专利名称：故障源设备确定系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及故障源设备确定系统，详细而言，本发明涉及在包含多个工序 的生产线中确定成为产品欠佳等的根源的异常的工序或设备的系统。
背景技术：
以往，包含多个工序的半导体器件和薄膜器件等的生产线中，为了实现产 品质量提高和设备稳定化，进行各种在线检査，导入根据在线检查得到的检查 信息确定成为产品欠佳的根源的异常的工序或设备的系统。例如日本国特开
2005 — 197629号公报揭示的技术，根据作为一种在线检査的图案缺陷检查得到 的信息对产品基板的缺陷分布状态进行分类，使用产品履历信息对缺陷分布状 态的类似度的高低进行共路径分析，从而确定候选问题装置。
日本国特开2005 — 197629号公报的技术中，为了将确定的候选问题装置 的结果告知用户，对报告显示画面进行显示。此报告显示画面包含规定受异 常检测的被检查晶圆的信息(品种、批号、检查日期等)、关于该晶圆的检查信 息(缺陷分布图像)、规定候选问题装置的信息(装置名等)、成为该候选问题装 置的确定源的信息(缺陷分布图像)、以及表示候选问题装置的状态(有没有问 题、是否对付过)的信息。
发明内容
可是，在实际生产线中要执行故障对策以提高成品率的情况下，通常 用户(包括系统的操作员)要利用人工判断，确认上述系统自动确定的候选问 题装置是否真正为异常源。这是因为万一根据错误的信息采取故障对策时， 对生产线造成很大的损失。
然而，日本国特开2005 — 197629号公报的技术中，报告画面能显示的信 息不够，所以存在用户难判断确定的问题装置是否真正为异常源的问题。例如，为了操作员确认所确定的候选问题装置是否真正为异常源，对使用 候选问题装置时的在线检查信息和使用候选问题装置以外的设备时的在线检
查信息进行对比，容易判明。然而，日本国特开2005—197629号公报的技术 中，进行这种对比时，操作员必须逐一检索使用问题装置以外的设备时的在线 检查信息和生产履历信息并进行校对。因此，需要很多时间和劳力。其结果， 在准确的故障对策的导入慢的情况下，例如设备混入异物为异常源时，故障的 产生持续好久，导致很大的损失。
因此，本发明的课题在于，提供一种在包含多个工序的生产线中确定成为 产品欠佳等的根源的异常源的设备、并且用户能迅速且方便地判断该确定的设 备(下文称为"候选故障源设备")是否真正为异常源的故障源设备确定系统。
为了解决上述课题，本发明的故障源设备确定系统，是在用可执行工序的 1套以上的设备分别执行1个以上该工序的生产线上，对基板确定成为故障发 生源的设备的故障源设备确定系统，其中，
所述生产线包含规定的工序结束后取得表示各基板上的缺陷的位置的缺 陷分布信息的检査工序，
所述故障源设备确定系统包括
使用关于所述各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布图案将所述各基板
分类的分类结果取得部；
根据所述分类结果取得部得到的分类结果和规定在所述各工序分别对所 述各基板执行处理的设备的生产履历信息，确定所述多个设备中成为故障发生 源的候选故障源设备的候选故障源设备确定部；
使所述候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，并制成第1缺陷
分布叠合图像的第1缺陷分布图像制成部；
使与所述候选故障源设备执行的工序相同的工序中所述候选故障源设备 以外的设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，并制成第2缺陷分布叠合图像的 第1缺陷分布图像制成部；以及
