技术编号：6026005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统领域，具体涉及一种高固有频率微机械加速度传感器。背景技术硅微机械压阻式加速度传感器的加速度大到一定程度后梁上的应力可能使梁断裂，应根据硅的断裂强度来碗定传感器的测量量程。发明内容为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种高固有频率微机械加速度传感器，具有高固有频率。为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为一种高固有频率微机械加速度传感器，包括敏感梁2，敏感梁2位于主梁4正上方，主梁4通过过渡区6与敏感梁2实现连接，敏感梁2...
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