专利名称：一种基于投影莫尔原理的bga共面度测量系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电子封装领域，具体涉及一种电子封装中的封装器件共面度测量 系统。适用于对BGA(Ball Grid Array，球栅阵列封装)和CSP (Chip Size Package，芯片 尺寸封装)等大规模集成电路封装体的共面度进行实时的检测。
背景技术：
集成电路(IC)产业已成为国民经济发展的关键，而IC设计、制造和封装测试是IC 产业发展的三大产业支柱。在实际生产中，由于在线、离线评测手段匮乏，很多产品投入市 场之前未能发现产品中存在的可靠性隐患，甚至只能通过器件的使用过程来检测其加工质 量与可靠性，严重阻碍了微电子工业的快速发展。在各种新型封装材料、结构和工艺不断涌 现的今天，IC封装测试显得尤为重要。因为封装测试可以实时检测器件在封装工艺过程中 的形貌特征，也可以检测每一个封装器件的质量，在大批量生产中迅速发现有缺陷的产品。 为IC产品的一致性、重复性、可靠性和耐久性提供了保障。球栅阵列(Ball-Grid-Array)是当今最流行的封装技术。在BGA封装的过程中， 由材料热膨胀系数(CTE)不匹配等因素而导致的基板翘曲以及BGA焊球自身的不均勻性都 会导致基板上BGA焊球不共面的情况，会诱发电路的短路或断路，导致非安全的电气连接， 影响电气连接性能和产品可靠性，甚至导致器件失效。因此，BGA焊球的共面性检查是至关 重要的。当今，BGA焊球共面性检查的三维测试系统主要是基于激光扫描技术或者是结构 光投影方法。激光束的物理扫描过程会导致很低的测量速度。而且传统的检测方式是通过 机械运动移动参考栅的位置实现相移，移动速度慢，运动带来震动、噪声和重复相移精度不 好，不能满足高精度实时测量的要求。同时，将结构光投影方法用在共面度检测上也有两个 方面的难点一、待测芯片的尺寸很小，要求测量系统有很高的分辨率。二、芯片表面有镜面 反射，且芯片基底一般是深色材料，光投影到两种表面上对比度较差。随着测量面积加大， 待测器件在深度方向测量范围加大以及对测量精度和效率的要求不断提高，急需一种稳定 可靠的快速测量方法。
发明内容本实用新型目的在于提出了一种基于投影莫尔的BGA共面度测量系统，该系统将 投影莫尔与LCD相移技术相结合，采用一个非相干冷光源和一个LCD虚拟光栅垂直投影正 弦条纹图案到CCD摄像机视场下的待测物表面或参考平面，采用冷光源垂直投影到参考平 面以及双侧CCD倾斜成像机构，解决了单侧CCD摄像机所带来的部分阴影区图案抓取不到 的问题，也可以消除镜面反射的影响，保证整个光场投影强度的均勻性，并且提供更多的莫 尔条纹信息，提高了测量精度。为实现本实用新型的目的所采用的技术方案为一种基于投影莫尔原理的BGA共面度测量系统，包括冷光源，准直透镜，CXD摄像机，LCD面板，投影透镜，光学平台，高精度移动台和计算机，其中，所述准直透镜、LCD面板、 投影透镜以及高精度移动台沿轴向依次被夹持固定在光学平台上，所述LCD面板与所述计 算机相连，该LCD面板上显示通过所述计算机产生的条纹图案，所述冷光源发出的光经所 述准直透镜后照射到所述LCD面板上，将显示在所述LCD面板上的条纹图案投影到被装载 在高精度移动台上的参考平面或者待测物表面上，所述CCD摄像机为两个，对称设置于LCD 面板两侧，用于捕捉投影在高精度移动台上的参考平面或待测物表面上的条纹图案强度。作为本实用新型的进一步改进，所述的条纹图案为可调节的正弦条纹图案。本实用新型将投影莫尔与LCD相移技术相结合。采用一个非相干冷光源和一个 IXD虚拟光栅投影正弦条纹图案到CXD摄像机视场下的待测物表面，IXD面板通过液晶显示 控制接口与电脑相连，生成正弦条纹图案和相位变化，以实现可调节的光栅图案。传统的正 弦条纹图案是有两束激光干涉产生的，由于相干光产生的斑点噪声会影响正弦条纹图案的 强度分布，降低整个系统的测量精度，且形成的光栅图案不可调节。LCD面板独特的光电特 性使它非常适合作为可控的正弦透射光栅。通过设置LCD面板的图案区域、正弦条纹的周 期和相移的增量等参数，很容易得到所需要的正弦条纹图案。本实用新型采用与已有测量系统不同的投影与成像机构，冷光源通过IXD面板垂 直投影到待测器件表面，以保证整个光场投影强度的均勻性。同时，采用左右双侧CCD成像 结构，这样可以消除单侧CCD所带来的部分阴影区图案抓取不到的问题，也可以消除镜面 反射的影响，并且提供更多的莫尔条纹信息，提高了测量精度。本实用新型与已有的测量系统相比较，具有以下的优点其一，本实用新型采用冷光源垂直投影到参考平面的方法，使得条纹的对比度较 好，并且不会因为温度影响LCD面板的光电特性。其二，本实用新型采用双侧CCD倾斜成像机构，可以有效消除单侧CCD成像无法解 决的芯片表面镜面反射和对比度差形成的物面阴影现象，并且扩大了物体的可测范围。其三，本实用新型采用基于IXD相移的测试技术。IXD面板通过液晶显示控制接口 与电脑相连，生成正弦条纹图案和相位变化，以实现可调节的光栅图案。其四，本实用新型采用的是全场测量技术，测量面积，测量精度和测量速度都得到 很大提高，能够实现当今封装测试中所需要的大面积、高精度实时快速测量的要求。
