专利名称：微加工声波加速度计的制作方法
微加工声波加速度计技术领域实施例通常涉及传感装置以及其部件。实施例也涉及声波装置。实 施例也涉及微加工装置。
背景技术：
在多种传感应用中采用声波传感器，比如温度和/或压力传感装置 和系统。声波装置已经在商业上使用了超过六十年。尽管电信工业是声 波装置的最大用户，但它们也用于其他领域，比如化学汽相检测。声波 传感器被如此命名是因为它们利用机械或声波作为传感机制。当声波传 播通过材料的表面，或在材料的表面上传播声波时，对传播路径的任何 改变影响波的特性。通过测量传感器的频率或相位特性可以监控声波特性的变化，并且 然后声波特性的变化可被与对应的被测量的物理量和化学量相关。事实 上全部声波装置和传感器采用压电晶体，以便产生声波。三个机制可以 有助于声波传感器响应，也就是物体负载，粘弹性和声电效应。化学物质的物体负载改变这种传感器的频率、振幅和相位以及Q值。大多声波化学检测传感器例如依赖于传感器的物体灵敏度以及化学选择性涂层，该化学选择性涂层吸收导致声波传感器增加物体负载的感兴趣的蒸汽。声波传感器的例子包括声波检测装置，其被采用以便检测物质的存在，比如化学物质，或者比如温度和压力的环境条件。声学或声波(例如SAW/BAW)装置充当可以提供高灵敏检测机构的传感器，这是因为对表面负载的高灵敏度和低噪声，它起因于它们的固有高品质(Q)因子。 通常利用具有设置在压电材料上的梳状的叉指式变换器(interdigitaltransducer)的光刻技术制备表面声波装置。表面声波装置可以具有延 迟线或谐振器结构。利用真空镀覆装置可以典型地制备体声波装置，比 如通过CHA，动圈式电子控制仪(Transat )或Saunder获得的那些。通 过灯丝温度和总加热时间控制电极材料的选择和电极的厚度。通过掩膜 的合适使用限定电极的尺寸和形状。声波装置，比如表面声波谐振器(SAW-R )，表面声波延迟线(SAW-DL )装置，表面横波(STW)装置或体声波(BAW)装置已在力学量测量中被 采用。在这种传感应用中，传感装置或部件典型地被固定或定向在对力 学量最灵敏的方向上。声波装置和传统的有线传感器之间最重要的差别在于声波装置可 以机械存储能量。 一旦这种装置被供给一定量的能量(例如通过RF-无 线电频率)，该装置可以不需要任何有源部分(也就是没有电源或振荡 器)地暂时工作。这种结构使声波例如在RF供能无源和无线传感应用中 起作用成为可能。其中声波装置看来具有前景的领域是在加速度计领域中。因此于此 公开了改进的声波加速度计。发明内容提供下面的概述，以便有助于对公开的实施例特有的 一 些创新特征 的理解，并且不试图是完整的描述。通过整体获得整个说明书、权利要 求、附图和摘要，可以获得实施例的各个方面的全部应用。 因此，本发明的一个方面是提供改进的传感装置。 本发明的另一方面是提供改进的声波传感装置。 本发明的进一 步的方面是提供声波加速度计或加速度传感器。 如于此所述地，现在可以实现前面提到的方面和其他目标和优点。 公开了一种微加工加速度传感设备，其包括起传播介质作用的压电衬底。在衬底上布置隔板，其中隔板:故蚀刻，以便形成一个或多个蚀刻的空腔。在隔板上形成多个传感元件，其中在隔板上面定位多个传感元件 中的第 一传感元件，在隔板的侧面定位多个传感元件中的第二传感元 件，并且在相对于第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位多个传 感元件中的第三传感元件，从而使衬底，隔板和多个传感元件包括微加工加速度传感设备，该樣i加工加速度传感设备在衬底的一端^皮固定至加 速度下的目标，并且在衬底的自由端处受到力的作用，以便提供表示加 速度的信号。多个传感元件中的第二和笫三传感元件提供由于与压电衬底相关 的压电温度频率系数的各向异性特征而产生的温度数据。此外，在衬底 的自由端处固定惯性物体，从而使当加速度被施加至固定端时，通过固 定在自由端处的惯性物体的采用，加速度被转换成成比例的力，其中成比例的力通过被施加至由衬底提供的传播介质的多个力而与声传播相 互作用，从而产生表示加速度数据的信号。此外，多个传感元件中第一，第二和第三传感元件的每一个可以组成叉指式变换器(IDT)。这种IDT例如可以是SAW滤波器电极，其中 SAW滤波器电极的频率包括表示加速度的数据。可替代地，这种IDT可 以是SAW-R电极，其中SAW-R电极的频率包括表示加速度的数据。同样 地，这种IDT可以例如是SAW-DL电极，其中SAW-DL电极的相位包括表 示加速度的数据。通常，第一，第二和第三传感元件的每一个可以起参 考电极的作用。
