专利名称：用于形成隐埋于一或多个滤色片下的物体的图像的光学装置的制作方法
技术领域：
本实用新型大体而言涉及用于对例如IXD显示器及OLED显示器等电子器件进行光学检验的方法及系统，更具体而言，涉及提供用于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的系统及方法。
背景技术：
液晶显示器(IXD)面板包含具有与电场相关的光调制特性的液晶。液晶显示器面板最常用于在各种器件(自传真机、移动电话、平板计算机及膝上型计算机屏幕一直到大屏幕高清晰度电视)中显示图像及其他信息。主动矩阵式LCD面板是由如下若干功能层组成的复合分层式结构一或多层偏光膜；TFT玻璃基板,其包含薄膜晶体管、存储电容器、像素电极及互连布线；滤色片玻璃基板，其包含黑色基质、滤色片阵列及透明共用电极；由聚酰亚胺制成的定向膜；以及实际液晶材料，其包含塑料/玻璃间隔片(spacer)以维持恰当的IXD单元厚度。一种新型滤色片阵列(color-filter-on-array ；C0A)技术容许在同一玻璃面板上制造滤色片及TFT阵列，从而降低总成本并改良LCD器件的视角特征。根据此种技术，滤色片直接沉积于在TFT玻璃基板上形成的薄膜晶体管的顶上。然而，所沉积的滤色片材料本身以及滤色片沉积工艺的各种瑕疵会使在LCD制造工艺的检验阶段期间难以观察隐埋于上述滤色片及其重叠部分下的特征。具体而言，由于干涉效应(interference effect)会导致在所捕获的图像中出现干涉条纹(fringe)及其他假象(artifact),从而使得难以或无法分辨这些特征，因此,透过薄膜进行观察以分辨隐埋于其下的特征颇具挑战性。此任务会由于以下情况而变得更加复杂。首先，薄膜为具有光学透射窗(optical transmission window)的滤色片,所述光学透射窗仅为照明光谱的一部分。其次，不同滤色片的透射窗处于光谱的不同波长区域中，且每一单个所捕获图像包含由不同滤色片覆盖的空间区域。再次，存在其中不同的滤色片通过沉积于彼此顶上而在空间上重叠的空间区域、边界。再次，位于滤色片边界内的滤色片膜的厚度可能差异很大。最后，图像采集须在机器视觉演算法的控制下迅速地完成，其要求高亮度照明源在曝光期间产生足够的光或形成足够短的频闪脉冲(strobe pulse)以防止图像模糊。对上述问题的传统解决方法涉及使用大功率宽带照明光源并过滤来自物体的光中处于近红外(near IR)光谱的一小部分。在红外(IR)光谱中的波长下，滤色片材料具有可比的光学透射率值，此会实质上消除许多上述不期望的效应并大大地改良对下面物体结构的可见性。然而，在传统方法中所使用的大功率宽带照明源会产生大量的热，并无法产生足够的光强度以在现代高通量电子器件检验系统中实现快速图像采集所使用的频闪成像。发明内容本实用新型涉及能够实质上避免与用于观察隐埋于光学薄膜滤色片及其重叠部分下的特征的传统技术相关联的上述问题及其他问题中的一或多者的方法及系统。根据本实用新型的一个方面，提供一种用于形成隐埋于一或多个滤色片下的物体的图像的光学装置。所述装置包括用于产生照明光的照明光源，所述照明光源包括以不同波长工作的至少三个激光发射器。由所述照明光源所产生的所述照明光是由所述至少三个光发射器所产生的光信号的组合。所述装置还包括电子控制模块，耦合至所述激光发射器中的每一者，并用以使用脉冲驱动信号来驱动所述激光发射器中的每一者；照明光学路径，用于将所述照明光自所述照明光源递送至所述物体；以及图像传感器，用于使用自所述物体收集的光来形成所述物体的所述图像。在所述装置中，所述至少三个激光发射器是以饱和模式工作。在一或多个实施例中，所述照明光学路径包括至少三条光纤，所述至少三条光纤耦合至所述至少三个激光发射器并用以传送由所述至少三个光发射器所产生的所述光信号。在一或多个实施例中，所述至少三条光纤置于绕线轴中。在一或多个实施例中，所述照明光学路径还包括光纤耦合器，所述光纤耦合器用以将所述至少三条光纤所传送的所述光信号组合成所述照明光。在一或多个实施例中，所述照明光学路径还包括递送光纤，所述递送光纤耦合至所述光纤耦合器并用以传送所述照明光。在一或多个实施例中，所述照明光源包括至少一个散热片，所述至少一个散热片分别与至少三个激光发射器相耦合并用以方便对所述至少三个激光发射器的热管理。
