专利名称：气体湿度测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及测量领域，尤其涉及一种气体湿度的测量装置。
背景技术：
工业生产和科研工作中，经常需要测量气体的湿度。业界将湿度(rh: RelativeHumidity)定义为气体中的水蒸气压(e: evaporation)与该气体的饱和水蒸气压(es: evaporation Saturation)的比值，若用百分比^>式表示，贝'J rh=e/esxl00%。
参照图l，
图1为现有技术气体湿度测量装置的结构示意图，目前测量气体湿度的方案通常为将湿度传感器3安放在管路2内部的测量位置；当需要测量湿度的气体1在管路2中流动经过湿度传感器3时，湿度传感器3首先采集气体1的湿度信息；再将采集的湿度信息通过信号传送给与湿度传感器连接的信号处理装置，由信号处理装置对该信号进行处理，获得该信号包含的湿度信息，从而实现流动在管路2中的气体1的湿度检测。
但有时由亍管路系统的结构非常复杂，长度大且弯曲多，使得整个管路系统中不同位置气体的温度和压力变动很大，导致该气体的饱和水蒸气压(es)的较大变动，从上述湿度定义可知，湿度(rh)也将随之发生较大变动，因此采用上述现有气体湿度测量方案将存在难以检测到稳定且精确的气体湿度值的问题；此外由于湿度变动较大，也使上述方案中湿度传感器的选型存在困难。
此外考虑到管路系统中管路的管壁厚度不同、管径大小不同及管路通常为圆柱形等因素的影响，使得湿度传感器难以安装在管壁上，不便于湿度传感器的安装和拆卸。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种气体湿度测量装置，能更加准确稳定地检测出气体的湿度状态。
3为解决上述技术问题，本实用新型提供了气体湿度测量装置，所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中。进一步的，所述湿度传感器与所述过滤器通过设有连接件连接。进一步的，所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接。进一步的，所述湿度传感器与连接件一体成型。进一步的，所述湿度传感器与连接件通过螺紋连接。进一步的，所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接。进一步的，所述过滤器与连^^妻件一体成型。进一步的，所述过滤器与连接件通过螺紋连接。进一步的，所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。进一步的，所述湿度传感器与所述过滤器通过螺紋连接。
与现有气体湿度测量装置相比，本实用新型提供的气体湿度测量装置通过将待测气体S1入至该气体湿度测量装置的过滤器中进行过滤再进行测量，气体的温度和压强变化幅度小，可以直接在第一时间进行测量，从而更能精确稳定测量出气体的湿度信息，而且结构简单，方便安装和拆卸。
另外，还可以根据过滤器内部空间与湿度传感器探头长度的实际比较情况，增加连接件，可广泛应用在各种管路内气体湿度测试的环境里。以下结合附图和具体实施例对本实用新型的气体湿度测量装置作进一步详细的描述。
图1是现有气体湿度测量装置的结构示意图2是本实用新型实施例一 中气体湿度测量装置的结构示意图3是本实用新型实施例二中气体湿度测量装置的结构示意图。
具体实施方式
实施例一
请参阅图2,图2为本实用新型实施例 一 中气体湿度测量装置的结构示意图，该气体湿度测量装置通过螺紋接头或者焊接接头(未标示)连接至管路2，管路2中需要测量湿度的气体1通过螺紋接头或者焊接接头进入该气体湿度测量装置，由气体湿度测量装置测量湿度。
该气体湿度测量装置包括过滤器4和湿度传感器3,所述湿度传感器3通过过滤器壁40上设置的开口嵌入至所述过滤器4中，形成部分深入至过滤层41外壁与所述过滤器壁40内壁形成的收容空间，另一部分用于与所述过滤器壁40连接。
所述湿度湿度传感器3与所述过滤器4能以多种可拆卸方式连接，例如夹持插拔或者螺紋连接方式。在本实施例中，所述开口为螺紋口，采用螺紋连接的方式将所述湿度传感器3旋进去即可，便于安装和拆卸。此外还可用密封垫圏、生料带以及螺紋密封胶等密封材料对湿度传感器3与过滤器4的连接处进行密封，防止气体泄漏。
采用本实施例中的气体气体湿度测量装置测量气体湿度的过程如下当管路2中有气体1流过，将有部分气体1通过与该气体气体湿度测量装置连接的管道2的开口，流入至过滤器4内的过滤层41,过滤层41由硼酸盐和超精细玻璃纤维組成，能够4艮好的过滤流入的气体1;过滤后的气体1再从所述过滤层41壁流出，然后流入到所述过滤层41外壁与过滤器壁40内壁形成的收容空间，与所述湿度传感器3直接接触；接着所述湿度传感器3采集过滤后的气体1的湿度信息，并将采集的湿度信息通过信号传送给信号处理装置(未标示)进行处理，由信号处理装置获得该湿度信息，实现气体1湿度的检测。由于经过过滤层41过滤后，能够直接地在第一时间进行测量，从而可以精确且稳定的测量出气体l的湿度。
实施例二:
请参阅图3，图3为本实用新型实施例二中气体湿度测量装置的结构示意图，当所述湿度传感器3探头的长度大于所述收容空间所支持的探头最大长度时，所述湿度传感器3无法直接依照实施例一的方式与过滤器3连接，此时需要通过连接件5将所述湿度传感器3和过滤器4连接。
其中所述湿度传感器3与连接件5可以采用可拆卸方式连接，也可以将两者一体成型，本实施例中，所述湿度传感器3与所述连接件5之间为螺紋连接；
所述过滤器4与所述连接件5也可以采用可拆卸方式连接或者根据需要将所述连接件5固定在过滤器4上一体成型，本实施例中，所述过滤器4与所述连接件5之间为螺紋连接，可达到方便安装和拆卸的目的。
此外上述连接的各个连接处还可以采用密封垫圏、生料带以及螺紋密封胶中等密封材料密封，防止气体l泄漏。
采用实施例二中的气体气体湿度测量装置测量气体湿度的过程与实施例一中提到的过程类似，在此不再详述。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是"^兌明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
权利要求1.一种气体湿度测量装置，其特征在于所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中。
2. 如权利要求1所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与所述过滤器通过设有连接件连接。
3. 如权利要求2所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接。
4. 如权利要求2所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与连接件一体成型。
5. 如权利要求3所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与连接件通过螺紋连接。
6. 如权利要求2或3所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接。
7. 如权利要求2或3所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述过滤器与连接件一体成型。
8. 如权利要求6所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述过滤器与连接件通过螺紋连接。
9. 如权利要求l所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。
10. 如权利要求7所述的气体湿度测量装置，其特征在于所述湿度传感器与所述过滤器通过螺紋连接。
专利摘要本实用新型提供了一种气体湿度测量装置，所述气体湿度测量装置包括过滤器和湿度传感器，所述湿度传感器嵌入在所述过滤器中，所述湿度传感器与所述过滤器通过连接件连接，所述湿度传感器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件以可拆卸方式连接或者一体成型，所述过滤器与连接件通过螺纹连接，所述湿度传感器与所述过滤器以可拆卸方式连接。与现有气体湿度测量装置相比，本实用新型提供的气体湿度测量装置通过将待测气体引入至该气体湿度测量装置的过滤器中进行过滤再进行测量，气体的温度和压强变化幅度小，可以直接在第一时间进行测量，从而更能精确稳定测量出气体的湿度信息，而且结构简单，方便安装和拆卸。
文档编号G01N33/00GK201344924SQ20082015834
公开日2009年11月11日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者于文忠, 张孝松, 飞 王, 敏 金, 陈勇辉 申请人:上海微电子装备有限公司