专利名称：阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及应用电子技术领域，尤其涉及阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置。
技术背景由于平板显示器的生产工艺非常复杂，因此生产出的平板显示器不可避免的会出现各种缺陷，例如，液晶面板上的线路断开，或者线路连接有误等；目前，通常使用阵列测试设备(Array Tester)对液晶面板进行检测，该阵列测试设备的结构如图I所示，其中包括电耦合摄像机((XD Camera) 11、光学系统12以及检测底座(Mount) 13 ;所述CXDCamerall中的像素与被检测产品中的像素——对应；所述Mountl3上还安装有调节器，所述调节器表面有一层液晶分子，正常情况下该液晶分子会将被检测产品发出的光线作为光信号反射给所述CXD CameralI，使所述CXD Camerall中的像素能够接收被检测产品中与CCD Camerall相对应的像素的光信号；当被检测产品存在缺陷时，调节器中的液晶分子会旋转一个角度，而这个角度将导致CCD Camerall中的像素无法接收被检测产品中与CCDCamerall相对应的像素的光信号。而阵列测试设备上主要部件为所述光学系统12，而所述光学系统12是否能够毫无偏差的接收到来自所述Mountl3的光信号，主要取决于所述光学系统12与所述Mountl3之间的光路是否会产生偏差。在实际使用中，由于在动力或其他外力的作用下所述光学系统12和所述Mount 13之间将会产生位移，直接导致所述光学系统12与所述Mount 13之间的光路产生偏差；当所述偏差轻微时，会对液晶面板的检测结果报出不准确的不良检测结果；当所述偏差严重时，将会报出大量的不准确的不良检测结果。现有技术中为了避免这种现象，需要经常对所述光学系统12和所述Mountl3之间的位置进行校正以保证光学系统光路的准确性。校正的方法是工作人员通过对所述Mount 13通过敲击的方式进行调整。但本发明人发现，在敲击的过程中还是很容易出现光路偏差或转角，且敲击产生的震动容易损坏所述光学系统12内的部件，因此在调整过程中需要轻、准、稳，这样就使得调整的难度增大、准确性降低。
实用新型内容本实用新型涉及应用电子技术领域，尤其涉及一种阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置，用于解决如何自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间位移的问题。—种阵列测试设备的校验系统，所述校验系统包括阵列测试设备，所述阵列测试设备包括电耦合摄像机，光学系统以及检测底座；所述校验系统还包括安装在所述光学系统上或所述检测底座上的位移检测装置；安装在所述检测底座上的移动装置；[0009]所述位移检测装置，用于检测所述光学系统与所述检测底座之间的位移；所述移动装置，用于在所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移时，根据所述位移带动所述检测底座进行移动。一种位移检测装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的光学系统上或所述检测底座上；所述位移检测装置包括初级线圈、两个相同的次级线圈以及铁芯；所述铁芯放置在所述初级线圈和所述两个相同的次级线圈之间，还包括计算单元；所述次级线圈与所述计算单元相连，将所述铁芯发生移动时产生的直流电压传输给所述计算单元；所述计算单元根据接收到的所述直流电压计算出位移量并输出。一种移动装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的检测底座上；所 述移动装置包括马达、齿轮和齿条；所述马达与所述齿轮相连，所述齿轮位于所述齿条上，所述齿条嵌入在所述检测底座上，还包括计算单元；所述计算单元与所述马达相连；所述计算单元根据接收到的位移信号计算出位移量，并将该位移量传输给所述马达；所述马达根据接收到的位移量带动所述齿轮在所述齿条上移动。可见，采用本实用新型实施例提供的校验系统，当检测出光学系统与检测底座之间发生了位移后，可精确计算出光学系统与检测底座之间偏移的位移量，该位移量包括位移距离与位移方向；由于，移动装置安装在检测底座上，当移动装置接收到所述位移量后，带动检测底座按照位移量中所包含的位移距离与位移方向进行移动；可见，本实用新型实施例提供的系统能够实现自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间的位移。
