专利名称：气体检测设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及包括激光传感器单元的气体检测设备、包括这种气体检测设备的控制 系统以及包括这种控制系统的车辆。本发明还涉及检测气体的存在性和/或浓度的相应方法。
背景技术：
垂直腔表面发射激光器(VCSEL)针对激光气体吸收光谱术的应用可从专利 W02005026705获悉。W02005026705中描述的设备包括至少两个VCSEL 二极管和两个外部 光电检测器。VCSEL注入电流分别在频率厂和2/^下调制。吸收气体的浓度通过两个锁定放 大器检测。该设备复杂且昂贵。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种改进的气体检测设备。该目的是借助于一种包括至少一个激光传感器单元、驱动电路和分析电路的气体 检测设备来实现的，
-激光传感器单元包括至少一个有源腔、电极、至少一个光学反馈结构、检测体积和至 少一个检测器，有源腔包括夹在第一反射结构与第二反射结构之间的有源层，第一反射结 构具有比第二反射结构更高的反射率，电极适于将电流注入有源层，检测器耦合到有源腔， 检测体积设置在第二反射结构与光学反馈结构之间，并且检测体积适于包含要检测的气 体，
-驱动电路电耦合到电极并且驱动电路适于电泵浦有源腔，使得第一光经由第二反射 结构发射到检测体积内并且第一光的至少一部分适于由要检测的气体的吸收带吸收，
-光学反馈结构被设置成散射或反射通过检测体积的第一光，使得它重新进入有源
腔，
-重新进入有源腔的散射或反射的第一光为根据在检测体积中要检测的气体对第一 光的吸收而造成有源腔中的激光功率的变化的第二光，
-检测器适于产生与有源腔中的激光功率有关的测量数据，
-检测器耦合到分析电路并且分析电路适于基于从检测器接收的测量数据确定要检 测的气体的存在性和/或浓度。所述检测室可以具有两个开口，一个为其中气体流入的开口，一个为其中气体流 出的开口。气流可以通过检测室并且气体检测设备可以确定要检测的气体(例如CO)是否 存在于该气流中和/或确定要检测的气体的浓度。要检测的气体的存在性和/或浓度的测 量可以通过将第一光的波长调谐到要检测的气体的一个吸收带来完成。要检测的气体在其 到光学反馈结构的路途上以及在被光学反馈结构散射或反射之后返回的路途上对于第一 光的光学吸收影响重新进入有源腔的第二光的强度并且因而造成有源腔中激光功率或者更一般地光学功率密度的变化。光学功率密度的这些变化可以由耦合到有源腔的检测器检 测。与现有技术相比，有源腔中光学功率密度的变化的检测允许实现简单且低成本的气体 检测设备。所述检测器可以光学耦合到有源腔，或者以其他方式(例如电学上)通过产生与 有源腔的电阻有关的测量数据来实现。光学耦合意味着检测器被设置成使得有源腔中光 学功率密度的变化或者在有源腔处直接测量，或者通过测量第一光的功率密度而间接地测 量。第一光的光谱宽度被选择成使得由要检测的气体的吸收带造成的吸收足以检测 要检测的气体或者测量要检测的气体的浓度。优选地，所述光谱宽度可以等于或者甚至小 于要检测的气体的吸收带的线宽。驱动电路可以是以恒定驱动电流驱动激光传感器单元的 简单电子电路。可替换地，驱动电路可以是更复杂的电子电路，使得以一个或多个可选地具 有附加AC电流分量的限定的DC驱动电流驱动激光传感器单元成为可能。分析电路可以是 简单的晶体管、ASIC或者能够基于检测器产生的测量信号确定要检测的气体的存在性或浓 度的任何其他电子电路。所述气体检测设备可以包括若干工作于不同波长的激光传感器单 元以便检测要检测的不同气体或者不同吸收带下的一种要检测的气体。可替换地，该气体 检测设备可以包括仅仅一个激光传感器单元，并且该激光传感器单元可以随后调谐到与一 种或多种要检测的气体的不同吸收带相应的不同波长。要检测的气体可以包括气体分子， 而且也包括小的颗粒，例如存在于例如废气中的烟尘颗粒。此外，可以将温度传感器和/或 加热或冷却装置添加到检测室以便保持气体的物理条件基本上恒定。