第1显示部，该第1显示部在某一显示屏幕上对比并显示所述第1缺陷分 布叠合图像和所述第2缺陷分布叠合图像。
本发明的故障源设备确定系统中，在某一显示屏幕上对比并显示叠合所述候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布叠合图像和叠合与 所述候选故障源设备执行的工序相同的工序中所述候选故障源设备以外的设 备处理的各基板上的缺陷分布的第2缺陷分布叠合图像。因而，用户(包括系 统操作员，下文同)可通过视觉直观地掌握此系统确定的候选故障源设备是否 真正为异常源，能与以往情况对比并迅速且方便地作出判断。 一实施方式的故障源设备确定系统，其中包括
使分类成某一缺陷分布图案的各基板上的缺陷分布叠合，并制成第3缺陷 分布叠合图像的第3缺陷分布图像制成部；以及
第2显示部，该第2显示部在所述显示屏幕上每一所述缺陷分布图案，同 时以一览表显示与该缺陷分布图案对应的第3缺陷分布叠合图像和表示与该缺 陷分布图案对应的候选故障源设备的候选故障源设备信息。
此一实施方式的故障源设备确定系统中，在所述显示屏幕上每一所述缺陷
分布图案，同时以一览表显示与该缺陷分布图案对应的第3缺陷分布叠合图像
和表示与该缺陷分布图案对应的候选故障源设备的候选故障源设备信息。即，
将第3缺陷分布叠合图像和候选故障源设备带有关联关系地以一览表显示。因
而，用户能例如根据过去的经验与以往情况对比，并迅速且方便地从此系统确 定的候选故障源设备中将范围收拢到真正成为异常源的故障源设备。
一实施方式的故障源设备确定系统，其中，所述第2显示部限定仅对与所
述缺陷分布图案对应的候选故障源设备中满足有关确定故障源设备的规定阈 值的候选故障源设备所涉及的信息，进行显示。
此一实施方式的故障源设备确定系统中，将所述第2显示部显示的候选故 障源设备信息限定成仅为与所述缺陷分布图案对应的候选故障源设备中满足 有关确定故障源设备的规定阈值的候选故障源设备所涉及的信息。这就是说， 将与所述缺陷分布图案对应的候选故障源设备中不满足有关确定故障源设备 的规定阈值的候选故障源设备考虑为关联度低的故障源设备，省略显示。因而， 用户能进一步迅速且方便地从确定的候选故障源设备中将范围收拢到真正成 为异常源的故障源设备。
一实施方式的故障源设备确定系统，其中包括输入选择所述显示屏幕上显 示候选故障源设备信息的候选故障源设备中的某一个的指示的指示输入部，所述第1显示部与通过所述指示输入部选择的候选故障源设备联动地切换 显示内容，以显示关于该选择的候选故障源设备的所述第1缺陷分布叠合图像 和第2缺陷分布叠合图像。
此一实施方式的故障源设备确定系统中，例如操作员能通过指示输入部选 择在所述显示屏幕显示候选故障源设备信息的候选故障源设备中的某一个。这 样选择候选故障源设备中的某一个时，此系统中，所述第l显示部与通过所述 指示输入部选择的候选故障源设备联动地切换显示内容，以显示关于该选择的 候选故障源设备的所述第l缺陷分布叠合图像和第2缺陷分布叠合图像。因而，
即使操作员不逐一检索并校对使用候选故障源设备以外的设备时的检查信息 和生产履历信息，也在所述显示屏幕对比并显示叠合所选择的候选故障源设备 处理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布叠合图像和叠合与所述候选故障源 设备执行的工序相同的工序中所述候选故障源设备以外的设备执行的各基板
上的缺陷分布的第2缺陷分布叠合图像。因而，用户可通过视觉直观地掌握此
系统确定的候选故障源设备是否真正为异常源，能与以往情况对比并迅速且方 便地作出判断。
一实施方式的故障源设备确定系统，其中，所述第l、第2缺陷分布图像
制成部分别根据规定所述各基板的信息和所述生产履历信息，对每一设备制成
