第二端部24从第二引导部32的突出量也根据 检查时的检査用探头2的挠曲程度来决定，然而当连接电极体4和被检 查基板100接触时，检查用探头2挠曲，连接电极体4和被检查基板100 分别与保持体3密合固定。
由于该边界26配置在第二引导孔321内部，因而检査用探头2的第 二端部24可与电极部41的表面成大致直角接触。因此，可防止如以往 那样在检査用探头承受了负荷的情况下检查用探头与电极部41在倾斜状态下接触，可防止检查用探头在电极部41上滑动或者使电极部41产生刮痕。
并且，该第二端部24的长度24L形成为比第二引导孔321的长度(厚 度)短。这是因为，通过这样形成，即使在检查用探头2承受了负荷的 情况下，边界26也配置在第二引导孔321内部。
另外，优选的是，该第一端部23和第二端部24的前端被加工成具 有如半球状那样的倒角，或者具有尖端越来越细的锥形状。
优选的是，为了在使用时使该第二端部24与电极部41的表面成大 致直角，该第二端部24的长度形成为使在第二引导孔32内部的绝缘部 22的长度形成为比第二端部24的长度长，使第二端部24的长轴方向的 长度形成为与检查用探头的绝缘部的外径大致相同或比其短。
这是因为，通过这样形成第二端部24，即使在第二端部24配置在 第二引导部32上而使检査用探头2挠曲的情况下，也能与电极部41的 表面成大致直角进行立设。
由于形成检査用探头2的绝缘部22如上所述覆盖在导体部21上， 以使第一端部23和第二端部24露出，因而形成该绝缘部22的材料是绝 缘材料，优选的是加工性优良的材料。
当是上述那样的材料时，根据加工性适当选择合适材料，例如可利 用聚四氟乙烯(PTFE)(所谓特氟隆(注册商标))和聚氨酯树脂。特别 是，通过利用精细加工优良的聚氨酯树脂，可将图3所示的边界25、 26 形成为与导体部21成大致直角。
另外，在本说明书和图面中所说明的检査用探头2形成为圆柱形状， 导体部21和绝缘部22的直径根据被检查基板100的检査位置101的大 小来合适决定，该直径是可通过第二引导孔321的直径，以便可从基板 检查用夹具1上插拔检查用探头2。
连接电极体4由电极部41、基部42以及固定部43构成。该连接电 极体4接收从检査用探头2得到的电流和电压等的电信号。
如图4所示，该电极部41形成为与连接电极体4的表面构成同一面。 通过这样形成，可使在第二引导孔321内部的第二端部24在电极部41稳定接触。
如图4所示，该电极部41由导线形成，该导线的一端位于连接电极
体4的表面上，导线的另一端与检查装置连接。基部24是保持电极部41 的基材。固定部43是用于配置电极部41的固定材料。
另外，形成该连接电极体4的方法例如是在基部42上预先在期望位 置形成用于形成电极部41的孔部。然后，配置成为电极部41的导线， 为了固定该导线而填充形成固定部43的粘接剂。在形成了固定部43后， 去除从连接电极体4的表面(与检査用探头2接触的面)突出的导线。 这样，形成连接电极体4。
如图4 (b)所示，电极部41还可利用圆筒形的导线。通过在电极 部41中利用圆筒形的导线，在检查用探头2与该电极部41接触的情况 下，检査用探头2的第二端部24的前端的一部分配置在电极部41内部， 电极部41的内径41W2的周缘与第二端部24抵接，提供稳定的接触状 况(参照图4 (c))。
为了具有这种接触状况，电极部41的内径41W2至少形成为比第二 端部24 (导体部21)的直径21W小。另外，优选的是，电极部41的外 径41W1的长度与检査用探头2的导体部21的直径21W大致相同。
由于该连接电极体4在使用时与保持体3的第二引导部32紧密接触 地配置，因而保持体3和连接电极体4处于无间隙地抵接的状态，可使 第二端部24和电极部41的接触状况更稳定。
以下说明本发明的实施例的检查基板用夹具1和检查用探头2的一 具体例。然而，本发明不限于该具体例所示的尺寸和形状。另外，图5 示出该一具体例的概略。
对钨进行加工，将检査用探头2的导体部21形成为长度约30mm、 直径0.07mm的圆柱形或圆筒形(的线状)。此时，导体部21的两前端加 工成带有倒角。
使用聚氨酯树脂形成绝缘部22，以便覆盖该导体部21的外周。此 时，第一端部23形成为3mm，第二端部24形成为0.05mm。绝缘部22 的直径22W形成为0.09mm。另外，由于绝缘部22使用加工形成容易的聚氨酯树脂形成，因而可 将边界25、 26与导体部21成大致直角进行精细加工。
在形成保持体3的第一引导部31和第二引导部32上，如上所述， 分别形成有第一引导孔311和第二引导孔321。在该实施例中，第一引导 部31由2块板状体312、 313形成。第一引导孔311是通过2块具有级 差的板状体的侧部来形成的。这是因为，在形成第一引导孔311的情况 下，通过将第一引导孔311的上端部和下端部形成为具有期望的直径， 可得到具有期望长度的第一引导孔311。
第二引导部32由3块具有级差的板状体322、 323、 324形成。与形 成第一引导孔311的情况一样，利用这些3块板状体来形成第二引导孔 321。并且，在该实施例中，这3块板状体322、 323、 324以规定间隔错 开配置。这样第二引导孔321形成为倾斜方向的孔部，检查用探头2配 置成在被插入检査基板用夹具1内的情况下具有一定的挠曲。因此，插 入该基板检查用夹具1内的所有检查用探头2在大致相同方向以大致相 同量挠曲。
