技术编号：6123487
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微加工声波加速度计实施例通常涉及传感装置以及其部件。实施例也涉及声波装置。实 施例也涉及微加工装置。背景技术在多种传感应用中采用声波传感器，比如温度和/或压力传感装置 和系统。声波装置已经在商业上使用了超过六十年。尽管电信工业是声 波装置的最大用户，但它们也用于其他领域，比如化学汽相检测。声波 传感器被如此命名是因为它们利用机械或声波作为传感机制。当声波传 播通过材料的表面，或在材料的表面上传播声波时，对传播路径的任何 改变影响波的特性。通过测量传感器的频...
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