所述第l、第2缺陷分布叠合图像。
此一实施方式的故障源设备确定系统中，所述第l、第2缺陷分布图像制 成部分别对每一设备制成所述第1、第2缺陷分布叠合图像。因而，用户可对 每一设备通过视觉直观地掌握此系统确定的候选故障源设备是否真正为异常 源，并能更迅速且方便地作出判断。
图1是示出一本发明实施方式的故障源设备确定系统和应用该故障源设备 确定系统的传输线的概略组成的框图。
图2是说明生产履历信息存放部存放生产履历信息的方法的图。 图3是说明检查结果信息存放部存放检查结果信息的方法的图。 图4是示例所述故障源设备确定系统显示的显示屏幕的图。图5A是示例基板表面上产生的环状型缺陷分布的图。
图5B是示例基板表面上产生的裂纹状型缺陷分布的图。 图5C是示例基板表面上产生的短边两端型缺陷分布的图。 图6是示出所述故障源设备确定系统的动作流程的图。 图7是示出所述检查结果信息的格式的图。 图8是示出所述履历信息的格式的图。
具体实施例方式
下面，利用图示的实施方式详细说明本发明。
图l示例一本发明实施方式故障源设备确定系统1的组件组成和应用此系 统的薄膜器件生产线10。
薄膜器件或半导体器件生产线， 一般由从接纳基板到完成器件为止，以制 造批为单位依次执行的多个工序组成。
图1中示出部分这种薄膜器件生产线10。此例中，生产线10包含使用 在线检査装置A的检査工序10a、使用处理装置B的工序10b、使用处理装置 C的工序10c、使用处理装置D的工序10d、使用处理装置E的工序10e、使 用在线检查装置F的检査工序10f。 g卩，各处理工序10b、 10c、 10d、 10e指例 如洗净基板的洗净工序、在该基板上形成薄膜的成膜工序(下文称为"沉积工 序")、在该膜上形成光刻胶图案的光刻制版工序(包含曝光工序、显像工序等， 下文称为"光工序")、将该光刻胶作为掩模对薄膜进行图案加工的蚀刻工序 等处理工序，处理装置B、处理装置C、处理装置D、处理装置E分别综合表 示多个设备。即，做成例如OOO工序中使用分别称为OOO—l号机、OOO — 2号机、……的多个设备。
检查工序10a、 10b，在此例子中进行图案缺陷检查，取得表示各基板上的 缺陷的位置和规模的信息，作为检査结果信息。作为基板上的缺陷，如图5A、 5B、 5C所示，产生各种缺陷分布。图5A示出基板表面上缺陷呈现环状的类 型(环状型)，图5B为基板表面上缺陷呈现裂纹的类型(裂纹状型)，图5C示出 基板表面上缺陷呈现沿基板的短边集中的类型(短边两端型)。
如图1中所示，故障源设备确定系统1包括数据库2、分类结果取得部14、候选故障源设备确定部15、缺陷分布图像制成部16、显示部17、以及指 示输入部18。数据库2包含储存生产履历信息的生产履历信息储存部11、储 存检査结果信息的检査结果信息储存部12、以及主信息储存部13。
生产履历信息储存部11如图2示例那样，从在线检査装置A或处理装置 B等随时实时地储存生产履历信息。如图8所示例的表那样，此生产履历信息 的形态(格式)使规定生产批的批号(批ID)、规定基板的基板号(基板ID)、规定 某工序中使用的设备的机号(处理设备ID)和处理日期与时间相互带有对应关 系。根据此生产履历信息判明例如对批AAA00001包含的基板AAA00001 —1使用处理设备AAA—1号机在2005年1月1日10时10分0秒执行工序 10000。