另夕卜，在该情况下，第一引导孔311形成为约0.08mm，该值比检査 用探头2的导体部21的直径21W大且比绝缘部22的直径22W小，第 二引导孔321在如上所述制作成检査用探头2的情况下，形成为约 0.12mm的直径。
在如上所述形成检査用探头2和保持体3的情况下，连接电极体4 的电极部41使用与检查用探头2大致相同直径的约0.09mm的导线形成。 另外，固定部43的连接电极体4的表面侧的直径形成为约0.10mm。
在这种情况下制作成的基板检査用夹具1，即使每次检査时检査用 探头2从轴方向承受负荷，第二端部24也与电极部41成大致直角接触， 因而可维持良好的接触状态。
产业上的可利用性
本发明的实施例的基板检查用夹具和检查用探头通过防止由多次承 受负荷引起的检查用探头的接触位置移动，可提供稳定的接触状态，在 基板检查中取得有效的效果。
权利要求
1.一种基板检查用夹具，该基板检查用夹具由以下部分构成，即检查用探头，其第一端部与作为检查对象的被检查基板的规定检查位置以导电方式接触；连接电极体，其具有与所述检查用探头的第二端部以导电方式接触的电极部；以及保持体，其配置在所述被检查基板与所述连接电极体之间并保持所述检查用探头，该基板检查用夹具的特征在于，所述保持体具有第一引导部，其形成有将所述检查用探头的第一端部引导到所述检查位置的第一引导孔；以及第二引导部，其形成有将所述检查用探头的第二端部引导到所述电极部的第二引导孔，所述检查用探头由以下部分构成，即线状的导体部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以外的所述导体部的外周上，所述第二端部的长度形成为比所述第二引导孔的长度短。
2. 根据权利要求1所述的基板检查用夹具，其特征在于，所述电极 部形成为与所述连接电极体的表面构成同一面。
3. 根据权利要求1或2所述的基板检查用夹具，其特征在于，所述 连接电极体和所述第二引导部以紧密接触的方式进行了配置。
4. 根据权利要求1至3中的任一项所述的基板检査用夹具，其特征 在于，所述检査用探头的最大直径形成为比所述第二引导部的直径小。
5. 根据权利要求1至4中的任一项所述的基板检査用夹具，其特征 在于，所述电极部由圆筒形的导线形成。
6. —种基板检查用夹具，该基板检査用夹具由以下部分构成，艮P-检查用探头，其第一端部与作为检査对象的被检查基板的规定检査位置 以导电方式接触；连接电极体，其具有与所述检查用探头的第二端部以导电方式接触的电极部；以及保持体，其配置在所述被检查基板与所述 连接电极体之间并保持所述检查用探头，该基板检查用夹具的特征在于， 所述保持体具有第一引导部，其形成有将所述检査用探头的第一端部引导到所述检 查位置的第一引导孔；以及第二引导部，其形成有将所述检查用探头的第二端部引导到所述电 极部的第二引导孔，且该第二引导部以在其与所述第一引导部之间相隔 规定间隔的方式进行配置，所述检查用探头由以下部分构成，艮p-线状的导体部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以 外的所述导体部的外周上，当所述第一端部与被检査基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了 使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该 第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一 部分以在其与该第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第二引导孔 内，并且所插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述第二端部的长轴方向的长度形成为与所述检査用探头的绝缘部 的外径大致相同或比所述检查用探头的绝缘部的外径短。
7.—种基板检查用夹具，该基板检查用夹具由以下部分构成，艮P-检查用探头，其第一端部与作为检查对象的被检査基板的规定检查位置 以导电方式接触；连接电极体，其具有与所述检査用探头的第二端部以 导电方式接触的电极部；以及保持体，其配置在所述被检查基板与所述 连接电极体之间并保持所述检查用探头，该基板检查用夹具的特征在于，所述保持体具有第一引导部，其形成有将所述检查用探头的第一端部引导到所述检 查位置的第一引导孔；以及第二弓I导部，其形成有将所述检査用探头的第二端部引导到所述电极部的第二引导孔，且该第二引导部以在其与所述第一引导部之间相隔 规定间隔的方式进行配置，所述检査用探头由以下部分构成，艮P:线状的导体部，其具有所述第一端部和所述第二端部且具有挠性；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以 外的所述导体部的外周上，当所述第一端部与被检查基板抵接而要使检査用探头弯曲时，为了 使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该 第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一 部分以在其与该第二引导孔之间相隔微小间隔的方式插入该第二引导孔 内，并且所插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述第二引导孔的最小直径形成为比所述检査用探头的绝缘部的外 径大。
