专利名称：分层摄影检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及工业检测的图像成像系统，尤其涉及分层摄影 检测的系统。
背景技术：
X光分层摄影技术已广为周知。此种技术可为待测物体中的特 定平面，建立截面图像，藉以进行物体内部的检测。在现有技术中， X光分层摄影系统包括X光源、X光探测器(藉以定义图像平面)、
以及固定机座(藉以固定待测物体、将之置放于x光源以及x光探 测器之间)。为取得待测物体的x光图像，现有技术通常利用x光
源以及X光探测器的周期运动，来取得待测物体一连串的X光图像；
其中，x光源可以对应待测物体进行运动，亦可与x光探测器同时 对应待测物体运动。在单一检测周期中，x光源、待测物体、以及
X光探测器的相对位置设定，均会对应待测物体之中的特定平面，
藉以取得该特定平面的图像，称之为"对焦平面"。纵然单一周期中，
x光源的相对位置不断改变，对焦平面上的任一点，仍会因为x光
源与待测物体或者x光探测器的相对位置设定，固定投影于图像平 面上的单一对应点；而对焦平面以外任一点，则会因为X光源与待 测物体的相对位置改变，在图像平面之上呈现多个光点。将不同X 光源位置的所得图像重迭时，因为对焦平面上的任一点，固定呈现 于图像平面上的对应位置L;所以，重迭图像时，对焦平面上任一 点的图像，会显得相当清晰，而对焦平面以外的单点则因为X光源 与X光探测器相对位置的改变，呈现多个模糊的图像。藉由组合X 光探测器所取得的多个图像，即可重建待测物体的特定截面图像。
过去已经开发出多种有效的分层摄影系统，可参见美国专利号 4,926,452，名称为"Automated Laminography System For Inspection ofElectronics"、美国专利号5,583,904，名称为"Continuous Linear Scan Laminography System And Method"、美国专利号6,324,249，名称为 "Electronic Planar Laminography System and Method"以及美国专禾廿 号6,748,046，名称为"Off-centerTomosynthesis";谨此提出以供参考。 在现有技术中的一种分层摄影系统中，固定待测物体，并利用 X光源与X光探测器对应于待测物体的相对圆周运动，来取得待测 物体的多个图像。在单一检测周期之中，X光源与X光探测器利用 区间的相对运动，在圆周上的不同位置，利用不同角度取得多个待 测物体图像。由于X光源与探测器必须在圆周上不断启动与停止， 因此检测速度较慢，而所能取得的图像数目也受到限制。此外，利 用圆周运动进行检测的机台也相对庞大、制造复杂，同时制造成本 较为昂贵。
另一种现有技术，则是采用单一转化检测(single translational scan),以由不同的角度取得检测图像。此种检测机制中，X光源必 须瞄准待测物体，藉以使得扇形的X光束，覆盖完整的待测物体表 面。此外，必须增加X光探测器的数量，如此才能在不同的检测角 度上取得图像，取得足量的单一线型扫描图像。虽然这种分层摄影 系统具有简单快速的扫描优势，但是由于必须增加X光探测器的数 量，仍会提高设备成本。此外，X光源必须进行「瞄准」，也会使得 系统过于复杂。
尚有另一种现有技术，利用大型摄影机(a large format camera)来
取得待测物体的图像数据。在单一检测周期中，X光源与X光探测 器固定，而待测物体则在X光源与X光探测器之间移动；藉此，待 测物体的不同部分，可同时在摄影机上呈现不同角度的图像。虽然 此种方法可以节省X光源以及摄影机运动的成本，但是仍会因为采 用大型摄影机而提高费用。此外，在检测过程之中移动待测物体， 亦可能影响对象稳定度，而降低图像的质量。
此外，待测物体本身因为重力而造成的弯曲，也是分层检测的 一个难题。待测物体的弯曲，可能在物体的实际位置与检测系统估 计位置之间形成偏差。由此，分层摄影所重建的截面图像，可能不
会是实际选定平面的图像，而是位移之后的其它平面图像。为解决