检查结果信息储存部12中，如图3所示例那样随时实时地储存作为检査 结果信息的缺陷分布信息，即储存表示各基板上的缺陷的位置和规模的信息。 如图7示例的表那样，此缺陷分布信息的输出形态(格式)使批ID、基板ID、工 序号、表示各缺陷的规模的缺陷规模(分成小规模S、中规模M、大规模L)和 表示该缺陷在基板表面上的位置的xy坐标相互带有对应关系。根据此缺陷分 布信息判明例如对批AAA00001包含的基板AAA00001 — 1而言，工序30000 中第1缺陷的规模为S，该缺陷的x坐标为100，该缺陷的y坐标为200;第2 缺陷的规模为M，该缺陷的x坐标为110，该缺陷的y坐标为200;第n缺陷 的规模为S，该缺陷的x坐标为900，该缺陷的y坐标为800。
图1中示出的主信息储存部13存放候选故障源设备确定部15的确定故障 源设备所涉及的阈值。
分类结果取得部14使用关于各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布图 案将各基板分类。此例子中，分类结果取得部14将关于各基板的缺陷分布信 息分别与作为示教数据的已知缺陷分布图案进行比较，算出各基板的缺陷分布 与已知缺陷分布图案之间的类似度，该算出的类似度高于某阈值，则使用对该 已知缺陷分布图案分类的公知方法。作为此阈值，参照并使用图l所示主信息 储存部13存放的数据。再者，作为缺陷分布图案分类方法，也可不用示教数 据，而用提取有特征的图案并进行分类的使用独立分量分析的方法等其它分类 方法。候选故障源设备确定部15根据分类结果取得部11得到的分类结果和生产 履历信息储存部11储存的生产履历信息，进行共路径分析(求出用哪个设备共 同处理具有同类缺陷分布的多个基板的分析)，确定多个设备中成为故障发生 源的候选故障源设备。
缺陷分布图像制成部16将各基板上的缺陷分布(位图映象)，制成多种缺陷 分布叠合图像(详况后文阐述)。
显示部17在CRT(阴极射线管)或CD(液晶显示元件)组成的某显示屏幕上， 将候选故障源设备确定部15确定的候选故障源设备所涉及的信息作为2维图 像进行显示。
指示输入部18包含鼠标器或键盘等，用于操作员对此系统输入希望的指示。
如本领域技术人员所知，能用计算机，具体而言，能用个人计算机，构成
这种系统l。各部"、15..... 18的动作，可用计算机程序(软件)实现。
此系统1按照图6所示处理程序进行动作如下。
首先，步骤S51中，分类结果取得部14从检査结果信息储存部12读入关 于各基板的检查结果信息(即缺陷分布信息)，接着在步骤S52使用该缺陷分布 信息按每一缺陷分布图案将各基板分类(基板面内图案自动分类)。
接着，步骤S53中，分类结果取得部14对每一缺陷分布图案提取分类得 符合该缺陷分布图案的基板ID和不符合该缺陷分布图案的基板ID。由此，能 使基板ID和相当的缺陷分布图案带有对应关系。
接着，步骤S54中，候选故障源设备确定部15从生产履历信息储存部11 读入生产履历信息。接着，步骤S55中，候选故障源设备确定部15根据分类 结果取得部11得到的分类结果和生产履历信息储存部11储存的生产履历信 息，进行共路径分析，确定多个设备中成为故障发生源的候选故障源设备。一 般而言，为了确定故障工序和设备，多数使用数据挖掘软件进行检定，并输出 各个结果。然而，由进行图案分类的算法决定利用生产履历信息判断设备间的 明显差的部分，所以本发明可用任一共路径分析。
接着，步骤S56中，缺陷分布图像制成部16作为第1、第2和第3缺陷 分布图像制成部起作用，将各基板上的缺陷分布(位图映象)叠合，制成多种缺陷分布叠合图像。此例子中，按照叠合哪个基板的缺陷分布，制成第1、第2 和第3缺陷分布叠合图像。第l缺陷分布叠合图像，叠合某工序中候选故障源 设备处理的各基板上的缺陷分布。第2缺陷分布叠合图像，叠合与该候选故障 源设备执行的工序相同的工序中候选故障源设备以外的设备处理的各基板上
的缺陷分布。第3缺陷分布叠合图像，对每一缺陷分布图案叠合分类成该缺陷
分布图案的各基板上的缺陷分布。再者，进行图像叠合的方法对各个基板进行 包含透明度的色彩设定，即使各个基板重叠，也能区分缺陷信息(缺陷规模和 位置)。