在一或多个实施例中，所述电子控制模块用以控制所述脉冲驱动信号的负载循环，以利于对所述至少三个激光发射器的热管理。在一或多个实施例中，所述电子控制模块用以控制所述脉冲驱动信号的幅值及时间参数其中的至少一者，以利于对所述图像传感器所形成的所述物体的所述图像进行预定曝光。在一或多个实施例中，所述电子控制模块用以将各个电脉冲驱动信号提供至所述至少三个激光发射器中的每一者，且其中所述各个脉冲驱动信号具有电脉冲形状及幅值，所述电脉冲形状及幅值被配置成使所述至少三个激光发射器中的每一者的P-η结产生预定的瞬态温度变化。在一或多个实施例中，所述电子控制模块用以分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的脉冲能量。在一或多个实施例中，所述电子控制模块用以分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的波长及带宽。在一或多个实施例中，所述至少三个激光发射器以紧密相间的波长工作。在一或多个实施例中，所述照明光源的光谱位于使所述滤光片的材料具有实质相等的透光率的波长区域中。在一或多个实施例中，所述图像传感器在由所述照明光源所产生的所述照明光的光谱中具有灵敏度。[0022]在一或多个实施例中，设置有成像光学路径，以用于将来自所述物体的所述光递送至所述图像传感器。根据本实用新型的另一方面，提供一种用于形成隐埋于一或多个滤色片下的物体的特征的图像的方法。所述方法包括使用由照明光源所产生的照明光对所述物体进行照明，所述照明光源包括以不同波长工作的至少三个激光发射器，所述照明光是由所述至少三个光发射器所产生的光信号的组合，所述照明光是利用照明光学路径而自所述照明光源递送至所述物体；使用电子控制模块以脉冲驱动信号来驱动所述至少三个激光发射器中的每一者，所述电子控制模块耦合至所述至少三个激光发射器中的每一者；以及使用图像传感器以自所述物体收集的光来形成所述物体的所述图像。在上述方法中，所述至少三个激光发射器以饱和模式工作。在一或多个实施例中，所述方法还包括控制所述脉冲驱动信号的负载循环，以利于对所述至少三个激光发射器的热管理。在一或多个实施例中，所述方法还包括控制所述脉冲驱动信号的幅值及时间参数中的至少一者，以利于对由所述图像传感器所形成的所述物体的所述图像进行预定曝光。在一或多个实施例中，所述方法还包括将各个电脉冲驱动信号提供至所述至少三个激光发射器中的每一者，所述各个脉冲驱动信号具有电脉冲形状及幅值，所述电脉冲形状及幅值被配置成使所述至少三个激光发射器中的每一者的P-η结产生预定的瞬态温度变化。 在一或多个实施例中，所述方法还包括分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的脉冲能量。在一或多个实施例中，所述方法还包括分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的波长及带宽。在一或多个实施例中，所述至少三个激光发射器以紧密相间的波长工作。在一或多个实施例中，所述照明光源的光谱位于使所述一或多个滤光片的材料具有实质相等的透光率的波长区域中。关于本实用新型的其他方面将在以下说明中得到部分阐述，并将根据本说明而部分地显而易见，或可通过实践本实用新型而得知。可通过在以下详细说明及随附权利要求书中所具体指出的元件以及各种元件与方面的组合来实现本实用新型的各方面。应理解，上述说明及以下说明均仅为实例性及解释性说明，而非旨在以任何方式限制所主张的发明或其应用。
包含于本说明书中并构成本说明书的一部分的附图例示本实用新型的各实施例，并与本说明一起用于解释及例示本实用新型技术的原理。具体而言图1例示此种照明光源100的一个实例性实施例；图2例示用于产生照明以利于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的装置的实例性实施例；图3例示通过使用传统成像技术而获得的具有重叠的COA滤色片的IXD像素的图像；以及[0037]图4例示通过使用本实用新型照明及成像技术的实施例而获得的具有重叠的COA滤色片的LCD像素的图像。主要元件标记说明100:照明光源101 :照明基座102a:激光二极管102b :激光二极管102c :激光二极管102d :激光二极管103 :光纤输出104 :光纤耦合器105 :递送光纤106 :安装焊盘107 :光纤绕线轴201:电性互连 202 电子控制及软件模块301: COA 滤色片302 C0A 滤色片303 :共用线304 :线305 :数据线306 :线307 :重叠部分308 :黑线区域311 :像素部312:像素部401 :单一滤色片区域402 :单一滤色片区域403 :重叠滤色片区域406:完全不透明区域