8. 根据权利要求6或7所述的基板检查用夹具，其特征在于， 所述第二引导部层叠有多个板状构件，该多个板状构件分别形成有引导所述第二端部的引导孔，所述第二引导孔通过将所述板状构件的引导孔以在同一方向各偏移 规定量的方式进行配置而形成为相对于板面的直角方向倾斜，所述第二端部和所述绝缘部的边界配置在与所述连接电极体连接的 所述板状构件的引导孔内。
9. 一种检查用探头，该检查用探头由检査基板用夹具的保持体保持， 并将被检査基板和该检查基板用夹具的电极部电连接，其中，所述保持 体将成为检查对象的该被检查基板和检査该被检查基板的电气特性的检 查装置电连接，该检查用探头的特征在于，所述检查用探头由以下部分构成，艮P:具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保持时与所述被检 查基板的检查位置以导电方式接触的第一端部；和与所述被检査基板用 夹具的电极部以导电方式接触的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以 外的导体部的外周上，所述检查用探头的第二端部的长度形成为比所述引导孔的长度短。
10. —种检査用探头，该检查用探头由检查基板用夹具的保持体保持，并被插通在该保持体具有的引导到被检査基板的检查点的第一引导 孔和引导到该检査基板用夹具的电极部的第二引导孔内，从而将该被检 查基板和该检查基板用夹具的电极部电连接，其中，所述保持体将成为 检査对象的该被检查基板和检查该被检查基板的电气特性的检查装置电 连接，该检查用探头的特征在于，所述检査用探头由以下部分构成，艮口具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保持时与所述被检 查基板的检査位置以导电方式接触并被插通在所述第一引导孔内的第一 端部；和与所述被检查基板用夹具的电极部以导电方式接触并被插通在 所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以 外的导体部的外周上，当所述第一端部与被检查基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了 使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该 第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一 部分在被插入该第二引导孔内时与该第二引导孔相隔微小间隔，并且所 插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述第二端部的长轴方向的长度形成为与所述检查用探头的绝缘部 的外径大致相同或比所述检查用探头的绝缘部的外径短。
11. 一种检查用探头，该检查用探头由检査基板用夹具的保持体保持， 并被插通在该保持体具有的引导到被检查基板的检查点的第一引导孔和 引导到该检查基板用夹具的电极部的第二引导孔内，从而将该被检査基 板和该检查基板用夹具的电极部电连接，其中，所述保持体将成为检查 对象的该被检查基板和检査该被检查基板的电气特性的检查装置电连 接，该检查用探头的特征在于，所述检査用探头由以下部分构成，艮P:具有挠性的线状的导体部，其具有在由保持体保持时与所述被检 查基板的检査位置以导电方式接触并被插通在所述第一引导孔内的第一 端部；和与所述被检査基板用夹具的电极部以导电方式接触并被插通在 所述第二引导孔内的第二端部；以及绝缘部，其以绝缘方式覆盖在除了所述第一端部和所述第二端部以 外的导体部的外周上，当所述第一端部与被检査基板抵接而要使检查用探头弯曲时，为了 使所述第二端部无横向偏移地与所述电极部抵接，所述第二端部和与该 第二端部邻接的所述绝缘部的一部分位于第二引导孔内，该绝缘部的一部分在被插入该第二引导孔内时与该第二引导孔相隔微小间隔，并且所 插入的所述绝缘部的长度形成为比所述第二端部的长度长，所述检查用探头的绝缘部的外径形成为比所述第二引导孔的最小直 径小。
全文摘要
本发明提供一种用于检查作为检查对象的被检查基板的电气特性的基板检查用夹具和检查用探头。基板检查用夹具(1)由以下部分构成，即检查用探头(2)，其第一端部(23)与作为检查对象的被检查基板(100)的规定检查位置(101)以导电方式接触；连接电极体(4)，其具有与检查用探头(2)的第二端部(24)以导电方式接触的电极部(41)；以及保持体(3)，其保持检查用探头(2)，保持体(3)具有第一引导部(31)，其具有将第一端部(23)引导到检查位置(101)的第一引导孔(311)；以及第二引导部(32)，其形成有将第二端部(24)引导到电极部(41)的第二引导孔(321)，检查用探头(2)由以下部分构成，即线状的导体部(21)，其具有第一端部(23)和第二端部(24)且具有挠性；以及绝缘部(22)，其以绝缘方式覆盖在除了第一端部(23)和第二端部(24)以外的导体部(21)的外周上，第二端部(24)的长度形成为比第二引导孔(321)的长度短。
文档编号G01R1/067GK101310190SQ20068004292
公开日2008年11月19日 申请日期2006年10月14日 优先权日2005年11月16日
发明者加藤穰, 宫武忠数, 藤野真 申请人:日本电产理德株式会社