专利名称：自动水平测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及本发明涉及测试设备技术领域，特别涉及一种自动水平测试系统。
技术背景 在集成电路制造领域，机台以及机台内各部件的水平状态对制程的稳定起到至关重要的作用，特别是机台与部件之间或各部件之间的相对水平的位置关系，对产品的质量影响重大。例如，在化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)机台中，如果反应腔中的晶片承载盘(Wafer Base)与墙体顶部的气体分布板(Gas Distribution Plate)之间的相对位置不能水平，就会造成沉积物在晶圆表面沉积的厚度不一致，从而会影响晶圆的性能。目前，在半导体制造工厂里调节各部件相对位置水平的步骤如下首先，调节整个机台的水平位置，使机台绝对水平；然后，调节各部件的水平位置，使各部件绝对水平，从而使各部件之间以及各部件与机台之间的位置相对水平。所以，调节机台或各部件的位置绝对水平，是使各部件之间以及各部件与机台之间的位置相对水平得关键。但在现有技术中，水平测试通过手动调节并用肉眼检测，误差很大，并且现有的水平测试仪只能在一个方向上进行测试，即只能测试一个方向是否水平，不能在二维平面上进行水平测试，即不能测试真个平面是否水平。因此，如何提供一种自动水平测试系统，能有精确地测试整个二维平面的水平状态，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种自动水平测试系统，能有精确地测试整个二维平面的水平状态。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种自动水平测试系统，包括用于感应待测物体在二维平面上的水平信息的感应单元，所述感应单元设置于待测物体上；用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元，所述控制单元连接于所述感应单元；用于显示所述水平位置数据的显示单元，所述显示单元连接于所述控制单元。进一步的,所述感应单元包括透明的腔体，所述腔体内封入有液体且封入有气泡，所述腔体的水平横截面具有四个象限，四个象限的原心为所述腔体的水平横截面的中心；用于向所述腔体射出光的发光元件，所述发光元件设置于所述腔体的上方；用于接收所述腔体的反馈光的受光元件。进一步的，所述受光元件为图像传感器。[0016]进一步的，所述受光元件设置于所述腔体的下方，所述腔体上表面为凸面或平面。进一步的，所述受光元件为光强感应器。进一步的，所述受光元件设置于所述腔体的下方，所述腔体上表面为凸面或平面。进一步的，所述受光元件设置于所述腔体的上方且位于所述发光元件旁，所述腔体上表面为凸面。进一步的，所述腔体的水平横截面为方形或圆形。进一步的，所述液体为具有颜色的透明液体。进一步的，所述水平位置数据为二维坐标或二维象限图中的一种或两种。进一步的，所述自动水平测试系统还包括用于对外报告水平信息的语音单元，所·述语音单元连接于所述控制单元。进一步的，所述自动水平测试系统还包括用于存储水平信息的存储单元，所述存储单元连接于所述控制单元。与现有技术相比，本实用新型提供的自动水平测试系统具有以下优点I.本实用新型所述的自动水平测试系统包含能感应待测物体在水平二维平面上水平信息的感应单元，与现有技术相比，该感应单元能精确地测试待测物体在二维平面上水平状态，并将该水平信息传送给控制单元，所述控制单元将水平信息转化为精确的水平位置数据，避免误差。2.本实用新型所述的自动水平测试系统中，还包括语音单元，所述语音单元接收所述控制单元的水平信息，当检测到待测物体的水平状态超出规格后既报警，有利于对待测物体进行实时监测。3.本实用新型所述的自动水平测试系统中，还包括存储单元，所述存储单元存储接收到所述控制单元传来的水平信息，对待测物体的水平状态进行记录，当产品出现问题时，有利于分析产品问题的原因。
图I为本实用新型中一实施例的自动水平测试系统的结构示意图；图2为本实用新型中一实施例的自动水平测试系统的腔体的示意图；图3为本实用新型中一实施例的自动水平测试系统的感应单元的示意图；图4为本实用新型中一实施例的自动水平测试系统的显示单元的显示图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型的自动水平测试系统进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种自动水平测试系统，该自动水平测试系统包括一感应单元，该感应单元能感应待测物体在二维平面上的水平信息，然后通过控制单元将该水平信息转化为精确的水平位置数据，并将该水平位置数据显示于显示单元，从而得到待测物体精确的水平状态。