图I为现有技术中种阵列测试设备的结构示意图；图2为本实用新型实施例一提供的种阵列测试设备的检验系统结构示意图；图3为本实用新型实施例一提供的位移检测装置与运算装置的连接结构示意图；图4为本实用新型实施例一提供的运算装置与移动装置的连接结构示意图；图5为本实用新型实施例一提供的位移检测装置安装位置的俯视结构示意图；图6为现有技术中的位移检测装置结构示意图；图7为本实用新型实施例二提供的位移检测装置电压输出曲线图；图8为本实用新型实施例二提供的位移传感器与移动装置的连接结构示意图；图9为本实用新型实施例三提供的红外测距装置与移动装置的连接结构示意图；图10为本实用新型实施例四提供的位移检测装置结构示意图；图11为本实用新型实施例五提供的移动装置结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置，采用本实用新型实施例提供的校验系统，当检测出光学系统与检测底座之间发生了位移后，可精确计算出光学系统与检测底座之间偏移的位移量，该位移量包括位移距离与位移方向；由于，移动装置安装在检测底座上，当移动装置接收到所述位移量后，带动检测底座按照位移量中所包含的位移距离与位移方向进行移动；可见，本实用新型实施例提供的系统能够实现自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间的位移。以下以具体实施例进行介绍。实施例一参见图2，本实用新型实施例一提供一种阵列测试设备的校验系统，该校验系统用于在检测出光学系统12与检测底座(Mount) 13之间发生位移时，调整检测底座(Mount) 13的位置，以达到纠正光路偏差的目的。该阵列测试设备包括电耦合摄像机((XD Camera) 11、光学系统12以及检测底座(Mount) 13 ;所述电耦合摄像机11连接在所述光学系统12的上端，所述光学系统12的底端安装在所述检测底座13的凹槽内；所述校验系统还包括位移检测装置14，所述位移检测装置14安装在所述光学系统12上，如图2所示；或安装在所述检测底座13上；在检测到所述光学系统12与所述检测底座13之间产生位移时，如图3所示，所述位移检测装置14通过自身的信号输出端口 31向与其相连的运算装置32的接入端口 33发送位移信号；如图4所示，所述运算装置32的输出端口 34与移动装置41的位移接入端口 44相连；在接收到所述位移信号后通过所述计算单元101计算出所述光学系统12(如图2所示)与所述检测底座13 (如图2所示)之间的位移量，并将所述位移量发送给所述移动装置41的位移接入端口 44 ;所述位移量包括位移方向和位移距离；如图2和图4所示，所述移动装置41安装在所述检测底座13上，根据接收到的所述位移量通过自身马达43带动自身齿轮16在齿条15上进行移动，以此带动所述检测底座按照所述位移量所指示的位移方向和位移距离进行移动，所述齿条15嵌入在所述检测底座13上；具体的，为了保证校验系统对所述检测底座13与所述光学系统12之间位移的检测结果的准确性，所述校验系统可包括三个或三个以上所述位移检测装置14，且分散设置在所述光学系统12外罩的四周或分散设置在所述检测底座13的凹槽的槽壁上；较佳的，本实用新型实施例一提供的方案是将三个位移检测装置14安装在光学系统外罩的四周，且每两个位移检测装置14之间的距离相等，如图5所示；所述位移检测装置14可安装在所述光学系统外罩的底端的任意位置，较佳的，为了保证检测结果的准确性，如图2所示，当所述位移检测装置14安装在所述光学系统外罩的底端时，安装位置不高于所述凹槽的深度；较佳的，所述校验系统包括两个安装在所述检测底座上的移动装置；如图2所示，所述齿轮16和所述齿条15属于其中一个移动装置；所述齿轮18和所述齿条17属于另一个移动装置；所述移动装置的内部结构以及与所述运算装置32的连接方式可参见图4 ；当所述校验系统包括两个移动装置时，所述运算装置32的接入端口 33在接收到所述位移信号后，将该位移信号传递给计算单元101，所述计算单元101计算出所述光学系统的横向位移量和纵向位移量；并通过所述输出端口 34将所述横向位移量发送给所述移动装置；将所述纵向位移量发送给另一个移动装置；所述横向位移量包括横向位移距离以及横向位移方向；所述纵向位移量包括纵向位移距离以及纵向位移方向；[0040]所述移动装置按照接收到的所述横向位移量带动与其相对应的齿轮18在所述齿条17上的相应方向进行移动，这样可使得所述检测底座在相应的方向上进行移动；另一个移动装置按照接收到的所述纵向位移量带动与其相对应的齿轮16在所述齿条15上的相应方向进行移动，这样可使得所述检测底座在对应方向上进行移动。在本实用新型实施例提供的方法中，可预先设置移动装置接收横向位移量，另一移动装置接收纵向位移量；所有的位移检测装置同时连接一个运算装置，运算装置按照预先设置的先后顺序，接收位移检测装置的位移信号；所述运算装置在计算出横向位移量和纵向位移量后，分别发送给对应的移动装置。