此一难题，美国第5,678,2095号专利已经披露一种弯曲补偿的机制， 在此提供做为参考。此种现有的弯曲补偿机制，需要使用对象预先 设定的计算机辅助设计(CAD)数据，与实际取得的图像数据进行 比对，以获得待测物体的弯曲程度。在图像重建的过程之中，必须 利用此种弯曲补偿计算，来取得选定区域的截面图像。但实际应用 时，常因为选定区域无法与CAD位置精确对应，或者无法预先获得 足够的CAD数据，而无法精确修正对象弯曲。
因此，产生改良分层摄影系统的需求，希望能够克服前述先前 技术产生的问题。
实用新型内容
本实用新型披露一种分层摄影检测的系统，其可利用简便的弯 曲补偿计算方法，有效地建立待测物体中选定平面区域的截面图像。
依据本实用新型的一种优选实施例，分层摄影检测系统包括辐 射源，多个线型图像探测器(其可定义图像平面)、固定桌面(以将 待测物体固定于辐射源以及线型图像探测器之间)、以及计算装置 (可处理多个图像探测器所取得的图像)。辐射源与图像探测器可藉 由一连串的并行线型扫描，使辐射光线穿越待测物体，藉以完成周 期性检测。由此，计算装置可以计算不同角度之下所获得的图像， 同时适当地利用偏移与縮放来调校图像，藉以重建待测物体中特定 区段的截面图像。
依据本实用新型的优选实施例，计算装置亦可在偏移与縮放图 像的过程之中，加入弯曲补偿的校正，以获得待测物体的图像。弯 曲补偿可以利用立体图像法来计算。
本实用新型的系统，具有节省费用的优势，同时可以利用简便 的方法计算弯曲补偿，而无须取得待测物体的CAD数据。
前述内容并非用以限縮本实用新型的范围。上述系统与操作可 利用多种方式达成，而其改变与修正均落入本实用新型的范围。其 余方面、发明特征、以及本实用新型的优势，由权利要求定义，同
时参照下列实施方式，惟其内容并非用以限縮本实用新型的范围。
图1A为依据本实用新型的一种实施例，所设置的分层摄影检测 系统的透视示意图。
图IB为依据本实用新型的一种实施例，所设置的分层摄影检测 系统的侧面示意图。
图1C为依据本实用新型的一种实施例，由分层摄影检测系统进 行扫描的运作模式示意图。
图2A、图2B、图2C、与图2D为本实用新型重建待测物体特 定区域X光图像的原理示意图。
图2E显示本实用新型决定弯曲补偿的机制。
图3为流程图，显示依据本实用新型的一种实施例，进行分层 摄影检测的步骤流程。
图4A、图4B、图4C、图4D、与图4E显示X光图像的范例， 此种X光图像示意图是依据本实用新型的分层摄影检测所取得的图 像为基础绘制而得。
主要组件符号说明
100:检测系统
102: X光源
104:固定桌面
106:待测物体
108:图像探测器
110:计算装置
112:支撑框架
410、 420:分层
412、 414、 422、 426:焊接点
416、 418、 424、 428:缺陷
P:特定区段
S:辐射源
D:图像平面
Dj、 D2、 D3:探测器
F:对焦平面
H、 H0、 H卜/z、 Rx、 Ry:距离
0、 Oh:取样点
01、 Ohi、 Oi，、 Oh，成像点
Lsx、 Lsy:位移参数 /:縮放参数
I, 、 12:图像
具体实施方式
本实用新型披露一种经济实用的分层摄影检测系统，其可利用 便利的弯曲补偿计算方法，获得待测物体中特定平面的截面图像。 于此所称"辐射源"指一种能量来源，用以产生电磁辐射，作
为x光摄影之用，其中包括但不限于x光源、伽玛射线、或其它相
类似者。此外，"图像探测器(image detector)"系指用以接收由辐 射源发射、穿越待测物体的电磁辐射，并可产生待测物体图像信号 的装置，其中包括但不限于X光探测器、伽玛射线探测器、或者其 它相类似者。
图1A和图1B为依据本实用新型的一种实施例所设置的分层摄 影检测系统示意图。检测系统100包括X光源102、用以置放待测 物体106的固定桌面104、线型(linear) X光探测器108、以及计算 装置IIO。 X光源102位于固定桌面104之上，并可发射锥形X光， 使X光穿越待测物体106，照射在探测器108之上；探测器108位 于待测物体106之下，位置对应于X光源102。各个线型探测器108 均可将穿透过待测物体106的X光转换为图像信号，并将之传送至 计算装置110进行分析。