具体实施方式
在以下详细说明中，将参照附图，在所述附图中，相同的功能元件由相同的编号表示。上述附图以例示而非限定方式显示根据本实用新型原理的具体实施例及实施方式。以下将详尽地阐述这些实施方式，以使所属领域的技术人员能够实践本实用新型，并且应理解，在不背离本实用新型的范围及精神的条件下，可利用其他实施方式并可对各种元件作出结构改变及/或替代。因此，以下详细说明不应被视为具有限制意义。此外，所述本实用新型的各种实施例可被实施成在通用计算机上运行的软件形式、专用硬件形式、或软件与硬件相结合的形式。[0067]与透过光学薄膜滤色片及其重叠部分来观察物体特征相关联的上述问题主要是由滤色片的界面处、或滤色片的界面与表面之间、或阵列玻璃本身的反射或透射效应引起的。本实用新型的各个方面提供用于对例如LCD显示器及OLED显示器等电子器件进行光学检验的系统及方法，更具体而言，提供用于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的系统及方法。根据所述实施例的一个方面，提供一种用于产生照明以利于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的照明光源。图1例示此种照明光源100的一个实例性实施例。为克服与透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察相关联的上述问题及其他问题，根据本实用新型的一或多个实施例，照明光源100优选地包括波长紧密相间的多个激光二极管(激光器)102a、102b及102c。激光二极管102a至102c用于对所检验的物体进行照明。虽然图1所示照明光源100的实例性实施例包括三个激光二极管102a、102b及102c，但本实用新型并非限制于此。所属领域的技术人员应理解，可利用任意其他适宜数目的激光二极管。同样，激光二极管102a、102b及102c可为任意现在已知的或以后将开发出的类型或设计。还应注意，本实用新型并不受用于照明的光源的具体类型限制。具体而言，可使用其他光发射器，包括但不限于固态激光器、发光二极管(light emitting diode ；LED)、以及光纤激光器。在一或多个实施例中，激光二极管102a至102c借助安装焊盘106而安装于照明基座101上，安装焊盘106也用于消散激光二极管102a至102c在其工作期间所产生的热。由激光二极管102a至102c所产生的光的光学路径(照明光学路径)包括光纤输出103、光纤绕线轴107、光纤耦合器104及递送光纤105。光纤耦合器104将多个激光二极管102a至102c的光输出组合成单一组合光束。图2例示用于产生照明以利于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的装置的实例性实施例。所示装置包括上述照明光源100，照明光源100包括经由电性互连201而耦合至电子控制及软件模块202的多个激光二极管。电子控制及软件模块202用以根据脉冲驱动图案来驱动照明光源100的激光二极管102a至102c。在一或多个实施例中，调整脉冲的时间参数(例如，脉冲持续时间及脉冲形状)及脉冲幅值，以获得适宜的图像亮度。在一或多个实施例中，可针对每一激光二极管102a至102c分别执行此种调整，以获得达到适宜亮度所需的光脉冲能量。具体而言，当在照相机移动的条件下快速地执行图像采集时，对物体进行脉冲“频闪式”照明能够实现高品质物体图像的采集而不会出现模糊且无需调制。在一或多个实施例中，由于光学滤色片的存在会遮蔽其下面的物体的特征，因此所选的照明光源100的光谱位于使在制造LCD面板时所使用的所有滤色片材料均具有相等或几乎相等的透光率的波长区域中。此会确保由照明光源100所产生的照明光穿透任何滤色片及滤色片的任何边界。在一或多个实施例中，所选照明光源100的波长被选择成尽可能地短，以保持光学分辨率。