附图，其中类似的参考数字涉及贯穿各个附图的相同或功能类似的 元件，并且其被结合，并形成说明书的一部分，进一步描述了实施例， 与详细的说明书一起，用于解释于此公开的实施例。图1描述了无源声波加速度计的透视图，该无源声波加速度计具有 依据一个实施例而被实施的多个BAW (体声波)(Bulk Acoustic Wave)电极；图2描述了依据另 一 实施例的SAW-R声波加速度计的透视图； 图3描述了依据可替代实施例的SAW-DL声波加速度计的透视图； 图4描述了依据优选实施例而被实施的微加工加速度传感设备的侧 视图。
具体实施方式
在这些不受限制的例子中讨论的具体值和结构可以变化，并且仅被 例举，以便描迷至少一个实施例，并且不试图限制其范围。图1描述了无源声波加速度计100的透视图，该无源声波加速度计 IOO具有依据一个实施例而被实施的多个BAW (体声波(Bulk Acoustic Wave))电极104和106。该声波加速度计100通常由压电衬底102形 成。在衬底102之上布置电极104和106。每一个电极104， 106包括叉 指式变换器(IDT)。声波加速度计100通常起加速度传感器或检测器 的作用。压电衬底102可以由多种衬底材料形成，比如石英，铌酸锂6(LiNb03),钽酸锂(LiTa03) , Li2B40" GaPO"硅酸镓镧(La3Ga5Si014), ZnO和/或外延生长的氮化物，比如Al，Ga或Ln，指出了少许。叉指式 变换器104和106可以由通常被分成三组的材料形成。第一，IDT或电 才及104， 106可以由金属族材料(例如Al，Pt， Au，Rh， Ir， Cu， Ti， W， Cr或 Ni)形成。第二， IDT或电极104, 106可以由比如NiCr或CuAL的合金 形成。第三，IDT或电极104, 106可以由金属-非金属化合物(例如基 于TiN，CoSi2或WC的陶资电极)形成。在图1中描述的结构中，IDT或 电极104, 106通常包括BAW电极。在衬底102的一侧上形成IDT或电 极104,同时在衬底102的相对侧上形成IDT或电极106。目标1G8表示处于加速度下的部件或装置。通过方块114描述其物 体以及横向力和侧向力。在通常的方块114中表示板102的自由端124 处固定的惯性物体。以Ft标记坤黄向力，同时以F,标记侧向力。通常通过 图1中的箭头112表示重力。此外，在方块116中描述下面的方程(1 ):方程(1 )通常涉及与加速度计100的功能相关的值。因此，/表示 力，并且r表示传播速度。变量d另一方面表示板或衬底102的厚度。 变量。表示刚度，其是造成剪切运动的原因。最后，变量/7表示密度。在图1中描述的结构中，加速度计100的操作通常基于通过被施加至传播介质的静态或緩慢改变的机械极化的存在而在声相速度中产生 的变化。基础声波加速度传感器或加速度计100包括用于声波传播的衬 底或板102。传感器或加速度计IOO在其一端122;故固定(clamp),并 且在自由端124处受到力的作用。当施加加速度时，通过通常如通过方 块114所示的板的自由端124处固定的惯性物体的使用，得到的值被转 换成成比例的力。该施加的力通过;f皮施加至传纟番介质的三个分量而与声 传播相互作用两个弯曲的力，它们垂直于传播表面及其横向，以及径 向或压缩力。图2描述了 SAW-R声波加速度计200的透视图，其可被依据另 一实 施例而被实施。该声波加速度计200通常由压电衬底202形成。电极204 被布置在衬底202之上，并且通常包括叉指式变换器(IDT) 。 SAW-R声 波加速度计200通常起加速度传感器或检测器的作用。压电衬底202可以由多种衬底材料形成，比如石英，铌酸锂(LiNb03),钽酸锂(LiTa03), Li2B407 ， GaP04,硅酸镓镧(La3Ga5Si014) ， ZnO和/或外延生长的氮化物， 比如Al，Ga或Ln，指出了少许。