参照图1A，为了更详细说明本实用新型，此处将以任意的X、 Y、 Z轴向作为说明检测系统100的辅助之用。固定桌面104固定在 水平平面上，平行于X轴与Y轴。X光源102固定在垂直轴向上， 其平行于Z轴并垂直于固定桌面104。 X光源102由马达驱动(未
显示)，可独立沿着X、 Y、或Z轴移动。X光源102包括但不限于 任何标准的X光发射管。
线型X光探测器108与支撑框架112位在同一平面上，各个探 测器108在X轴方向上具有固定距离，在Y轴方向则为平行。依据 本实用新型的一种优选实施例，系统具有三个线型探测器108，个别 由类似于电荷耦合装置(charge coupled devices)的X光感测组件形 成，其形状为线型或单一轴向排列。然而，应理解线型探测器108 的数量可随着不同设计的需求而更动。支撑框架112可独立沿着X、 Y、或Z轴运动，如此方可对应于待测物体106与X光源102,设 定探测器108的位置。X光源102与线型探测器108的相对位置， 可以依据所需的对焦平面、以及最佳X光图像分辨率的需求，进行 设定。
图1C披露依据本实用新型的一种实施例所设置的系统100检测 周期。在单一检测周期中，测试对象106保持固定，而X光源102 与探测器108同步移动，藉以扫描待测物体106。测试周期包含线型 扫描路径114，其平行于X轴，同时逐渐增加Y轴方向位移，以完 整扫描待测物体106的表面区域。经过一个周期的扫描之后，三个 线型探测器108可分别针对待测物体106的扫描区域，取得三个不 同角度(对应于X光源102)的X光图像数据。依据本实用新型的一 种实施例，可以继续增加Y方向上的位移，而相连接的扫描路径可 以重迭。就待测物体106的特定扫描部分而言，可以藉由增加扫描 路径，来增加检测角度。因此，无须增加任何图像检测器或费用昂 贵的扫描动作，即可让计算装置110取得更多不同检测角度的X光 图像数据。
同时，应理解，前后两条路径可以重迭，也可为相异的两条路 径。此外，除了采用三个探测器以外，也可以在其它实施例中利用 单一探测器，经过三个线型扫描路径，以三个对应X光源102的不 同检测角度，取得三组相同的图像。釆用上述方法所得的图像，计 算装置110即可产生待测物体106的分层摄影检测图像。
图2A、图2B、图2C、与图2D为利用不同检测角度，组合X
光图像数据，藉以重建区段P的图像的主要原理示意图。为能详细
说明其内容，于此采用下列代号。距离Hl为X光源S到图像平面 D的距离，图像平面D之上具有探测器Dl、 D2、 D3。探测器Dl 安排在相对于光源S的左边偏角，探测器D2安排在光源S的垂直 位置之下，而探测器D3则是安排在相对于光源的右边偏角。距离 HO为对焦平面F与X光源S之间的距离，h则是特定区域P以及对 焦平面之间的距离。距离Rx为两个相邻探测器之间的距离，而长度 Ry则为两个连续扫描路径之间的Y轴位移。
当系统100扫描检测待测物体106时，位于待测物体106之中、 对焦平面F之外的区段，会在图像平面D中形成相异的图像，其个 别具有不同的形变以及位移。因此，在图像平面D中，只有对焦平 面F之上的各点会具有清晰的图像，而对焦平面F之外的各点则会 显得模糊。为了重建待测物体之中的特定区段P，必须对不同角度 检测而得的X光图像数据进行适当的位移与縮放，再将之重迭，以 针对特定区段P产生适当的对应图像。上述位移与縮放的参数，可 分为X轴和Y轴，详述如下。
图2B显示如何根据平行于X轴与Z轴的投影平面，决定X轴 向上的位移与縮放参数。在此投影平面之中，对焦平面F之中的一 点O将对应至图像平面D之中的一个图像点Oj，而将垂直于O点 之上、位于特定区域P之中的一点Oh，则会对应至图像平面D中的 一点Ohi。利用简单的几何投影，可得图像平面D之上Oi与Ohi之间 的位移参数Lsx为
L汰-hxtan6-hRx/H!。
此外，当光源S在X方向上进行线型扫描时，待测物体106中、 特定平面P内X方向上的区段Oh-M，会毫无变化地投影至图像平 面D之上。此时，X轴向上的縮放参数为l。