本实用新型实施例一中还可将所述位移检 测装置与所述移动装置相连，具体连接方式有以下两种第一种，所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移后，计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并将所述位移量发送给所述移动装置；所述移动装置根据接收到的所述位移量带动所述检测底座进行移动；第二种，所述位移检测装置在检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移后，向所述移动装置发送位移信号；所述移动装置根据接收到的所述位移信号计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并根据所述位移量带动所述检测底座进行移动。实施例二 本实用新型实施例二提供一种阵列测试设备的位移传感器系统，该位移传感器系统用于在检测出光学系统12与检测底座(Mount) 13之间产生位移时，调整检测底座(Mount) 13的位置，以达到纠正光路偏差的目的。该位移传感器系统包括如图2所示，电耦合摄像机((XD Camera) 11、光学系统12以及检测底座(Mount) 13 ;所述电耦合摄像机11连接在所述光学系统12的上端，所述光学系统12的底端安装在所述检测底座13的凹槽内；所述位移传感器系统还包括位移传感器，图6为所述位移传感器的结构图，所述位移传感器包括初级线圈61、两个相同的次级线圈63和次级线圈64、铁芯62以及电压输出端口 65 ;所述位移传感器的工作原理为每个次级线圈产生的感应电压的幅度相等，由于其中一个次级线圈是按反向串联绕制的，因此，两个次级线圈所产生的两个电压的相位相反；当铁芯62位于中心位置时，两个次级线圈产生的输出电压为0V，当铁芯产生移动时，其中一个次级线圈上的电压增加，另一个次级线圈上的电压减少，可在输出导线上形成一个稳定增长的交流电压，这个交流电压经整流或解调后产生一个直流输出电压，其幅度随铁芯离零位的距离增加而增加，而极性(正或负)表示铁芯62行进的方向如图7所示。所述位移传感器的具体安装方法包括以下两种第一种，当所述位移传感器安装在所述检测底座13的凹槽内时，所述位移传感器中的铁芯61与所述光学系统12的外罩相连；当所述光学系统12与所述检测底座13之间产生位移时，即可带动所述铁芯61移动；第二种，当所述位移传感器安装在所述光学系统12的外罩上时，所述位移传感器中的铁芯61与所述检测底座13相连；当所述光学系统12与所述检测底座13之间产生位移时，即可带动所述铁芯61移动；较佳的，为了保证检测结果的准确性，当选择第一种安装方法时，所述位移传感器安装在所述检测底座13的凹槽的槽壁上；当选择第二种安装方法时，所述位移传感器安装在所述光学系统12的外罩上，且安装位置不高于所述检测底座13的凹槽的深度；当所述位移传感器检测到所述光学系统12与所述检测底座13之间产生位移时，如图6和图7所示，所述铁芯61以相同的方向一同移动，因此，所述位移传感器通过自身的电压输出端口 65向与其相连的运算装置32的接入端口 33输出带有极性的直流输出电压，如图8所示。如图4所示，所述运算装置32的输出端口 34与移动装置41的位移接入端口 44相连；在接收到所述直流输出电压后通过所述计算单元101计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并将所述位移量发送给所述移动装置41的位移接入端口 44 ;所述位移量包括位移方向和位移距离；所述移动装置41安装在所述检测底座13上，根据接收到的所述位移量，通过自身马达43带动自身齿轮16在齿条15上按照所述位移量包括的位移方向和位移距离进行移动，以此带动所述检测底座进行同方向上的移动，所述齿条15嵌入在所述检测底座13上；具体的，为了保证位移传感器系统的对位移的检测结果的准确性，所述位移传感器系统可包括三个或三个以上所述位移传感器；较佳的，本实用新型实施例二提供的方案是将三个位移检测装置14安装在管学系统外罩的四周，且每两个位移检测装置14之间的距离相等，可参见图5。较佳的，为了保证移动方向的准确性，所述位移传感器系统包括两个移动装置；如图2所示,所述齿轮16和所述齿条15属于其中一个移动装置；所述齿轮18和所述齿条17属于另一个移动装置；另一个移动装置的内部结构以及与所述运算装置32的连接方式可参见图4 ；所述运算装置32的接入端口 33在接收到所述直流输出电压后，将该直流输出电压传递给计算单元101，所述计算单元101根据所有位移传感器输出的直流输出电压的电压值以及电压相位，计算出所述光学系统的横向位移量和纵向位移量；并通过所述输出端口 34将所述横向位移量发送给其中一个移动装置；将所述纵向位移量发送给另一个移动装置；所述横向位移量包括横向位移距离以及横向位移方向；所述纵向位移量包括纵向位移距离以及纵向位移方向；其中一个移动装置按照接收到的所述横向位移量中的横向位移距离以及横向位移方向，带动与其相对应的齿轮18在所述齿条17上的相应方向以及相应距离的进行移动，这样可使得所述检测底座在相应的方向上进行移动；另一个移动装置按照接收到的所述纵向位移量中的纵向位移距离以及纵向位移方向，带动与其相对应的齿轮15在所述齿条16上的相应方向和相应的距离进行移动，这样可使得所述检测底座在对应方向上进行移动。