诸如温度、压力等之 类的恒定物理条件可以增大气体检测设备的精度。在依照本发明的另一实施例中，驱动电路进一步适于周期性地调谐第一光的波 长，其中第一光的波长的调谐范围至少包括要检测的气体的吸收带的带宽。第一光的波长 可以借助于提供给激光传感器设备的电极的AC电流分量来调谐。该AC电流分量可以是正 弦的、三角形的、锯齿形的或者具有适合周期性地调谐激光传感器单元的波长的任何其他 形状。激光传感器单元的波长的周期性变化可以允许扫描要检测的气体的吸收带。吸收带 的扫描可以在要检测的气体的吸收带之外的第一波长处开始，以便校准气体检测设备，之 后扫描要检测的气体的整个吸收带，直到也处于要检测的气体的吸收带之外的第二波长。 特别地，如果所述反馈结构提供的光学反馈不太强，那么只要要检测的气体的吸收不太强， 有源腔中的光学功率密度的变化就是线性的，并且可以确定要检测的气体的浓度。如果第 一光的光谱宽度远小于要检测的气体的吸收带的线宽，那么可以提高要检测的气体的浓度 的确定精度。第一光的光谱宽度可以为要检测的气体的吸收带的线宽的1/2，或者更优选地 为其1/10，或者甚至更优选地为其1/100。在依照本发明的另一实施例中，光学反馈设备是第三反射结构，有源腔和该第三 反射结构构成垂直扩展腔表面发射激光器(VECSEL)，并且检测体积为扩展腔的至少一部 分。在VECSEL中，第一反射结构可以具有大于99. 5%的高反射率，并且第二反射结构可以 具有例如70%的较低反射率。由于第二反射结构的较低反射率的原因，在没有附加光学反 馈的情况下，激光产生在有源腔中不被启用。该附加光学反馈由第三反射结构提供，该第三 反射结构为与第二反射结构一起构成外部腔或扩展腔的高反射镜。由于该高反射镜提供的 附加光学反馈的原因，激光产生被启用。检测室中要检测的气体的浓度一超过特定阈值浓 度，激光产生就可能被中断。中断由检测器检测，该检测器为例如激光产生的中断一发生并且从而有源腔中的光学功率密度显著降低就产生显著减小的光电流的光电二极管。在这种 情况下，光电二极管直接耦合到有源腔是不必要的，因为有源腔中的光学功率密度的变化 是非常大的。所述光电二极管可以电连接到作为分析电路的晶体管的基极，并且光电流一 下降至低于光电流阈值，该晶体管就可以从第一状态切换到第二状态。该实施例可以例如 用在烟尘警报器中。 在依照本发明的又一个实施例中，有源腔构成垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，并 且所述光学反馈设备是漫射散射表面。在VCSEL中，第一反射结构可以具有大于99. 5%的高 反射率，并且第二反射结构可以具有例如99%的较低反射率。第二反射结构提供的光学反 馈足以允许有源腔在没有附加光学反馈的情况下产生激光。作为有源腔发射的激光的第一 光通过检测体积并且可以被要检测的气体部分地吸收。重新进入有源腔的第二光的强度， 或者换言之，由漫射散射表面提供给有源腔的光学反馈依赖于要检测的气体对第一光的吸 收。漫射散射表面提供的光学反馈造成的有源腔中的光学功率密度的变化称为自混合干 涉。要检测的气体的吸收造成由检测器检测的有源腔中的光学功率密度的进一步变化，该 检测器为例如耦合到第一反射结构的光电二极管。该光电二极管基于泄漏出有源腔的小部 分激光产生测量数据。只要漫射反射结构提供的光学反馈不太强，要检测的气体的浓度不 太高(第一光的完全吸收)并且第一光的线宽足够小，那么光电二极管产生的测量数据基本 上线性地依赖于要检测的气体的浓度并且分析电路可以容易地确定要检测的气体的浓度。 然而，光学反馈结构提供给有源腔的光学反馈也可能如此强，以至于光电二极管产生的测 量数据非线性地依赖于气体的浓度。在这种情况下，可能需要例如包括具有参考数据的存 储设备的更复杂的分析电路以便确定要检测的气体的浓度。气体检测设备的精度可以通过 如上所述扫描要检测的气体的吸收线并且通过定期地发射具有与要检测的气体的吸收带 不同的波长的第一光定期地校准气体检测设备而提高。光学反馈结构提供的光学反馈可以 进一步借助于设置在第二反射结构与光学反馈结构之间并且被设置成将第一光聚焦到漫 射散射表面上的光学设备加以适应性调节。