接着，图6的步骤S57中，显示部17作为第1和第2显示部起作用，在 CRT或LCD组成的显示屏幕显示有关候选故障源设备确定部15确定的候选故 障源设备的信息。
图4示例将候选故障源设备确定部15确定的候选故障源设备所涉及的信 息作为包含所述缺陷分布叠合图像的2维图像，由显示部17显示在显示屏幕 90的状态。
此图4的显示屏幕卯大体上划分，包含显示按每一缺陷分布图案将基板 的缺陷分布分类的结果的上部表区91、以及显示每一设备对基板缺陷分布的差 异(号机差)的下部表区92。
上部表区91对纵向分成项目显示区36、表示每一缺陷分布图案的分类结 果的图案分类区37、 38、 39、 40和41。此设备表区91对横向分成操作员用未 图示的鼠标器添加核对的核对栏31、显示所述第3缺陷分布叠合图像的"图像 叠合"栏32、显示分类成对应的缺陷分布图案的基板数的"分类基板数"栏 33A、显示分类成该缺陷分布图案的每一基板的缺陷数平均值的"基板平均缺 陷数"栏33B、表示工序号的"工序号"栏34A、表示工序名称的"工序名" 栏34B、表示执行对应的工序的候选各种设备的机号的"设备号机"栏34C、 以及表示对应的候选故障源设备的概率值的概率值(p-value)栏35。
此显示例中，例如在图案分类区37中判明此图案分类区的缺陷分布图 案是图像叠合栏32中显示的缺陷分布叠合图像(缺陷集中呈现在左上角)，分类 成该缺陷分布图案的基板数为30块，基板平均缺陷数的值为60个。还判明确 定的候选故障源设备为BBB — 4号机、CCC一4号机、AAA — 5号机。它们是异常源的概率分别为0.90、 0.80、 0.70。
对各图案分类区37、 38、 39、 40和41，分别设置核对栏31。操作员使用 作为指示输入部18的鼠标器(未图示)在某图案分类区的核对栏31添加核对时， 与该添加联动地将已加该核对的图案分类区所涉及的信息切换到下部表区92 进行显示(后文阐述)。
各图案分类区37、 38、 39、 40和4I信号，在图像叠合栏32显示缺陷分 布叠合图像，因此操作员对每一图案分类区能通过视觉直观地掌握缺陷分布图 案。
将各图案分类区37、 38、 39、 40和41中在图像叠合栏32显示的第3缺 陷分布叠合图像，按分类基板数多的顺序从上往下排列。由此，操作员能方便 地掌握重要的缺陷分布图案。
又，各图案分类区37、 38、 39、 40和41中，在"基板平均缺陷数"栏33B 显示每一块基板的缺陷数平均值。据此，将某图案分类区所涉及的异常现象分 类成具有特征的缺陷分布图案，但每一块基板产生的缺陷数少的情况下，用户 能降低对该异常现象的对策(成品率提高对策)的优先度。
各图案分类区37、 38、 39、 40和41中，在"设备号机"栏34C，显示候 选故障源设备确定部15确定的候选故障源设备的机号。在"工序号"栏34A、 "工序名"栏34B，分别显示该候选故障源设备执行的工序编号、工序名。将 它们显示得与图像叠合栏32中显示的第3缺陷分布叠合图像带有对应关系。 即，每一图案分类区37、 38、 39、 40和41将分类成第3缺陷分布叠合图像和 表示与该缺陷分布图案对应的候选故障源设备的候选故障源设备信息带有关 联关系地以一览表加以显示。因而，用户能方便地判断该候选故障源设备是否 真正为异常源。
例如，产生图5A所示的环状型缺陷分布时，旋转系统的装置为异常源的 情况居多。产生图5C所示的短边两端型的缺陷分布时，溶液喷射系统的处理 装置为异常源的情况居多。根据这些经验性实况，用户能方便地判断该候选故 障源设备是否真正为异常源。
