具有多种波域检索光源的晶粒检视机台的制作方法

文档序号:5942266阅读:161来源:国知局
专利名称:具有多种波域检索光源的晶粒检视机台的制作方法
技术领域
本发明涉及一种晶粒检视机台,特别是涉及ー种分检发光二极管晶粒(LED CHIP)用的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台。
背景技术
晶粒检视机台是用于分检贴覆在胶膜100上并分割成多个发光二极管晶粒200的晶圆300的器具,其作用在于预检出异常的发光二极管晶粒200,避免再对这些质量不合乎预设规格的发光二极管晶粒200进行后续エ艺,而可以提高整体产能、良率,进ー步降低生产成本。

參阅图1,现有的晶粒检视机台包含一个承置平台11,和一个检索光源装置12,该承置平台11用于承载贴覆在胶膜100上并切割成多个发光二极管晶粒200的晶圆300,该检索光源装置12设置于该承置平台11上方,并在供电时发出照射至承置平台11的红光;当贴覆在该胶膜100上并切割成多个的发光二极管晶粒200受光时,会反射光而形成预定的影像供视觉辨识,借此影像分别筛检出异常及符合品检规格的发光二极管晶粒200。现有的晶粒检视机台确实可以发出单一波域范围的光(红光)而以视觉辨识出异常及符合品检规格的发光二极管晶粒200,但由于现有的晶粒检视机台的检索光源装置12只能发出红光进行检视,因此在分检现在越趋多样产品种类的发光二极管晶粒200时并无法完全适用-例如以现有的发出红光的晶粒检视机台分检晶背镀金的发光二极管晶粒200时,以视觉辨检影像所筛检的晶粒不良率大幅增高至极不合理的程度,经过探究后发觉,并非是发光二极管晶粒200不符合品检规格,而是因为进行分检时所使用的红光并无法穿透金,而导致视觉辨析模糊,进而出现错误的分检結果。因此,现有的晶粒检视机台需要针对越趋多样化的发光二极管晶粒200产品种类进行改迸,以针对不同的产品提高辨识率,或是提升机台可用于分检各多祥不同产品别的使用率。

发明内容
本发明的目的在于,克服现有的晶粒检视机台存在的缺陷,而提供ー种可用于分检多样不同产品种类的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台。本发明的目的与所要解决的技术问题是通过以下的技术方案实现本发明具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,包含一个承置平台,及一个检索光源装置。该承置平台用于承载贴覆在胶膜上并分割成多个发光二极管晶粒的晶圆。该检索光源装置位于该承置平台上方,具有多个光源模块,每ー个光源模块包括多个发出同一波域范围的光的发光二极管灯,且姆ー个光源模块可被选择地分别供电而令所述发光二极管灯发光照射该承置平台。本发明的目的及解决技术问题还采用以下技术手段进ー步实现。
较佳的,所述光源模块的发光二极管灯在供电时能分别发出红光、蓝光或白光。较佳的,所述光源模块相对于该承置平台的一中心排列设置成环形。较佳的,每ー光源模块的多个发光二极管灯相对于该承置平台的中心成径向排列设置。较佳的,每ー光源模块多个发光二极管灯相对于该承置平台的一中心成环形排列设置。本发明的有益效果在于提供ー种可以针对不同产品种类、待检验的发光二晶管晶粒选用适当波长的光,例如蓝光、红光或白光进行视觉辨检的具有多种波域检索光源的 晶粒检视机台。