IDT或电才及204可以由通常^皮分成三组 的材神牛形成。第一，IDT或电极204可以由金属族材料(例如 Al，Pt， Au,Rh， Ir,Cu，Ti，W，Cr或Ni )形成。第二， IDT或电极204可以 由比如NiCr或CuAL的合金形成。第三，IDT或电极204可以由金属-非金属化合物(例如基于TiN，CoSi2或WC的陶瓷电极)形成。在图1中 描述的结构中，IDT或电极204通常组成SAW-R电极，尽管可以理解， 可以采用其它类型的声波电极代替SAW-R。在图2中，目标208表示处于加速度下的部件或装置。通过方块214 描述其物体以及横向力和側向力。在通常的方块214中表示板202的自 由端224处固定的惯性物体。以Ft标记;f黄向力，同时以F,标记侧向力。 通常通过图2中的箭头112表示重力。此外，在方块216中描述下面的 方程(2 ):尸=乙 (2)方程(2)通常涉及与加速度计200的功能相关的值。因此，/表示 力，并且K表示传播速度。变量oi另一方面表示叉指距离。这是IDT电 极204 (也就是SAW-R电极)的距离。在图2中描述的结构中，加速度计200的操作通常基于通过被施加 至传播介质的静态或緩慢改变的机械极化的存在而在声相速度中产生 的变化。基础声波加速度传感器或加速度计200包括用于声波传播的衬 底或板202。传感器或加速度计200在其一端222 :帔固定，并且在自由 端224受到力的作用。当施加加速度时，通过通常如通过方块214所示 的板的自由端224处固定的惯性物体的使用，得到的值被转换成成比例 的力。该施加的力通过被施加至传播介质的三个分量而与声传播相互作 用两个弯曲的力，它们垂直于传播表面及其横向，以及径向或压缩力。加速度计200也可以纟皮布置成包括微加工通道225,其在形状上可 以是矩形或圆形，并且被定位在衬底202的背面，并且在一个或多个叉 指式变换器204之下，从而使当加速度被施加至声波装置200时，蚀刻 或微加工矩形或圆形框架形通道225 (或隔板(diaphragm))中的物体具有对加速度的高灵敏度。图3描述了 SAW-DL加速度计300的透视图，其依据可替代的实施 例而被实施。该SAW-DL加速度计300 (也就是加速度传感器)包括多个 SAW-DL电极或IDT307, 309和311，其中通常在压电衬底302上形成。压电衬底202可以由多种衬底材料形成，比如石英，铌酸锂 (LiNb03),钽酸锂(LiTa03) , Li2B40" GaP04,珪酸镓镧(La3Ga5Si014), ZnO和/或外延生长的氮化物，比如Al，Ga或Ln，指出了少许。SAW-DL 电极或IDT307, 309和311可以由通常被分成三组的材料形成。第一， SAW-DL电才及或IDT307 , 309和311可以由金属族材坤牛(例如 Al，Pt， Au， Rh， Ir，Cu， Ti, W， Cr或Ni )形成。第二, SAW-DL电极或IDT307, 309和311可以由比如NiCr或CuAL的合金形成。第三，SAW-DL电极或 IDT307, 309和311可以由金属-非金属化合物(例如基于TiN， CoS"或 WC的陶资电极)形成。目标308表示处于加速度下的部件或装置。通过方块314描述其物 体以及横向力和侧向力。在通常的方块314中表示板302的自由端324 处固定的惯性物体。以Ft标记横向力，同时以F,标记侧向力。在图3中 描述的结构中，加速度计300的操作通常基于通过被施加至传播介质的静态或緩慢改变的机械极化的存在而在声相速度中产生的变化。基础声波加速度传感器或加速度计300包括用于声波传播的衬底或 板302。传感器或加速度计300在其一端322被固定，并且在自由端324 处受到力的作用。当施加加速度时，通过通常如通过方块314所示的板 的自由端324处固定的惯性物体的使用，得到的值被转换成成比例的力。 该施加的力通过被施加至传播介质的三个分量而与声传播相互作用两 个弯曲的力，它们垂直于传播表面及其横向，以及径向或压缩力。