再者，各图案分类区37、 38、 39、 40和41中，"设备号机"栏34中可 显示多个候选故障源设备。图4的例子中，图案分类区37中，作为候选故障源设备确定部15确定的候选故障源设备，显示BBB — 4号机、CCC一4号机、 AAA — 5号机这3个设备。这里，显示部17限定仅对候选故障源设备确定部 15确定的候选故障源设备中满足有关确定故障源设备的规定阈值的候选故障 源设备所涉及的信息进行显示。即，此情况下，将不满足该阈值的候选故障源 设备判断为关联度低的故障源设备，省略显示。因而，用户能进一步迅速且方 便地从确定的候选故障源设备中将范围收拢到真正成为异常源的故障源设备。 再者，从图1中示出的主信息储存部13参考此阈值。
"概率值(p-value)"栏35显示对应的候选故障源设备的概率值。此值是候 选故障源设备确定部15的共路径分析中确定该候选故障源设备时的概率值。 此概率值也有助于用户从此系统1确定的候选故障源设备中将范围收拢到真正 成为异常源的候选故障源设备。
再者，图4的例子中，显示的图案分类区(即缺陷分布图案)的数量为5个， 但不限于此，可使其增减。由于显示屏幕面积的制约，l个画面显示不完分类 的全部缺陷分布图案时，可用往纵向滚动图案分类区的方式进行显示。
下部表区92包含用标记71、 72、 73选择的多个页面。可变地设定此页数 (即标记的数量)，使其与上部表区91的核对栏31进行核对的图案分类区举出 的候选故障源设备数一致。再者，图4的例子中，进行核对的图案分类区37 中举出的候选故障源设备数为3，所以页数为3页。
此下部表区92的各页对纵向分成工序和设备显示区64、规定设备的"装 置号机"区65、对比并显示第1和第2缺陷分布叠合图像的"基板图像叠合" 区66、"估计基板数"显示区67、"处理基板数"显示区68和"％"显示区 69。对横向分成项目显示栏60、显示确定的候选故障源设备所涉及的信息的第 1信息显示栏61和显示与候选故障源设备执行的工序相同的工序中候选故障 源设备以外的设备所涉及的信息的第2信息显示栏62。
工序和设备显示区64中，按照操作员在上部表区91的核对栏31进行核 对的图案分类区(即缺陷分布图案)，显示工序编号、工序名、候选故障源设备 的机号(装置号机)、概率值。图4的例子中，此工序和设备显示区64中显示工 序编号"20000"、工序名"光工序"、候选故障源设备的机号(装置号机)"BBB 一4号机"、概率"0.90"。这是与己阐述的图案分类区37中举出的3个候选CCC一4号机、AAA — 5号机中作为第1候选的BBB 一4号机对应的信息。
"基板图像叠合"区66中，在第1信息显示栏62显示叠合候选故障源设 备处理的各基板上的缺陷分布的第l缺陷分布叠合图像。与此相对比，在第2 信息显示栏62显示叠合与该候选故障源设备执行的工序相同的工序中候选故 障源设备以外的设备处理的各基板上的缺陷分布的第2缺陷分布叠合图像。
此第l缺陷分布叠合图像、第2缺陷分布叠合图像，相当于叠合分类在相 同图案分类区的基板的缺陷分布的图像。图4的例子中，叠合分类在图案分类 区37的30块基板中由BBB — 4号机执行光工序20000的基板的缺陷分布，从 而制成第1信息显示栏61的第1缺陷分布叠合图像。又，对每一设备叠合分 类在图案分类区37的30块基板中由BBB — 4号机以外的设备(艮卩BBB—1号 机、BBB —2号机、BBB — 3号机、BBB — 5号机、BBB — 8号机、BBB —9号 机)执行光工序20000的基板的缺陷分布，从而制成第2信息显示栏62的第2 缺陷分布叠合图像。