该光学设备可以是透镜或者类似物。依照本发明的气体检测设备可以包括两个激光传感器单元，即第一和第二激光传 感器单元，第一激光传感器单元包括第一垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，第一垂直腔表面 发射激光器发射的第一光的波长的调谐范围至少包括要检测的第一气体的吸收带的带宽， 并且第二激光传感器单元包括第二垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，第二垂直腔表面发射 激光器发射的第一光的波长的调谐范围至少包括要检测的第二气体的吸收带的带宽。使用 两个、三个、四个激光传感器单元或者激光传感器单元阵列可以允许检测要检测的不同气 体。如果确定诸如CO或(X)2之类的不同气体的浓度，那么例如有可能确定气流中潜在的氧。 两个、三个、四个或者更多激光传感器单元可以调谐到一种要检测的气体的不同吸收带。耦 合到不同激光传感器单元的有源腔的检测器产生的测量数据可以用来独立地确定要检测 的气体的浓度，并且分析电路可以进一步适于比较要检测的气体的浓度。要检测的气体的 浓度可以借助于所述不同激光传感器单元提供的测量数据的比较来确定，以便提高气体检 测设备的可靠性。在依照本发明的另一实施例中，控制系统可以包括所述气体检测设备，并且该控 制系统还可以包括控制装置，所述控制装置根据要检测的气体的浓度而被激活。该控制装 置可以处于通风装置的形式，房间中的例如CO的浓度一超过预定义的阈值，就激活该通风装置。可替换地，控制装置可以处于警报器的形式，例如一检测到烟尘或者烟尘的浓度一超 过特定阈值，就激活该警报器。可替换地，控制系统可以用来控制内燃机。内燃机可以包括 这种控制系统或者内燃机可以耦合到这种控制系统，其中气体检测设备可以适于确定内燃 机的至少一种废气和/或烟尘颗粒的浓度，并且控制装置可以是根据废气的浓度控制内燃 机的工作点的电机控制器。内燃机的工作点可以通过调节在确定的时间段内提供给内燃机 的燃料量来加以控制。可替换地或者此外，可以调节氧化剂(比如氧)的量。此外，可以调节 内燃机的压力或温度。所述气体检测设备可以确定诸如例如CO和CO2或者不同氧化氮之类 的不同废气之间的关系，并且电机控制器可以根据这些不同气体之间的关系调节内燃机的 工作点。可替换地或者此外，气体检测设备可以确定废气中的烟尘浓度。可替换地或者此 外，所述控制系统还可以设置在内燃机的进给管中。分析电路可以是电机控制器的一部分 或者为独立的电路。像汽车、卡车、火车等等那样的车辆可以包含内燃机和所述控制系统。本发明的另一目的是提供一种改进的检测气体的方法。这个目的是借助于一种检测气体的方法来实现的，该方法包括步骤
-在激光器的有源腔内产生第一光，第一光的至少一部分适于由要检测的气体的吸收 带吸收，
-发射第一光，穿过适于包含要检测的气体的检测体积，
-借助于第二光向有源腔提供光学反馈，该第二光为重新进入有源腔的散射或反射的 第一光，
-借助于要检测的气体对第一光的吸收改变有源腔内的激光功率， -将检测器耦合到有源腔，
-借助于检测器产生与有源腔内的变化的激光功率有关的测量数据， -将该测量数据提供给分析电路，
-借助于分析电路基于从检测器接收的测量数据确定要检测的气体的存在性和/或 浓度。在依照本发明的另一实施例中，所述方法包括附加步骤
-借助于分析电路根据内燃机的废气和/或烟尘颗粒的浓度激活电机控制器，以及 -借助于电机控制器根据废气和/或烟尘颗粒的浓度控制内燃机的工作点。在本发明的另一方面中，提供了一种用于控制例如汽车的内燃机的计算机程序。 该计算机程序包括用于当该计算机程序运行在控制内燃机的控制系统的计算机上时使得 如权利要求8中所限定的控制系统执行如权利要求10中所限定的方法的步骤的程序代码装置。应当理解的是，权利要求1的气体检测设备、权利要求10的方法、权利要求8的内 燃机以及权利要求13的计算机程序具有如从属权利要求中所限定的相似和/或相同的实 施例。应当理解的是，本发明的优选实施例也可以是从属权利要求与对应独立权利要求 的任意组合。