在本实用新型实施例提供的方法中，可预先设置其中一个移动装置接收横向位移量，另一个移动装置接收纵向位移量；所有的位移传感器同时连接一个运算装置，运算装置按照预先设置的先后顺序，接收位移传感器的直流输出电压；所述运算装置在计算出横向位移量和纵向位移量后，分别发送给对应的移动装置；可见，本实施例中位移检测装置输出的直流电压，即为实施例一中的位移信号。实施例三如图9所示，实施例一中的位移检测装置14还可以是红外测距装置；预先将光学系统距离检测底座13凹槽槽壁的准确距离存入所述红外测距装置，当所述红外测距装置测得光学系统与检测底座(Mount)的凹槽槽壁的距离发生改变时，通过自身的信号输出接口 91向所述运算装置32发送已测得的数据，所述运算装置32根据接收到的数据计算出位移量，所述位移量包括mountl3的位移距离和位移方向，后续操作可参见实施例一；本实施例中位移检测装置输出的数据，即为实施例一中的位移信号。较佳的，为了保证检测的准确性，所述红外测距装置可安装在所述光学系统的底端，且安装高度不高于所述检测底座的凹槽的深度；所述红外测距装置还可安装在所述检测底座的凹槽的槽壁上；所述红外测距装置的个数为3个或3个以上，且平均分布，可参见图5。实施例四如图10所示，本实用新型实施例提供一种位移检测装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的光学系统上或所述检测底座上；所述位移检测装置包括初级线圈61、两个相同的次级线圈63和次级线圈64、铁芯62 ;所述位移检测装置还包括计算单元101 ；所述两个相同的次级线圈63的电压输出端与所述计算单元101相连；所述次级线圈63将所述铁芯发生移动时产生的直流电压传输给所述计算单元101 ；所述计算单元101根据接收到的所述直流电压计算出位移量，并通过输出端口 34输出给移动装置。实施例五如图11所示，本实用新型实施例提供一种移动装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的检测底座上；所述移动装置包括马达43、齿轮16和齿条15，所述马达与所述齿轮相连，所述齿轮位于所述齿条上，所述齿条嵌入在所述检测底座上，所述移动装置还包括计算单元101 ；所述计算单元101与所述马达43相连，所述计算单元101根据接收到的位移信号计算出位移量，并将该位移量传输给所述马达；所述马达43根据接收到的位移量带动所述齿轮16在所述齿条15上进行移动。具体的，上述所有实施例中所述校验系统可包括至少两个安装在所述检测底座上任意位置的移动装置；位于所述检测底座上的移动装置带动所述检测底座在横向方向及纵向方向上移动。综上所述，有￡fL效果采用本实用新型实施例提供的校验系统，当检测出光学系统与检测底座之间发生了位移后，可精确计算出光学系统与检测底座之间偏移的位移量，该位移量包括位移距离与位移方向；由于，移动装置安装在检测底座上，当移动装置接收到所述位移量后，带动检测底座按照位移量中所包含的位移距离与位移方向进行移动；可见，本实用新型实施例提供的系统能够实现自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间的位移的效果。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种阵列测试设备的校验系统，所述校验系统包括阵列测试设备，所述阵列测试设备包括电耦合摄像机，光学系统以及检测底座；其特征在于，所述校验系统还包括 安装在所述光学系统上或所述检测底座上的位移检测装置；安装在所述检测底座上的移动装置； 所述位移检测装置，用于检测所述光学系统与所述检测底座之间的位移；所述移动装置，用于在所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移时，根据所述位移带动所述检测底座进行移动。
2.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述校验系统还包括运算装置； 所述移动装置通过所述运算装置与所述位移检测装置相连； 当所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移时，向所述运算装置发送位移信号； 所述运算装置在接收到所述位移信号后计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并将所述位移量发送给所述移动装置； 所述移动装置根据接收到的所述位移量带动所述检测底座进行移动。
3.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述位移检测装置与所述移动装置相连； 所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移后，计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并将所述位移量发送给所述移动装置； 所述移动装置根据接收到的所述位移量带动所述检测底座进行移动。