同样地，图2C显示如何根据平行于Y轴和Z轴的投影平面， 决定Y轴上的位移参数I^。在此投影平面中，对焦平面F之中的一 点O，会在图像平面D之上成像于Oi'，而特定区域P之中的一点 Oh，，则会在图像平面D至上成像于一点Ohi，。图像平面D中，Oi，与
Ohi'之间的位移参数Uy可由下列关系表示
Lsy = h， x tan 6，
当h，二hxH!/Ho而tane， = (Ry+Lsy)/HJf，位移参数Lsy可表 示为
Lsy = hxRy/(H『h) 图2D显示如何根据平行于Y轴和Z轴的投影平面，决定Y轴 上的縮放参数f。假定特定平面P中的区段Oh，-M，会在图像平面D 之中形成变形的图像Ohi'-Mj，则縮放参数f可由下列比例定义 Oh，-Mh/Ohi，-Mi-Lh/Lj。利用相似三角形，Y方向上的縮放参数可
表示为
f二讽—h，)/H广l一固0
下表1分别显示重建待测物体之中特定平面的X光图像时，X 方向与Y方向的位移与縮放参数，其中h代表相对于对焦平面的高度。
XY
位移参数L -h《 sx—L = ^ Sy H0-h
縮放参数1f L h I — 一 1 — Lj H0
表l
利用上述位移与縮放的参数，即可在待测物体的z轴向上，适 当地重迭x光图像，以重建待测物体的x光图像。
依据本实用新型的内容，对x光检测系统进行其它设定，尚可 发现其它优点。尤其，可以简便地进行z轴方向上的弯曲补偿计算。
参照图2E，该图揭示利用立体成像法(stereo imaging method),决定 待测物体在Z轴方向的弯曲补偿。就特定区段W而言，利用立体成 像法时，探测器D2与D,分别取得两个图像l2与Ii，而区段W对应
于表面的相对高度则为H。假设Dn与Dh代表图像12与I,的个别位
置，而r(O)为图像分辨率，则区段W的实际高度H可表示为
—Hix(Dn-Dh)xr(0)
利用上述公式计算待测物体中的特定区段,即可在扫描后推知z
轴的对应位置数据，并凭借位移参数与縮放参数，加入弯曲补偿， 以正确重建待测物体中特定区段p的图像。由此，无须待测物体的
CAD数据，亦可计算弯曲补偿。
请参见图3与图1A、图1B、图1C，以说明依据本实用新型的 一种实施例，进行分层摄影检测的步骤。步骤302中，将待测物体 106放置在检测系统100中。在X光图像系统开始扫描待测物体之 前，会先在步骤304进行初步设定，利用调整X光源102、对象106 以及探测器108的相对位置，定义对焦平面以及适当的图像分辨率。 步骤306进行扫描，其中X光源102发射锥形X光束，并与探测器 108同步移动，经过平行的线型扫描，完整检测待测物体106。由此， 即可由不同角度，取得多个待测物体106的X光图像，藉以重建待 测物体106之中特定区段P的截面图像。
就此目的而言，在步骤308中，检测系统100会要求系统操作 者输入特定区段P相对于对焦平面F的高度h。接着进入步骤310， 在产生特定区段P的截面图像之前，计算装置110会先行计算重建 区段P的截面图像所需的弯曲补偿。如图2E所述，藉由待测物体在 Z轴方向上的X光图像数据，即可计算待测物体的弯曲补偿。在步 骤312中，利用输入的高度h以及弯曲补偿数据，计算装置110可 以计算适当的位移与縮放参数，并且利用这些参数重建选定区段P 的正确图像。
举例而言，图4A、图4B、图4C、图4D、与图4E显示依据本 实用新型的分层摄影检测方法，所得的图像范例之示意图。图4A显 示待测物体的组态，其中包括焊接点分层410与420，其相互平行， 并上下重迭。分层410与420分别具有3x3阵列的焊接点。在本例 中，分层410与420之间的分隔"g"以及悍接点之间的间隔"p"
均为举例所用的任意单位。举例而言，对焦平面F设在Z = 0的坐
标点上，对应于中央平面，与分层410及420等距。待测物体包含 数个缺陷416、 418、 424、与428，这些缺陷会显示在重建的X光图 像示意图之中，可见于下列图4B、图4C、图4D、与图4E。