由照明光源100所产生的照明光被引导至欲被照明的物体上。物体所反射或散射的光由成像光学系统(图中未显示)及图像传感器(图中未显示)收集，所述成像光学系统及图像传感器形成成像光学路径。在一或多个实施例中，电子控制及软件模块202执行关于图像采集的全部控制功能，并也可对图像传感器所采集的图像执行分析。[0074]在一或多个实施例中，用于产生所检验器件的图像的图像传感器在整个照明光谱中实质上不具有与波长相关的响应(灵敏度)。在替代实施例中，上述图像传感器可具有不平坦的响应(flat response),所述不平坦的响应通过调整光脉冲持续时间及形状、从而控制每一二极管所发射的能量大小来补偿。具体而言，在一个实例性实施方式中，图像传感器的灵敏度在所使用的波长范围(915nm至975nm)内变化约5%至15%。在一或多个实施例中，所选照明光源的所得光谱带宽被选择成与滤色片的光学特性会在其中发生显著变化的带宽相比足够窄，但又足够宽以抑制以标量强度表示的干涉条纹，所述干涉条纹可能会由于各别激光二极管或其他光源所发射的光的谱宽较窄以及由于滤色片特性在照明带宽中发生轻微变化而出现。因此，在一或多个实施例中，照明光源是不相干的或具有低的空间及时间相干性。所属领域的技术人员应理解，可能不具有用于特定波长区域的不相干宽带高亮度光源，或者不相干宽带高亮度光源会受到照明光源的尺寸、重量、亮度及功耗的限制，例如在900nm至1050nm之间的近红外(IR)区域。然而,根据本实用新型的实施例，可利用属于所关心区域范围内的若干分立的窄带宽高亮度相干光源来产生所期望的照明光特性。在一或多个实施例中，增加光源102a至102c的数目会更佳地消除干涉假象。在一或多个实施例中，以如下方式来选择波长使一个光源在另一光源形成相消性干涉带(可作为暗带形式而被看到)的位置中形成相长性干涉带(可作为亮带形式而被看到)。如果用于采集物体图像的图像传感器对两种波长具有等同的响应，或每一波长分别具有可调整的发射能量或功率，则会有效地消除干涉条纹且图像传感器会捕获到无干涉条纹的单色图像。为使此种消除平滑且无阴影，需要使用更多数目的窄带光源且应可分别控制每一波长的强度。还应注意，所使用的每一光源的带宽越宽，将会越平滑地消除干涉条纹。因为滤色片及其边界的特性是未知的或可在适用波长范围内轻微地变化，因此，在一或多个实施例中，使每一窄带照明光源102a至102c的波长及带宽为可调的。在图1所示实施例中所使用的具有组合光输出的多个激光二极管102a至102c能够实质上满足对照明光源100的所有上述要求。所属领域的技术人员应理解，激光二极管所发射的光的波长对p-n结的温度具有相当强的依赖性。因此，在一或多个实施例中，通过改变对应P-n结的所述温度来实现对每一激光二极管102a至102c的中心波长的有效控制。为实现此目的，将照明光源100与具有受控电脉冲形状及幅值的脉冲电泵相结合地使用，所述脉冲电泵用于使激光二极管102a至102c的p-n结产生瞬态温度变化。此会在整个波长范围内扫描激光二极管102a至102c的输出光谱，这又会使有效光发射光谱变宽并使中心波长发生变化。在一或多个实施例中，激光二极管102a至102c的上述脉冲驱动图案的负载循环被配置成足够低，以使二极管温度能够在下一照明脉冲时回到平衡状态，从而确保照明参数的再现性。在同一实施例或替代实施例中，通过使用散热片以及安装焊盘106来实现对激光二极管102a至102c的温度管理，安装焊盘106被配置成非常有效地实现该目的。散热片可具有任意适宜的构造或设计，并可包括但不限于冲压件、挤压件、黏结的及/或焊接的鳍片、铸件、及/或折叠的鳍片。在一个实施例中，对所有光发射器使用单一散热片。视需要或作为另一选择，对上述光发射器中的每一者分别使用单独的散热片。在一个实例性实施方式中，图1所示的激光二极管102a至102c标称地以915nm、940nm及975nm的波长工作。在替代实施例中，利用具有其他可商购获得的波长组合(例如，808nm、840nm及960nm)的激光器或具有选自标称波长集合808nm、840nm、915nm、940nm、960nm及975nm的任意其他组合的激光器。然而，所属领域的技术人员应理解，本实用新型并不限于利用具有所列出的标称波长的激光器。在一或多个实施例中，激光二极管102a至102c优选地以饱和模式工作，以减少照明光的相干性并消除所形成的斑点。