这样，此系统1中，在某显示屏幕90中对比并显示叠合候选故障源设备 处理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布叠合图像和与候选故障源设备执行 的工序相同的工序中候选故障源设备以外的设备处理的各基板上的缺陷分布 的第2缺陷分布叠合图像。因而，用户可通过视觉直观地掌握此系统1确定的 候选故障源设备是否真正为异常源，能与以往的情况比较并迅速且方便地作出 判断。即，操作员与以往不同，不逐一检索并校对使用候选故障源设备以外的 设备时的生产线检查信息和生产履历信息等，也能解决。
又，分别每一设备制成并显示第1信息显示栏61的第1缺陷分布叠合图 像、第2信息显示栏62的第2缺陷分布叠合图像，因此用户能进一步迅速且 方便地判断此系统确定的候选故障源设备是否真正为异常源。
再者，不限于将叠合缺陷分布的对象分类在某图案分类区的基板，也可扩 充到生产线上处理的全部基板。即，叠合生产线上处理的全部基板中确定的候 选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布，从而制成第1缺陷分布叠合图像。 另一方面，叠合生产线上处理的全部基板中与该候选故障源设备执行的工序相 同的工序中候选故障源设备以外的设备处理的各基板上的缺陷分布，从而制成第2缺陷分布叠合图像。这样做的情况下，叠合缺陷分布的对象增多，所以用 户更容易掌握有关故障源的处理设备的趋势
又，图4中的"估计基板数"显示区67，对装置号机栏65显示的每一设
备分别显示分类在相同的图案分类区的基板中叠合缺陷分布的基板的数量。
"处理基板数"显示区68，对每一设备显示装置号机栏65显示的设备处理的 基板的数量。"％"显示区69，显示装置号机栏65显示的设备处理的基板中 分类在相同图案分类区的基板数量的百分比。利用此显示，用户能不仅直观上 而且数字上都容易判断此系统确定的候选故障源设备是否真正为异常源。
此例子中，第2信息显示栏62应显示的处理设备的数量多，l个画面显示 不完有关这些处理设备的全部第2缺陷分布叠合图像时，能以往横向滚动第2 信息显示栏62的方式进行显示。操作员通过用鼠标器等移动滚动条70,能使 第2信息显示栏62的内容往横向滚动。
如上文已述那样，操作员通过用鼠标器等选择标记71、 72、 73，能切换下 部表区92的多个页面。图4的例子中，操作员选择与第1候选对应的标记71 时，显示工序编号"20000"、工序名"光工序"的候选故障源设备"BBB — 4 号机"的页面。操作员选择与第2候选对应的标记72时，显示工序编号"30000"、 工序名"蚀刻工序"的候选故障源设备"CCC一4号机"的页面。操作员选择 与第3候选对应的标记73时，显示工序编号"10000"、工序名"沉积工序" 的候选故障源设备"AAA — 5号机"的页面。这样做的情况下，显示屏幕卯 的有限的面积中，能对多个候选故障源设备分别对比并显示叠合该候选故障源 设备处理的各基板上的缺陷分布的第1缺陷分布叠合图像和叠合与候选故障源 设备执行的工序相同的工序中候选故障源设备以外的设备处理的各基板上的 缺陷分布的第2缺陷分布叠合图像。
又，如上文已述那样，操作员在上部表区91对某图案分类区的核对栏31 添加核对时，与该添加联动地将已加该核对的图案分类区(即缺陷分布图案)所 涉及的信息切换到下部表区92进行显示。例如，图4的例子中，核对图案分 类区37，随着该核对，在下部表区92显示有关图案分类区37的信息，即显示 图案分类区37中的作为第1候选的光工序的候选故障源设备"BBB — 4号机" 等的页面。这里，假设操作员核对图案分类区38以代替图案分类区37，则随着该核对，在下部表区92显示有关图案分类区38的信息，即显示图案分类区 38中的作为第1候选的光工序的候选故障源设备"BBB—1号机"等的页面。 这样动作的情况下，显示屏幕90的有限的面积中，能显示许多信息，尤其能 显示每一设备对基板缺陷分布的差异(号机差)。因而，用户能进一步迅速且方 便地判断选择的候选故障源设备是否真正为异常源。