加速度计300也可以纟支布置成包括微加工通道325,其在形状上可 以是矩形或圆形，并且被定位在衬底302的背面，并且在一个或多个叉 指式变换器307, 309和311之下，从而使当加速度被施加至声波装置 300时，蚀刻或微加工矩形或圆形框架形通道325 (或隔板)中的物体 具有对加速度的高灵敏度。基于前面的内容可以理解，可以以多种设计布置声波加速度计，比 如BAW， SAW-R和/或SAW-延迟线结构。这种装置可以以高度的可靠性工 作。在图3中描述的SAW-DL声波加速度计例如可以提供低的功率消耗和好的灵敏度。在图1中描述的BAW加速度计IOO提供其中所述的三个 装置的最高的灵敏度。每一个传感器IOO, 200, 300的温度相关性是可 再现的，并且在大多情况中，来自其装配的热应力支配材料特性的热变 化。然而通过利用两个传感器结构可以消除该温度相关性。加速度传感 器IOO, 200, 300因此对横向和径向力灵敏。横向力包括较强的效应。图4描述了依据优选实施例可被实施的微加工加速度传感设备400 的側视图。设备400通常组成微加工声波加速度计，并包括起传播介质 作用的压电衬底402。隔板404被布置在衬底402之上。隔板404可;f皮 蚀刻，以便形成一个或多个蚀刻的空腔418， 416。可以在隔板上形成多 个传感元件406, 408, 410， 412， 411, 413, 415。通常，传感元件411, 413, 415可被定位在隔板404上面。传感元件412， 406可被布置在隔 板404的侧面。可以相对于其他传感元件412, 406和411, 413, 415 的结晶学的不同定向处定位传感元件410, 408。衬底402,隔板404和 传感元件406， 408， 410， 412, 411， 413， 415组成孩t加工加速度传感 设备，该微加工加速度传感设备可在衬底402的一端被固定至处于加速 度下的目标，并且在衬底402的自由端处受到力的作用，以便提供表示 加速度的信号，其方式类似于图1-3中描述的方式。通常，传感元件4152, 406和410, 408可以提供由于与压电衬底 402相关的压电温度频率系数的各向异性而产生的温度数据。此外，惯 性物体可被固定在衬底402的自由端处，以使当加速度被施加至固定端 时，通过自由端处惯性物体的采用，加速度被转化成成比例的力，其中 成比例的力通过被施加至传播介质(该传播介质是由衬底4 02提供的)的 多个力而与声传播相互作用，从而产生表示加速度数据的信号。这种结 构通常与在图1-3中描述的结构一致。此外，每一个传感元件可以组成叉指式变换器(IDT)。这种IDT 例如可以是SAW滤波器电极，其中SAW滤波器电极的频率包括表示加速 度的数据。可替代地，这种IDT可以是SAW-R电极，其中SAW-R电极的 频率包括表示加速度的数据。同样地，这种IDT可以例如是SAW-DL电 极，其中SAW-DL电极的相位包括表示加速度的数据。通常，传感元件 406, 408, 410， 412， 411, 413, 415的每一个都可以起参考电极的作 用。在图4中描述的结构通常集中于包括用于声波传播的板或衬底40210的加速度计400。该传感器400可在一端被固定，并且在自由端处受到 力的作用。当施加加速度时，通过板或衬底402的自由端处固定的惯性 物体的〗吏用，该力^皮转换成成比例的力。该施加的力通过纟皮施加至传播 介质的三个分量而与声传播相互作用两个弯曲力，垂直于传播表面， 以及其横向，也就是径向力(例如压缩的)。可以在不同设计中构建该微加工声波加速度计400,比如BAW， SAW-谐振器，SAW-滤波器或SAW-延迟线中。这种设计可以无源、无线和可靠 地工作。SAW-DL具有最高的测量比率，但具有较低的精确度，并需要非 常高的收发器功率，这是因为它的高插入损耗。SAW-R具有低功率消耗 和好的灵敏度。BAW具有最高的灵敏度和最高的成本。每一传感器的温 度相关性是可再现的，并且在大多情况中，来自装配的热应力支配材料 特性的热变化。然而这可以通过利用参考传感器(比如传感元件406, 408, 410, 412, 411， 413, 415)^皮消除掉。需要指出，在图4中描述 的箭头421表示通过微加工或蚀刻通道418和/或402和/或蚀刻隔板 404产生的物体。