如所属领域的技术人员所已知，饱和模式由电泵电流的幅值超过某一阈值来表征，在超过此阈值之后，电流幅值的进一步增大不会使所发射的光功率或能量的比光谱密度成比例地增大，而会使发射光的光谱变宽。为实现此目的，使用具有大电流的短驱动脉冲。短脉冲也会使激光二极管102a至102c以扫频模式(frequency sweep)工作,所述扫频模式会使所递送的照明光的光谱进一步变宽。在一或多个实施例中，为平衡光的输出并使干涉效应最小化，使电子控制及软件模块202分别控制提供至每一激光二极管102a至102c的脉冲。此外，实现对曝光用照明的控制。通过使用光纤输出103而将激光二极管102a至102c耦合至单一递送光纤105，递送光纤105用于将照明光递送至物体。所属领域的技术人员应理解，存在许多用于减小照明光的相干性及避免所采集的物体图像中存在斑点的不同方法。在上述一或多个实施例中，当能量输出相当高时，使激光二极管以饱和模式工作会使所发射光的各纵模(longitudinal modes)解耦，此通常足以避免在所形成的图像中出现斑点。在一或多个实施例中，根据名称为“用于选择性地观察物体特征的高速采集观察系统及方法(High Speed Acquisition Vision System and Method for SelectivelyViewing Object Features)”的美国专利申请案第12/855,647号中所述的方法及概念,进一步减小照明光的相干性，所述美国专利申请案以引用方式全文并入本文中。图3例示通过使用传统成像技术而获得的具有重叠的COA滤色片301及302的IXD像素的图像。如图所示，像素部311被蓝色滤色片覆盖,而像素部312则被红色滤色片覆盖。隐埋于上述滤色片下的物体特征包括门极或共用线303与数据线305。如图3所示，虽然透过各个滤色片可看到线304及线306的某些部分，但透过上述滤色片的重叠部分307看不到任何线。此外，黑线区域308捕获不到光，黑线区域308的特征是由于其中多个界面的高曲率而完全不透明。图4例示通过使用本实用新型照明及成像技术的实施例而获得的具有重叠的COA滤色片的LCD像素的图像。如图所示，共用线及数据线不仅在单一滤色片区域401及402下方可见，而且在重叠滤色片区域403下方也可见(参见图4，405)。完全不透明区域406与图3所示的对应区域308相比窄得多。最后，图4所示图像的特征在于，滤色片重叠区域下方的透明度与单一滤色片区域相比仅发生很小的变化(参见图4，404)。因此，本实用新型的照明及成像技术的各种实施例的特征在于能显著改良所获取图像的品质。应注意，上述系统的各种光学组件(包括激光二极管102a至102c、光纤103及105、光纤耦合器104、成像光学系统及图像传感器)的设计可为任何当前存在或将来开发出的类型或设计，且这些组件是所属领域的普通技术人员众所周知的并可广泛地商购获得。最后，应理解，本文所述的过程及技术并非固有地相关于任何特定装置，并可由任何适宜的组件组合来实作。此外，可根据本文所述的教示内容而使用各种类型的通用器件。也可证明构造专用装置来执行本文所述的方法步骤颇为有利。上文已结合具体实例阐述了本实用新型，这些实例旨在在所有方面均为例示性的而非限制性的。此外，所属领域的技术人员在阅读本说明书及实践本文所述实用新型之后，本实用新型的其他实施方式将会一目了然。在用于透过光学薄膜滤色片及其重叠部分进行观察的系统中，可单一地或以任何组合来使用所述各实施例的各个方面及/或组件。旨在将本说明书及各实例仅视为实例性的，本实用新型的真正范围及精神由以下权利要求书表明。
权利要求1.一种用于形成隐埋于一或多个滤色片下的物体的图像的光学装置，所述装置包括 a.照明光源，用于产生照明光，所述照明光源包括以不同波长工作的至少三个激光发射器，所述照明光是由所述至少三个光发射器所产生的光信号的组合； b.电子控制模块，耦合至所述至少三个激光发射器中的每一者，并用以使用脉冲驱动信号来驱动所述至少三个激光发射器中的每一者； c.照明光学路径，用于将所述照明光自所述照明光源递送至所述物体；以及 d.图像传感器，用于使用自所述物体收集的光来形成所述物体的所述图像， 其中所述至少三个激光发射器是以饱和模式工作。