图1是本实用新型中投影与图像采集系统的光学几何原理图。图2是整个三维共面度测量系统的布局与装置图。其中1是冷光源，2和4是左右 两个CXD摄像机，3是准直透镜，5是IXD液晶面板，6是投影透镜，7是光学平台，8是高精度 移动台，9是计算机。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，本实施例中的待测物为 BGA焊球，但也可以为其他封装形式的基板平整度等。本实用新型的投影莫尔共面度三维测量系统包括冷光源1，左右两个CXD摄像机2 和4，准直透镜3，IXD液晶面板5，投影透镜6，光学平台7，高精度移动台8和计算机9。[0020] 准直透镜3、IXD面板5、投影透镜6以及高精度移动台8都被依次线性的夹持固 定在光学平台7上。 冷光源1通过一个准直透镜3产生一束平行光照射到IXD面板5上，IXD面板5上 产生正弦条纹图案，通过一个投影透镜6将正弦条纹图案聚焦投影到参考平面上。将LCD 面板5上由计算机9产生的正弦条纹图案实施数字相移，参考平面或者待测物表面装载在 一个高精度移动台8上，可以精确的调节其位置到CCD摄像机2和4的视场下。投影到参 考平面或者待测物表面上的正弦条纹图案的强度被CCD摄像机2和4抓取到，可以获得参 考平面或者待测物表面上的相位值Φ(χ，Υ)。然后计算出参考平面和待测物表面上每个坐 标值对应的相位差△ Φ (x, y)，最后就能计算出视场下待测物表面的高度值h(x，y)。 由于IXD面板5的透明度容易受到高温的影响，所以采用功率范围为0-150w(也 可以采用其他功率)的冷光源1。冷光源通过LCD面板5垂直投影到待测物(BGA焊球)表本实用新型中采用的准直透镜3的焦距为50mm(也可以采用其他焦距值)，安装在 冷光源1后以产生平行光照射到LCD面板5上。参考平面或者待测物表面装载在高精度移 动台8上，以便精确地移动所测表面到CXD摄像机2和4的视场下。由计算机9控制IXD面板5产生条纹图案以及CXD摄像机2和4的图像抓取。IXD 面板5与计算机9相连，直接生成正弦条纹图案和相位变化，以实现可调节的光栅图案。采 用四步相移技术，将LCD面板5上由计算机9产生的正弦条纹图案实施四步数字相移，相 位分别为0，π/2，π，3π/2。通过以下公式计算出参考平面或者待测物表面上的相位值 Φ (χ， y) °細{(f，个，其中，仏，又)，““)，““)，、“)分别表示相位分别为0，π/2, Ji , 3 Ji/2 时正弦条纹的强度图案。本实施例中投影到BGA焊球表面的正弦条纹随着焊球表面高度的变化而产生变 形。通过检测变形的正弦条纹图案，与相移分析技术相结合，就能够得到相当大BGA焊球表 面的三维测量值。通过计算众多的焊球高度值就能可靠地得到BGA焊球表面的共面度。本实施例中整个测量系统由计算机9控制，包括移动台8的移动，生成IXD面板 5的图案与实现相移以及图像的采集与后处理等。图像的采集与后处理采用CCD摄像机2 和4接收的条纹图案经过图像采集卡进行图案的数字化变换，变换后的图像信号由计算机 9接收和处理。由图像处理软件进行相移运算、去包裹运算等，最后在计算机9上得到所测 BGA焊球表面的形貌信息。
权利要求1.一种基于投影莫尔原理的BGA共面度测量系统，其特征在于，包括冷光源(1)，准直 透镜(3)，CCD摄像机(2,4), LCD面板(5)，投影透镜(6)，光学平台(7)，高精度移动台(8) 和计算机(9)，其中，所述准直透镜C3)、LCD面板(5)、投影透镜(6)以及高精度移动台(8)沿轴向依次被夹 持固定在光学平台(7)上，所述IXD面板(5)与所述计算机(9)相连，该IXD面板(5)上显 示通过所述计算机(9)产生的条纹图案，所述冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后 照射到所述LCD面板( 上，将显示在所述LCD面板( 上的条纹图案投影到被装载在高 精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上，所述CCD摄像机(2，4)为两个，对称设置 于LCD面板( 两侧，用于捕捉投影在高精度移动台(8)上的参考平面或待测物表面上的 条纹图案强度。
2.根据权利要求1所述的共面度测量系统，其特征在于，所述的条纹图案为可调节的 正弦条纹图案。
专利摘要本实用新型公开了一种基于投影莫尔原理的BGA共面度测量系统，包括冷光源(1)，准直透镜(3)，CCD摄像机(2，4)，LCD面板(5)，投影透镜(6)，光学平台(7)，高精度移动台(8)和计算机(9)。LCD面板(5)上显示通过所述计算机(9)产生的条纹图案，冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后照射到所述LCD面板(5)上，将显示在所述LCD面板(5)上的条纹图案投影到被装载在高精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上，所述CCD摄像机为两个，对称设置于LCD面板(5)两侧。本实用新型的测量面积和测量精度都得到很大提高，能够满足当今封装测试中所需要的大面积、高精度实时快速测量的要求。
文档编号G01B11/00GK201844818SQ20102061272
公开日2011年5月25日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者刘胜, 宋劭, 张伟, 张鸿海, 朱福龙, 王志勇 申请人:华中科技大学