图4B与图4C显示焊接点分层410的X光重建图像示意图，其 对应于对焦平面F的坐标为Z = 15。图4B显示的X光重建图像示 意图402，位移参数为1^ = 7.5与1^ = 35.294。未施加縮放参数的 情况下，重建的X光图像示意图402在Y方向发生变形。图4C显 示重建的404，其经过Y方向縮放参数f= 0.85/2的调整，如此即 可适当地修正Y轴方向的变形。同时参照图4A与图4B、图4C， 重建的X光图像示意图402与404正确地显示了焊接点412与414 之间的缺陷418，以及焊接点412的中空缺陷416。
图4D与图4E显示焊接点分层420的X光重建图像示意图，相 对于对焦平面F,其坐标系为Z-45。同样地，图4D中的X光图像 406示意图，利用位移参数1^ =-7.5 SLsy =-26.087进行重建，而 图4E中的X光图像示意图408，则是由同样的位移参数，加上縮放 参数f = 1.15/2,以校正Y方向上的变形。重建的X光图像示意图 406与408正确地显示了与焊接点426连接的缺陷428,以及焊接点 422之的中空缺陷424。
如上所述系统与方法，可依据本实用新型的基本原理，有效地 利用X光探测器所取得的图像，重建待测物体之中特定区段的截面 图像。须藉由数个周期的并行线型扫描，取得数个不同视角的图像， 即无须增加图像探测器的数量。
本实用新型的详细内容已参照实施例说明如上，上述实施例仅
作为举例说明之用，并非用以限制本实用新型的范围。本实用新型
具有诸多变化、修改、以及改良的可能，可以利用此处所提供的单
一范例，衍生出其它多种应用范例。个别的结构与应用可能与其它
结构或组件结合。本领域的技术人员对此进行的修改、变更、与改 良均落入本实用新型权利要求所载的范围内。
权利要求1.一种分层摄影检测系统，包括辐射源；多个线型图像探测器，其可定义图像平面；固定桌面，其可将待测物体承载于一固定位置，该固定桌面位于该辐射源与该图像探测器之间；以及计算装置，其可处理该图像探测器所取得的多个图像；其中，该辐射源与该图像探测器的设置，可利用一连串并行线型扫描，以不同的视角对该待测物体进行检测，取得该多个图像。
2、 如权利要求1所述的系统，其中该计算装置可组合不同视角 所取得的该多个图像，以建立该待测物体中特定区段的截面图像。
3、 如权利要求2所述的系统，其中该待测物体中的该特定区段 平行于该图像平面。
4、 如权利要求2所述的系统，其中该计算装置可计算多个位移 参数与多个縮放参数，藉以组合该多个图像，以重建该待测物体中 该特定区段的该截面图像。
5、 如权利要求4所述的系统，其中该位移参数与该縮放参数由 平行于该图像平面的二个坐标轴所决定。
6、 如权利要求4所述的系统，其中该位移参数与该縮放参数由 多个因子决定，包括该待测物体中该选定区段到该对焦平面的高 度、该辐射源至该图像平面的距离、该辐射源至该对焦平面的距离、 该图像探测器之间的距离、以及两个接续扫描路径之间的间距。
7、 如权利要求5所述的系统，其中与坐标轴相关的至少一该縮 放参数，平行于该线型扫描路径，而该縮放参数为l。
8、 如权利要求4所述的系统，其中该计算装置可定义弯曲补偿， 该弯曲补偿可用以计算该位移参数与该縮放参数。
9、 如权利要求1所述的系统，其中该辐射源可发射锥形X光束， 该X光束可穿过该待测物体，投射于该图像探测器之上。
10、 如权利要求1所述的系统，其中该图像探测器包括至少一 中央线型探测器，该中央线型探测器垂直位于该辐射源之下，并位 于该固定桌面之上，另外包含二个侧边线型探测器，该侧边线型探 测器相对倾斜于该辐射源。
专利摘要一种分层摄影检测系统，包括辐射源、多个线型图像探测器、固定桌面、与计算装置；其中多个图像探测器可以定义图像平面，固定桌面可以将待测物体固定于辐射源与图像探测器之间，而计算装置则可以处理探测器所获得的多个对象图像。辐射源与图像探测器可在待测物体上进行多个平行的线型扫描，以经由不同角度，取得待测物体的图像。利用上述方法取得图像数据之后，计算装置可以定义弯曲补偿，接着重建待测物体之中特定区段的截面图像。该分层摄影检测系统可利用便利的弯曲补偿计算方法，获得待测物体中特定平面的截面图像。
文档编号G01N23/04GK201199234SQ20072015719
公开日2009年2月25日 申请日期2007年8月14日 优先权日2007年5月31日
发明者李孟坤, 温光溥, 陈世亮 申请人:德律科技股份有限公司