此实施方式中，说明了将本发明用于薄膜器件的生产线的例子。然而，本 发明能广泛应用于在用可执行工序的1套以上的设备分别执行1个以上的该工 序的生产线中对基板确定成为故障发生源的设备的场合。例如，也能用于半导 体器件的生产线等。
权利要求
1、一种故障源设备确定系统，其特征在于，是在用可执行各种工序的1套以上的设备分别执行1个以上该工序的生产线上，对基板确定成为故障发生源的设备的故障源设备确定系统，所述生产线包含规定的工序结束后取得表示各基板上的缺陷的位置的缺陷分布信息的检查工序，所述故障源设备确定系统包括使用关于所述各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布图案对所述各基板进行分类的分类结果取得部；根据所述分类结果取得部得到的分类结果和确定在所述各工序中分别对所述各基板执行处理的设备的生产履历信息，确定所述多个设备中成为故障发生源的候选故障源设备的候选故障源设备确定部；使所述候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，以制成第1缺陷分布叠合图像的第1缺陷分布图像制成部；在与所述候选故障源设备所执行的工序相同的工序中，使由所述候选故障源设备以外的设备所处理的各基板上的缺陷分布叠合，以制成第2缺陷分布叠合图像的第2缺陷分布图像制成部；以及第1显示部，该第1显示部在某一显示屏幕上对比并显示所述第1缺陷分布叠合图像和所述第2缺陷分布叠合图像。
2、 如权利要求1中所述的故障源设备确定系统，其特征在于，包括 使分类成某一缺陷分布图案的各基板上的缺陷分布叠合，以制成第3缺陷分布叠合图像的第3缺陷分布图像制成部；以及第2显示部，该第2显示部在所述显示屏幕上每一所述缺陷分布图案，同 时以一览表显示与该缺陷分布图案对应的第3缺陷分布叠合图像和表示与该缺 陷分布图案对应的候选故障源设备的候选故障源设备信息。
3、 如权利要求2中所述的故障源设备确定系统，其特征在于，所述第2显示部在对与所述缺陷分布图案对应的候选故障源设备中，仅限 定满足与故障源设备的确定有关的规定阈值的候选故障源设备所涉及的信息，并进行显示。
4、 如权利要求2中所述的故障源设备确定系统，其特征在于， 包括输入选择所述显示屏幕上显示候选故障源设备信息的候选故障源设备中的某一个的指示的指示输入部，所述第1显示部与通过所述指示输入部选择的候选故障源设备联动地切换 显示内容，以便显示关于该选择的候选故障源设备的所述第1缺陷分布叠合图 像和第2缺陷分布叠合图像。
5、 如权利要求1中所述的故障源设备确定系统，其特征在于， 所述第l、第2缺陷分布图像制成部，分别根据确定所述各基板的信息和所述生产履历信息，对每一设备制成所述第l、第2缺陷分布叠合图像。
全文摘要
使候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，制成第1缺陷分布叠合图像。使与该候选故障源设备执行的工序相同的工序中该候选故障源设备以外的设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，制成第2缺陷分布叠合图像。在某一显示屏幕上对比并显示第1缺陷分布叠合图像和第2缺陷分布叠合图像。利用本发明，用户可通过视觉直观地掌握确定的候选故障源设备是否真正为异常源，能与以往的情况比较并迅速且方便地作出判断。
文档编号G01N21/956GK101432863SQ20078001506
公开日2009年5月13日 申请日期2007年4月24日 优先权日2006年4月25日
发明者山本敏雄 申请人:夏普株式会社