本发明的这些和其他方面根据以下描述的实施例将是清楚明白的，并且将参照这些实施例进行阐述。在下面的附图中
图1示意性地示出了包含在依照本发明的气体检测设备的第一实施例中的激光传感 器单元；
图2示意性地示出了包含在依照本发明的气体检测设备的第二实施例中的另一激光 传感器单元；
图3示意性地示出了依照本发明的气体检测设备的实施例； 图4示出了由于要检测的气体存在于检测室中而可以由检测器产生的测量数据； 图5示出了依照本发明另一实施例的控制系统； 图6示出了依照本发明的具有内燃机的车辆。
具体实施例方式图1示意性地示出了激光传感器单元100，该激光传感器单元包括具有有源腔10 的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，所述有源腔包括第一反射结构4，例如具有大于例如 99. 5%的反射率的分布式布拉格反射器(DBR);第二反射结构2，其为具有大约99%的反射率 的DBR;以及有源层3，比如嵌入在这两个DBR之间的量子阱层。检测器20为附接到第一反 射结构4和衬底1的光电二极管，所述衬底为半导体衬底或者可以用于该目的的任何其他 衬底。电极40附接到DBR以便经由导电DBR将电流注入有源层。电流用来电泵浦有源层 以便通过第二反射结构2发射第一光7，该第一光为激光。在第二反射结构2与作为光学反 馈结构30的漫射散射表面之间，存在检测体积，要检测的气体50流经该检测体积。第一光 7和散射的第一光8部分地被要检测的气体吸收并且作为第二光重新进入有源腔10，该第 二光借助于自混合干涉影响有源腔10内的光学功率密度。有源腔中的光的一部分通过高 反射的第一反射结构4泄漏并且借助于光电二极管而被检测。因此，光电二极管产生的测 量数据受到要检测的气体对第一光7、8的吸收的影响，并且该测量数据可以用来确定要检 测的气体50的存在性和/或浓度。图2示意性地示出了另一激光传感器单元100，其可以是依照本发明的气体检测 设备的一部分。激光传感器单元100包括垂直扩展(或外部)腔表面发射激光器(VECSEL)。 该VECSEL包括第一反射结构4，例如具有大于例如99. 5%的反射率的分布式布拉格反射 器(DBR);第二反射结构2，其为具有大约70%的反射率的DBR ；以及有源层3，比如嵌入在这 两个DBR之间的量子阱层。来自第二反射结构2的光学反馈不足以像在VCSEL的情况下一 样允许有源腔10产生激光。VECSEL还包括光学反馈结构，该光学反馈结构为例如具有例如 99%的高反射率的另一 DBR。第二反射结构2与光学反馈结构30之间的腔体为VECSEL的 扩展或外部腔体，是检测体积的至少一部分。光学反馈结构30适于将足够的光学反馈提供 给有源腔，以便允许VECSEL产生激光。如上面图1中所讨论的，电极40附接到DBR以便经 由构成第一和第二反射结构2、4的导电DBR将电流注入有源层。第一反射结构4直接附接 到衬底1，并且作为检测器20的光电二极管附接到光学反馈结构30的一侧，使得该光电二 极管处于扩展腔的外部。如结合图1所讨论的，通过检测体积的要检测的气体50造成第一 光7、8的至少一部分的吸收。该吸收一超过限定的阈值，VECSEL的激光产生就不再可能， 因为光学反馈结构提供的光学反馈不再足以允许产生激光。激光产生的中断以及有源腔10 内的光学功率密度的相关变化由光电二极管检测并且产生相应的测量数据。