4.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述位移检测装置与所述移动装置相连； 所述位移检测装置在检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移后，向所述移动装置发送位移信号； 所述移动装置根据接收到的所述位移信号计算出所述光学系统与所述检测底座之间的位移量，并根据所述位移量带动所述检测底座进行移动。
5.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述校验系统包括三个或三个以上所述位移检测装置，且分散设置在所述光学系统外罩的四周或分散设置在所述检测底座的凹槽的槽壁上。
6.如权利要求5所述的校验系统，其特征在于，当所述位移检测装置设置在所述光学系统外罩底端的四周时，安装位置不高于所述凹槽的深度。
7.如权利要求1-6任意一项所述的校验系统，其特征在于，所述校验系统包括至少两个安装在所述检测底座上任意位置的移动装置；位于所述检测底座上的移动装置带动所述检测底座在横向方向及纵向方向上移动。
8.如权利要求7所述的校验系统，其特征在于，所述校验系统包括两个安装在所述检测底座上的移动装置； 其中一个移动装置根据所述位移距离中的横向位移距离和所述位移方向中的横向位移方向，带动所述检测底座在横向上进行移动；另一移动装置根据所述位移距离中的纵向位移距离和所述位移方向中的纵向位移方向带动所述检测底座在纵向上进行移动。
9.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述位移检测装置为包含铁芯和线圈的位移传感器。
10.如权利要求9所述的校验系统，其特征在于，所述位移传感器安装于所述检测底座的凹槽槽壁上，所述位移传感器中的铁芯与所述光学系统相连；或者， 所述位移传感器安装于所述光学系统的外罩上，所述位移传感器中的铁芯与所述检测底座相连。
11.如权利要求10所述的校验系统，其特征在于，所述位移传感器安装于所述光学系统的外罩的底端，且安装位置不高于所述检测底座的凹槽的深度，所述位移传感器中的铁芯与所述检测底座的凹槽槽壁相连。
12.如权利要求I所述的校验系统，其特征在于，所述位移检测装置为红外测距装置。
13.如权利要求12所述的校验系统，其特征在于，所述红外测距装置安装于所述检测底座的凹槽槽壁上；或者，安装于所述光学系统的外罩上。
14.如权利要求13所述的校验系统，其特征在于，所述红外测距装置安装于所述光学系统的外罩的底端，且安装位置不高于所述检测底座的凹槽的深度。
15.一种位移检测装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的光学系统上或所述检测底座上；其特征在于，所述位移检测装置包括初级线圈、两个相同的次级线圈以及铁芯；所述铁芯放置在所述初级线圈和所述两个相同的次级线圈之间，还包括计算单元; 所述次级线圈与所述计算单元相连，将所述铁芯发生移动时产生的直流电压传输给所述计算单元； 所述计算单元根据接收到的所述直流电压计算出位移量并输出。
16.一种移动装置，应用于阵列测试设备，安装在所述阵列测试设备的检测底座上；其特征在于，所述移动装置包括马达、齿轮和齿条；所述马达与所述齿轮相连，所述齿轮位于所述齿条上，所述齿条嵌入在所述检测底座上；所述移动装置还包括计算单元； 所述计算单元与所述马达相连；所述计算单元根据接收到的位移信号计算出位移量，并将该位移量传输给所述马达； 所述马达根据接收到的位移量带动所述齿轮在所述齿条上移动。
专利摘要本实用新型涉及应用电子技术领域，尤其涉及阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置，用于解决如何自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间位移的问题；校验系统包括阵列测试设备，阵列测试设备包括电耦合摄像机，光学系统以及检测底座；校验系统还包括安装在光学系统上或检测底座上的位移检测装置；安装在检测底座上的移动装置；位移检测装置，用于检测光学系统与检测底座之间的位移；移动装置，用于在位移检测装置检测到光学系统与检测底座之间产生位移时，根据位移带动所述检测底座进行移动。采用该校验系统，能够实现自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间的位移。
文档编号G01R35/00GK202486303SQ20122012046
公开日2012年10月10日 申请日期2012年3月27日 优先权日2012年3月27日
发明者林金升, 赵海生, 马海涛, 高原 申请人:北京京东方光电科技有限公司