用于设备400的基础结构具有一般的轮廓如下传感器1被定位在 蚀刻隔板404上面；传感器2在侧面，同时传感器3被定位在与传感器 1和传感器2的不同结晶学角度处。由于压电温度频率系数的各向异性， 传感器2和传感器3可以提供温度信息。利用樣炎加工4支术可以形成加速度计400。为了速度计400的制备可 以采用多个处理步骤。例如基于SAW的加速度计400,下面提供这种处 理步骤的例子。1 、原样双側化学抛光石英SAW晶片的微粗糙度评估；2、晶片清洗；3 、被用作下 一步骤中的抗蚀剂掩膜的薄金属层的沉积；4、 用于通道间隙形成的光刻工艺，该通道间隙用于从SAW表面通 至外部连接的金属路径；5、 通道间隙的RIE蚀刻；6、 金属去除；7、 晶片清洗；8、 用于钛注入抗蚀剂掩膜的薄膜层的沉积；9、 用于钛注入的光刻工艺；10、 用于埋入导电路径形成的钛注入；11、 用于SAW电极形成和外部接触的金属层的沉积；12、 用于金属图案化的光刻工艺；13、 金属蚀刻；14、 晶片清洗；15、 在煮沸、浓缩的HN03中30-50分钟的石英SAW晶片的亲水饱和 (hydrophi 1 lsat ion )处理；16、 去离子水(DI water)冲洗后干燥；17、 兆声RCA 1溶液(NH4OH: H202: H20 =1: 1: 5 )中清洗10分钟之 后，10分钟的HCL: H202: H20=1: 1: 6;以及18、 干燥。一旦完成上面所示的处理步骤，可以在另 一石英晶片上执行类似一 组的处理步骤，以便形成石英基板。当两个石英晶片已准备好直接结合 时，石英切割和芯片装配可被处理，如下面所示1、 石英SAW晶片和石英基板的接触和对准；2、 在T〈450。C仏中进行1小时的热退火，其中温度上下变化 (ramped)约10。 C/min;3、 结合控制，其中经由50mm刀片而采用"裂缝张开"(crack opening )方法；4、 部分晶片切割(也就是等于石英SAW晶片的厚度的厚度的切割， 并且^f义在一个方向上)；5、 AQP微结构的芯片间空间上结合的晶片整个厚度切割；6、 与封装基板上专用树脂的芯片结合；7、 用于两个芯片的金属接触的导电树脂的分配(dispensing);8、 引线结合；9、 保护性树脂的分配；以及10、 加盖和焊接。一般地，利用标准微机电系统(MEMS)制备技术可以构造加速度计 400。需要指出，术语MEMS通常涉及在衬底上集成复杂机电元件和处理 电路的技术。加速度计传感器可被布置成包括声波装置，该声波装置包括起传播 介质作用的板，以及在板上布置的至少一个叉指式变换器。天线可被与声波装置集成，其中天线与叉指式变换器通信。天线接收和发送表示加 速度数据的信号，其中声波装置在板的一端处被固定至处于加速度下的 目标，并且在板的自由端处受到力的作用。此外，如于此所示的，在无线声波加速度计衬底202, 302或402的背面上可以定位蚀刻或微加工 圆形或矩形框架形状(framed-shaped )通道或隔板，并且净皮定位在至 少一个叉指式变换器之下，从而使当加速度被施加至声波装置时，蚀刻 或微加工圆形或矩形框架形状通道或隔板中的物体具有对加速的高灵 敏度。通过固定在板的自由端处的物体的采用，加速度可被转换成成比 例的力，其中通过被施加至传播介质的多个力，成比例的力与声传播相 互作用，从而产生用于天线无线传输的表示加速度数据的信号。可以理解，上面公开的变形以及其他特征或功能，或者其替代可被 期望地组合成多种其他不同的系统或应用。此外，其中通过本领域的熟 练技术人员可以随后获得各种目前没有预料到或不曾预料到的替代，修 改，变形或改进，其也试图被包括在下面的权利要求中。
权利要求
1、一种加速度传感设备，包括起传播介质作用的压电衬底；在所述衬底上布置的隔板，其中所述隔板被蚀刻以便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及在所述隔板上形成的多个传感元件，其中在所述隔板上面定位所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述隔板的侧面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述隔板和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加速度的信号。