在图3中，示意性地绘出了依照本发明的气体检测设备200的实施例。如图1或 图2中所示的激光传感器单元100连接到驱动电路110。驱动电路110以具有附加AC电流 分量的限定的DC电流驱动激光传感器单元以便调谐激光传感器单元100的波长，以扫描要 检测的气体的吸收带。激光传感器单元100的检测器产生的测量数据由分析电路120有线 地或无线地接收。分析电路120基于借助于激光传感器单元100提供的测量数据确定要检 测的气体的存在性和/或浓度。此外，在该实施例中，分析电路120适于向驱动电路110提 供反馈以便使提供给激光传感器单元100的DC电流和/或AC电流分量适于例如要检测的 气体的吸收带的波长和线宽。如果激光传感器单元100适于产生关于要检测的具有不同吸 收带的不同气体的测量数据，那么该措施可能是需要的。图4的左侧示出了典型的测量数据，例如如图1中所示的激光传感器单元100的 光电二极管检测的光电流信号的时间导数。测量数据的DC分量与没有光学反馈的VCSEL输 出功率相应。测量数据的高频分量Fsm与有源腔10中产生的激光和重新进入有源腔10中 的后向散射第二光之间的自混合相应。通过注入电流调制调谐VCSEL的发射波长周期性地 借助于由驱动电路110经由电极40提供的AC分量(例如锯齿形AC电流)执行。由于检测 体积中要检测的气体50的吸收带造成的气体吸收的原因，自混合信号的幅度是波动的。吸 收带的线宽处于VCSEL的发射波长的调谐范围内并且激光发射的线宽与要检测的气体的 吸收带的线宽相比是小的。图4的右侧示出了对于激光传感器单元100产生的测量数据的 傅立叶变换之后在频域中对于测量数据的分析。傅立叶变换或者快速傅立叶变换借助于分 析电路120执行。信号的幅度被示为依赖于信号的频率。光路中的要检测的气体50对Fsm 的边带产生贡献。边带Fgas的幅度指示要检测的相应气体50的浓度，并且因而借助于分析 电路120确定。在图5中，示出了一种控制系统，其包括具有结合图2所描述的激光传感器单元 100的气体检测设备200以及有线地或无线地耦合到气体检测设备200的控制装置300，该 控制装置为通风装置。控制系统可以例如安装在具有加热设备的房间中，该加热设备产生 CO作为废气。CO的浓度一超过预定义的阈值，气体检测设备就激活通风装置。在图6中，示出了集成到诸如汽车之类的车辆中的内燃机400。内燃机400包括具 有若干如图1中所绘的激光传感器单元100的气体检测设备200。内燃机400还包括控制 装置300，该控制装置为电机控制器。气体检测设备200确定例如经由排气管410离开车辆 的内燃机400的废气中的CO、C02、NO和NO2的浓度。如果例如所述气体中的一种的浓度或 者所述气体中的两种的关系超过预定义的阈值，那么气体检测设备激活电机控制器。电机 控制器通过改变例如提供给内燃机的燃料和/或氧气的量而改变内燃机的工作点。依照本发明的思想，自混合干涉用来确定气体的存在性和/或浓度。与现有技术 相比，检测器到有源腔的耦合简化了气体检测设备。VCSEL或者VECSEL可以适合于该目的， 因为这些激光器在0. 7Mffl与2Mm之间的波长范围内在商业上可获得，并且工业和环境气体 具有该波长范围内的吸收带，如表1中所示。表1 近红外范围内的气体分子的吸收峰值
权利要求
1.一种气体检测设备(200)，包括至少一个激光传感器单元(100)、驱动电路(110)和 分析电路(120)，-激光传感器单元包括至少一个有源腔(10)、电极(40)、至少一个光学反馈结构 (30)、检测体积和至少一个检测器(20)，有源腔(10)包括夹在第一反射结构(4)与第二反 射结构(2)之间的有源层(3)，第一反射结构(4)具有比第二反射结构(2)更高的反射率，电 极(40)适于将电流注入有源层(3)，检测器(20)耦合到有源腔(10)，检测体积设置在第二 反射结构(2)与光学反馈结构(30)之间，并且检测体积适于包含要检测的气体(50)，-驱动电路(110)电耦合到电极(40)并且驱动电路(110)适于电泵浦有源腔(10)，使 得第一光经由第二反射结构(2)发射到检测体积内并且第一光的至少一部分适于由要检测 的气体(50)的吸收带吸收，-光学反馈结构(30)被设置成散射或反射通过检测体积的第一光(7)，使得它重新进 入有源腔(10)，-重新进入有源腔(10)的散射或反射的第一光(8)为第二光，该第二光根据在检测体 积中要检测的气体(50)对第一光(7，8)的吸收而造成有源腔(10)中的激光功率的变化，-检测器(20)适于产生与有源腔(10)中的激光功率有关的测量数据，-检测器(20)耦合到分析电路(120)并且分析电路(120)适于基于从检测器(20)接 收的测量数据确定要检测的气体(50)的存在性和/或浓度。