图I是一立体不意图,说明现有的晶粒检视机台;图2是ー立体示意图,说明本发明具有多种波域检索光源的晶粒检视机台的ー个较佳实施例;图3是ー仰视示意图,说明该较佳实施例中的检索光源装置,及其多个光源模块的发光二极管灯的设置状态;图4是ー类似图3的仰视图,说明该较佳实施例中的检索光源装置,及其多个光源模块的发光二极管灯的另ー种设置状态。具管实施方式下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。參阅图2,本发明具有多种波域检索光源的晶粒检视机台的一个较佳实施例包含一个承置平台2,和一个用于分检发光二极管晶粒200的检索光源装置3。该承置平台2用于承载贴覆在胶膜100上并分割成多个发光二极管晶粒200的晶圆300,且该承置平台2是设计为可移动式取出而方便于放置、拿取该晶圆300。配合參阅图3,该检索光源装置3设置于该承置平台2上方,具有多个光源模块31,每ー光源模块31包括多个发出同一波域范围的光,例如蓝光、红光或是白光的发光二极管灯311,姆ー个光源模块31可被选择地分别供电而令姆ー个光源模块31的多个发光二极管灯311发光而照射该承置平台2 ;在本例中,所述光源模块31相对于该承置平台2的ー个中心排列设置成环形,且每ー个光源模块31具有的多个发光二极管灯311相对于该承置平台2的中心成径向排列设置,而可对那些待辨检的发光二极管晶粒200提供均匀、全方位角度的检视光以进行分检。本发明在分检发光二极管晶粒时,可视不同产品种类的发光二极管晶粒200,分别以不同的光源模块31选择发出预定波长范围的光进行辨检,而可以减少出现错误的分检结果的机率。另外,因为本发明姆一光源模块31的多个发光二极管灯311可被选择的供电而个别发出红光、蓝光或白光,因此,在机台的使用上并不受限于只能辨检特定产品种类的发光二极管晶粒200,除了可以提高机台的使用率而提升产能之外,也増加工程人员使用上的便利。參阅图4,另外,本发明具有多种波域检索光源的晶粒检视机台的每一光源模块31’以及其多个发光二极管灯311’也可以是对该承置平台2的中心成环形排列,借此提供均匀、全方位角度的检视光进行分检。综上所述,本发明具有多种波域检索光源的晶粒检视机台分别以不同的光源模块发出蓝光、红光或白光进行辨检,而可以减少出现错误的分检结果的机率,并在使用上不受限于只能辨检特定产品种类的发光二极管晶粒的限制,而在提高机台的使用率、提升产能之外,也可以增加工程人员使用上的便利,所以确实能达成本发明的目的。以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述掲示的方法及技术内容 作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.ー种具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,包含一个承置平台,以及ー个检索光源装置,该承置平台用于承载一片贴覆在胶膜上并分割成多个发光二极管晶粒的晶圆,而该检索光源,装置位于该承置平台上方;其特征在于 该检索光源装置具有多个光源模块,每ー个光源模块包括多个发出同一波域范围的光的发光二极管灯,且每ー个光源模块可被选择地分别供电而令所述发光二极管灯发光照射于该承置平台。
2.根据权利要求I所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,其特征在于所述光源模块的发光二极管灯在供电时能分别发出红光、蓝光或白光。
3.根据权利要求2所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,其特征在于所述光源模块相对于该承置平台的ー个中心排列设置成环形。
4.根据权利要求3所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,其特征在于每ー个光源模块的多个发光二极管灯相对于该承置平台的中心成径向排列设置。
5.根据权利要求I所述的具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,其特征在于每ー个光源模块的多个发光二极管灯相对于该承置平台的ー个中心成环形排列。
全文摘要
本发明有关一种具有多种波域检索光源的晶粒检视机台,包含承置平台和检索光源装置,承置平台用于承载贴覆在胶膜上并分割成多个发光二极管晶粒的晶圆,检索光源装置位于该承置平台上方并具有多个光源模块,每一个光源模块包括多个发出同一波域范围的光的发光二极管灯,且每一个光源模块可被选择地供电而令上述发光二极管灯照射该承置平台,如此可在分检发光二极管晶粒时,针对不同厚度或是结构的发光二极管晶粒设定使用最佳的波域范围,例如蓝光、红光或白光进行检视,而可使晶粒检视机台不受产品种类的限制而提高产能。
文档编号G01M11/02GK102680208SQ20121003491
公开日2012年9月19日 申请日期2012年2月16日 优先权日2011年3月15日
发明者林立伦, 萧志伟, 黄慧儒 申请人:隆达电子股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1