2、 权利要求1的设备，其中所述多个传感元件中的所述第二和第 三传感元件提供由于与所述衬底相关的压电温度频率系数的各向异性 特征而产生的温度数据。
3、 权利要求1的设备，进一步包括固定在所述衬底的所述自由端 处的惯性物体，从而当所述加速度被施加至所述固定端时，通过固定在 所述自由端处的所述惯性物体的采用，所述加速度被转换成成比例的 力，其中所述成比例的力通过被施加至由所述衬底提供的所述传播介质 的多个力而与声传播相互作用，从而产生表示所述加速度数据的信号。
4、 权利要求1的设备，其中所述多个传感元件中的所述第一、第 二和第三传感元件的每一个都包括叉指式变换器(IDT)。
5、 一种加速度传感设备，包括 起传播介质作用的压电衬底；在所述衬底上布置的孩史加工物体，其中所述樣i加工物体一皮蚀刻，以 便形成其至少一个蚀刻的空腔；以及在所述微加工物体上形成的多个传感元件，其中在所述微加工物体 上面定位所述多个传感元件中的第 一传感元件，在所述微加工物体的侧 面定位所述多个传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和 第二传感元件的结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传 感元件，从而使所述衬底、所述微加工物体和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被 固定至处于加速度下的目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的 作用，以便提供表示加速度的信号。
6、 权利要求5的设备，其中所述微加工物体包括传感器隔板。
7、 权利要求5的设备，其中所述微加工物体被布置成包括在所述 衬底的背面上形成的通道。
8、 一种用于形成微加工加速度传感设备的方法，包括 提供起传播介质作用的压电衬底；布置在所述衬底上设置的隔板，其中所述隔板被蚀刻，以便形成其 至少一个蚀刻的空力空；以及形成在所述隔板上形成的多个传感元件，其中在所述隔板上面定位 所述多个传感元件中的第一传感元件，在所述隔板的侧面定位所述多个 传感元件中的第二传感元件，并且在相对于所述第一和第二传感元件的 结晶学不同定向处定位所述多个传感元件中的第三传感元件，从而使所述衬底、所述隔板和所述多个传感元件包括微加工加速度传感设备，所 述微加工加速度传感设备在所述衬底的一端被固定至处于加速度下的 目标，并且在所述衬底的所述自由端处受到力的作用，以便提供表示加 速度的信号。
9、 权利要求8的方法，其中所述多个传感元件中的所述第二和第 三传感元件提供由于与所述衬底相关的压电温度频率系数的各向异性 特征产生的温度数据。
10、 权利要求8的方法，进一步包括在所述衬底的所述自由端处固 定惯性物体，从而使当所述加速度被施加至所述固定端时，通过固定在 所述自由端处的所述惯性物体的采用，所述加速度被转换成成比例的 力，其中所述成比例的力通过被施加至由所述衬底提供的所述传播介质 的多个力而与声传播相互作用，从而产生表示所述加速度数据的信号。
全文摘要
一种微加工加速度传感设备包括起传播介质作用的压电衬底。在衬底上布置隔板，其中隔板被蚀刻，以便形成一个或多个蚀刻的空腔。在隔板上形成传感元件，其中在隔板之上定位传感元件中的第一传感元件，在隔板的侧面上定位传感元件中的第二传感元件，并且在关于第一和第二传感元件的结晶学不同定向处定位传感元件中的第三传感元件，从而使衬底，隔板和多个传感元件包括微加工加速度传感设备，该微加工加速度传感设备在衬底的一端被固定至加速度下的目标，并且受到衬底的自由端处的力，以便提供表示加速度的信号。
文档编号G01P15/08GK101326444SQ200680046583
公开日2008年12月17日 申请日期2006年10月5日 优先权日2005年10月11日
发明者J·D·库克, J·Z·刘, S·J·马吉 申请人:霍尼韦尔国际公司