2.依照权利要求1的气体检测设备(200)，其中第一光(7，8)由小于要检测的气体 (50)的吸收带的线宽的光谱宽度表征。
3.依照权利要求1或2的气体检测设备(200)，驱动电路(110)进一步适于周期性 地调谐第一光(7，8)的波长，其中第一光(7，8)的波长的调谐范围至少包括要检测的气体 (50)的吸收带的带宽。
4.依照权利要求1或2的气体检测设备(200)，其中光学反馈设备(30)是第三反射结 构，有源腔(10)和该第三反射结构构成垂直扩展腔表面发射激光器(VECSEL)，并且检测体 积为扩展腔的至少一部分。
5.依照权利要求3的气体检测设备(200)，有源腔(10)构成垂直腔表面发射激光器 (VCSEL)，并且所述光学反馈设备(30 )是漫射散射表面。
6.依照权利要求5的气体检测设备(200)，还包括设置在第二反射结构(2)与所述漫 射散射表面之间的光学设备，并且该光学设备被设置成将第一光聚焦到所述漫射散射表面 上。
7.依照权利要求5的气体检测设备(200)，包括至少两个激光传感器单元(100)，第一 和第二激光传感器单元(100)，第一激光传感器单元(100)包括第一垂直腔表面发射激光 器(VCSEL)，其中第一垂直腔表面发射激光器发射的第一光(7，8)的波长的调谐范围至少 包括要检测的第一气体(50)的吸收带的带宽，并且第二激光传感器单元(100)包括第二垂 直腔表面发射激光器(VCSEL)，其中第二垂直腔表面发射激光器发射的第一光(7，8)的波 长的调谐范围至少包括要检测的第二气体(50)的吸收带的带宽。
8.一种控制系统，包括依照权利要求1、2、5或7的气体检测设备(200)，该控制系统还 包括控制装置(300 )，并且该控制装置根据要检测的气体的浓度而被激活。
9.一种车辆(500)，包括依照权利要求8的控制系统以及内燃机(400)，该控制系统适于控制该内燃机(400)。
10.一种检测气体的方法，包括步骤-在激光器的有源腔(10)内产生第一光(7，8)，第一光(7，8)的至少一部分适于由要 检测的气体(50)的吸收带吸收，-发射第一光(7)，穿过适于包含要检测的气体的检测体积，-借助于第二光向有源腔(10)提供光学反馈，该第二光为重新进入有源腔(10)的散 射或反射的第一光(8)，-借助于要检测的气体(50)对第一光的吸收改变有源腔(10)内的激光功率，-将检测器(20)耦合到有源腔(10)，-借助于检测器(20)产生与有源腔(10)内的变化的激光功率有关的测量数据，-将该测量数据提供给分析电路(120)，-借助于分析电路(120)基于从检测器(20)接收的测量数据确定要检测的气体(50) 的存在性和/或浓度。
11.依照权利要求10的方法，该方法包括附加步骤-借助于分析电路(120 )根据内燃机(400 )的废气和/或烟尘颗粒的浓度激活电机控 制器，以及-借助于电机控制器根据废气和/或烟尘颗粒的浓度控制内燃机(400)的工作点。
12.一种用于控制内燃机(400)的计算机程序，该计算机程序包括用于当该计算机程 序运行在控制内燃机(400)的控制系统的计算机上时使得如权利要求8中所限定的控制系 统执行如权利要求10中所限定的方法的步骤的程序代码装置。
全文摘要
本发明涉及一种包括激光传感器单元(100)的气体检测设备(200)。激光传感器单元(100)适于发射激光，该激光适于由要检测的气体(50)至少部分地吸收。激光传感器单元(100)还适于基于激光传感器单元(100)的有源腔(10)内的自混合干涉(SMI)产生测量数据。该测量数据受要检测的气体对激光的吸收的影响，并且提供分析电路(120)以便基于从激光传感器单元(100)接收的测量数据确定要检测的气体(50)的存在性和/或浓度。
文档编号G01N21/39GK102089645SQ200980126719
公开日2011年6月8日 申请日期2009年7月7日 优先权日2008年7月10日
发明者克劳斯 A., 韩 M. 申请人:皇家飞利浦电子股份有限公司