2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述照明光学路径包括至少三条光纤，所述至少三条光纤耦合至所述至少三个激光发射器并用以传送由所述至少三个光发射器所产生的所述光信号。
3.如权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述至少三条光纤置于绕线轴中。
4.如权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述照明光学路径还包括光纤耦合器，所述光纤耦合器用以将所述至少三条光纤所传送的所述光信号组合成所述照明光。
5.如权利要求4所述的光学装置，其特征在于，所述照明光学路径还包括递送光纤，所述递送光纤耦合至所述光纤耦合器并用以传送所述照明光。
6.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述照明光源包括至少一个散热片，所述至少一个散热片分别与至少三个激光发射器相耦合并用以方便对所述至少三个激光发射器的热管理。
7.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述电子控制模块用以控制所述脉冲驱动信号的负载循环，以利于对所述至少三个激光发射器的热管理。
8.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述电子控制模块用以控制所述脉冲驱动信号的幅值及时间参数其中的至少一者，以利于对所述图像传感器所形成的所述物体的所述图像进行预定曝光。
9.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述电子控制模块用以将各个电脉冲驱动信号提供至所述至少三个激光发射器中的每一者，且其中所述各个脉冲驱动信号具有电脉冲形状及幅值，所述电脉冲形状及幅值被配置成使所述至少三个激光发射器中的每一者的P-η结产生预定的瞬态温度变化。
10.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述电子控制模块用以分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的脉冲能量。
11.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述电子控制模块用以分别控制由所述至少三个激光发射器中的每一者所发射的光的波长及带宽。
12.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述至少三个激光发射器以紧密相间的波长工作。
13.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述照明光源的光谱位于使所述一或多个滤色片的材料具有实质相等的透光率的波长区域中。
14.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述图像传感器在由所述照明光源所产生的所述照明光的光谱中具有灵敏度。
15.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，还包括成像光学路径，用于将来自所述 物体的所述光递送至所述图像传感器。
专利摘要本实用新型提供一种用于形成隐埋于一或多个滤色片下的物体的图像的光学装置。所述装置包括照明光源，用于产生照明光，所述照明光源包括以不同波长工作的至少三个激光发射器，所述照明光是由所述至少三个光发射器所产生的光信号的组合；电子控制模块，耦合至所述至少三个激光发射器中的每一者，并用以使用脉冲驱动信号来驱动所述至少三个激光发射器中的每一者，所述脉冲驱动信号具有可控的幅值及时间脉冲参数；照明光学路径，用于将照明光自照明光源递送至物体；图像传感器，用于使用自物体收集的光来形成物体的图像；以及成像光学路径，用于将光自物体递送至图像传感器。所述三个激光发射器是以饱和模式工作，以减小照明光的相干性并消除所形成的斑点。
文档编号G01M11/00GK202903452SQ20122035856
公开日2013年4月24日 申请日期2012年7月23日 优先权日2011年7月21日
发明者安德鲁·博登路克 申请人:烽腾科技有限公司