专利名称：一种高固有频率微机械加速度传感器的制作方法
技术领域：
本发明属于微电子机械系统领域，具体涉及一种高固有频率微机械加速度传感器。
背景技术：
硅微机械压阻式加速度传感器的加速度大到一定程度后梁上的应力可能使梁断裂，应根据硅的断裂强度来碗定传感器的测量量程。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种高固有频率微机械加速度传感器，具有高固有频率。为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为:一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁2，敏感梁2位于主梁4正上方，主梁4通过过渡区6与敏感梁2实现连接，敏感梁2对称配置在质量块5的两端，敏感电阻I安置在敏感梁2与锚区3的相接处，下盖板7与质量块5连接。本发明具有高固有频率。
附图为本发明的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作详细描述。一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁2，敏感梁2位于主梁4正上方，主梁4通过过渡区6与敏感梁2实现连接，敏感梁2对称配置在质量块5的两端，敏感电阻I安置在敏感梁2与锚区3的相接处，下盖板7与质量块5连接。本发明具有高固有频率。
权利要求
1.一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁(2)，其特征在于:敏感梁(2)位于主梁(4)正上方，主梁(4)通过过渡区(6)与敏感梁(2)实现连接，敏感梁(2)对称配置在质量块(5)的两端，敏感电阻⑴安置在敏感梁(2)与锚区(3)的相接处，下盖板(7)与质量块(5)连接。
全文摘要
一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁，敏感梁位于主梁正上方，主梁通过过渡区与敏感梁实现连接，敏感梁对称配置在质量块的两端，敏感电阻安置在敏感梁与锚区的相接处，下盖板与质量块连接，本发明具有高固有频率。
文档编号G01P15/02GK103163326SQ20111042452
公开日2013年6月19日 申请日期2011年12月15日 优先权日2011年12月15日
发明者徐明龙, 刘江辽 申请人:西安威正电子科技有限公司