专利名称：基于mems技术的变压器油中溶解气体定量检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电力变压器油中溶解气体检测装置，尤指一 种基于MEMS技术的变压器油中溶解气体检测装置。
背景技术：
变压器油中溶解气体分析已被世界各国公认为是监测和诊断充油 电力变压器早期故障、预防灾难性事故最好的方法。因此在线分析方 法及装置的研究非常必要。
目前的变压器油中溶解气体的定量检测装置其主要部件为热导池 检测器、定量管和恒温系统，目前的热导池检测器的体积庞大，与其 相配的定量管和恒温系统受其体积影响，同样需要设置与热岛池检测 器规格相适应的定量管和恒温系统，导致检测装置体积过于庞大，不 适合工业现场的使用。另外，目前的热导池检测装置受定量管体积过 大的影响，定量管中充入载气带动定量管中样气向热导池检测装置充 气过程中，很容易出现充气气流不稳定的情况，从而在图谱上不能识 别出是样气本身造成的影响还是由样气波动所带来的影响，严重影响 气体的检测精度。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种体积小、检测精 度高的变压器油中溶解气体定量检测装置。
为实现上述目的，本实用新型基于MEMS技术的变压器油中溶解 气体定量检测装置，包括进样管、定量管、色谱柱和多通阀，所述多 通阀与所述进样管、所述定量管、所述色谱柱和定量^r测器连接组成 进气通路以及检测通路，实现向所述定量检测器进气以及在线分析， 所述定量检测器为MEMS传感器，所迷定量管上还"&置有用于控制气 体流量的电^f兹阀。进一步，所述电磁阀和所述定量管之间还设置有稳流稳压装置。
进一步，所述多通阀为6通阀或者8通阀。
本实用新型的基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检测装 置将传统的热岛池检测器替换为MEMS传感器，大大减小了检测器体 积，使之与其匹配连接的定量管等部件的规^各也缩小，与以前的热岛 池检测装置相比保持检测装置内温度稳定更加容易，另外，在检测装 置上还设置了用于自动控制气体流量的电磁阀，消除了待测气体通入 时流量波动对检测精度的影响，提高了检测精度。
图1本实用新型基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检测 装置的示意图2为本实用新型基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检 测装置的工作原理图。
具体实施方式
如图l所示，本实用新型基于MEMS技术的变压器油中溶解气体 定量检测装置，，包括进样管4、定查管3、色谱柱5、六通阀2和MEMS 传感器1，进样管4与六通阀2上的阀孔21连通形成待测气体进气管 路，六通阀2上的阀孔23通过定量管3与阀孔26连通，定量管3上 设置有电磁阀6控制通过定量管3内待测气体的流量，阀孔25上连接 色谱柱5，并与MEMS传感器1连接，载气通过阀孔24通入，待测气 体最终从阀孔22排出。
另外，本实用新型中的六通阀还可以用其它的多通阀替41为了 使进入定量管3内的气流更加稳定，在电磁阀6和定量管3之间还可 以设置一稳流稳压装置，消除待测气体通入时流量波动对;险测精度的 影响。
如图2所示，本实用新型基于MEMS技术的变压器油中溶解气体 定量检测装置的工作过程如下，待测气体通过进样管4进入阀孔21， 经电磁阀6控制进入定量管3进行气体定量，由阀孔22排出。检测装 置工作时，分析色谱柱5的载气由阀孔24进入，经定量管3带走定量后的待测气体，由阀孔25进入色谱柱5，经色谱柱5分离，由MEMS 传感器l检测。
本实用新型的变压器油中溶解气体定量检测装置，体积小，结构 简单，与大型的热岛池检测装置相比保持检测装置内温度稳定更加容 易，在检测装置上还设置了用于自动控制气体流量的电磁阀和稳流稳 压装置，消除了待测气体通入时流量波动对检测精度的影响，提高了 检测精度。
权利要求1.一种基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检测装置，包括进样管、定量管、色谱柱和多通阀，所述多通阀与所述进样管、所述定量管、所述色谱柱和定量检测器连接组成进气通路以及检测通路实现向所述定量检测器进气以及在线分析，其特征在于，所述定量检测器为MEMS传感器，所述定量管上还设置有用于控制气体流量的电磁阀。
2. 如权利要求1所述的基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检 测装置，其特征在于，所述电磁阀和所述定量管之间还设置有稳流稳 压装置。
3. 如权利要求1所述的基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检 测装置，其特征在于，所述多通阀为6通阀或者8通阀。
专利摘要本实用新型公开了一种基于MEMS技术的变压器油中溶解气体定量检测装置，包括进样管、定量管、色谱柱和多通阀，所述多通阀与所述进样管、所述定量管、所述色谱柱和定量检测器连接组成进气通路以及检测通路，实现向所述定量检测器进气以及在线分析，所述定量检测器为MEMS传感器，所述定量管上还设置有用于控制气体流量的电磁阀。本实用新型的变压器油中溶解气体定量检测装置，体积小，结构简单，与大型的热岛池检测装置相比保持检测装置内温度稳定更加容易，提高了检测精度。
文档编号G01N30/02GK201322743SQ20082023366
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月24日 优先权日2008年12月24日
发明者安晨光, 建 曹, 梁轩伟 申请人:北京华电云通电力技术有限公司