结合上述核心思想，本实用新型提供一种自动水平测试系统，包括固用于感应待测物体在水平二维平面上水平信息的感应单元，所述感应单元设置于待测物体上；用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元，所述控制单元连接于所述感应单元；用于显示所述水平位置数据的显示单元，所述显示单元连接于所述控制单元。以下列举所述自动水平测试系统的几个实施例，以清楚说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。第一实施例以下请参考图1，其为本实用新型中一实施例的自动水平测试系统的结构示意图。本实用新型所述自动水平测试系统中所述受光元件114为图像传感器，所述受光元件114设置于所述腔体111的下方，所述腔体111上表面为凸面或平面。所述感应单元110设置于待测物体上，用于感应待测物体在二维平面上的水平信息。所述感应单元Iio包括透明的腔体111,发光元件113和受光元件114。所述腔体111内封入有液体且封入有气泡112，在本实施例中，所述液体为具有颜色的透明液体，如稀释的红墨水或润滑油等，以提高受光元件114感应的灵敏度，但液体并不限于具有颜色的透明液体，如纯净水、酒精等，亦在本实用新型的思想范围之内。所述腔体111的水平横截面被横向轴X和纵向轴Y分为四个象限，四个象限分别为第一象限、第二象限、第三象限和第四象限，四个象限的原心为所述腔体111的水平横截面的中心，如图2所示。所述腔体111的水平横截面不做限制，一般腔体111的水平横截面为方形或圆形。所述发光元件113设置于所述腔体111的上方，如图3所示，发光元件113用于向所述腔体射出光。在本实施例中，所述受光元件114设置于所述腔体111的下方，用于接收透过所述腔体111的反馈光。在本实施例中，所述受光元件114为图像传感器，由于本实施例中受光元件114设置于腔体111的下方，所以腔体111上表面不做限制，一般腔体111的上表面可以为凸面或平面。控制单元120用于接受所述感应单元110的水平信息，并将水平信息转化为水平位置数据，所述控制单元120连接于所述感应单元110。所述水平位置数据为二维坐标或二维象限图中的一种或两种，即控制单元120可以将水平信息转化为二维坐标或二维象限图，以方便检测。控制单元120可以水平信息精确地转化为水平位置数据，能达到避免误差的有益效果。在本实施例中，感应单元110将受光元件114感应的四个象限的水平信息传递给控制单元120，并生成四张感应图，再将四张感应图合成一张二维象限图，控制单元120将该二维象限图与预先设置的若干标准图进行比较，当实际感应图与某一标准图重合率达99%以上时，该某一标准图中气泡的位置即为实际感应图中气泡的位置，并可输出二维坐标，其中，横向轴X的坐标表不横向轴X方向与水平面的角度,纵向轴Y表不纵向轴Y方向与水平面的角度。[0044]所述显示单元130连接于所述控制单元120，显示单元130用于显示所述水平位置数据，以方便对水平位置数据的查看。如图4所示，图4示意了本实施例中显示单元显示的二维象限图，除此之外，显示单元130还可以显示二维坐标。所述自动水平测试系统还可以包括用于对外报告水平信息的语音单元140，所述语音单元140连接于所述控制单元120。当检测到待测物体的水平状态超出规格，控制单元120向语音单元140发出指令，语音单元140既报警，一般的，语音单元140为一喇叭，语音单元140的设置有利于对待测物体的水平状态进行实时控制，及时调节待测物体的水平位置。所述自动水平测试系统还包括用于存储水平信息的存储单元150，所述存储单元150连接于所述控制单元120。存储单元150对待测物体的水平状态进行实时记录，当经过待测物体的产品出现问题时，可以查阅存储单元150记录的经过产品时待测物体的水平状态，则可以判断是否为待测物体的水平状态不佳而造成产品出现问题。 第二实施例本实用新型第二实施例为第一实施例的修改例，第二实施例在第一实施例的基础上，区别在于所述受光元件114为光强感应器。所述受光元件114设置于所述腔体111的下方，所述腔体111上表面为凸面或平面。在本实施例中，所述水平信息为强度信号，感应单元110能够感应三个象限以上的水平信息，感应单元110将受光元件114感应的水平信息传递给控制单元120,控制单元120可以根据强度信号计算出腔体111中气泡112的相对位置，根据计算出腔体111中气泡112的相对位置，可以生成二维象限图和二维坐标。第三实施例本实用新型第三实施例为第一实施例的修改例。第三实施例在第一实施例的基础上，区别在于所述受光元件114设置于所述腔体111的上方且位于所述发光元件113旁，所述腔体111上表面为凸面，以方便受光元件114能接收到腔体111反射的由发光元件113发出的光。综上所述，本实用新型所述自动水平测试系统，该自动水平测试系统包括一感应单元，该感应单元能感应待测物体在二维平面上的水平信息，然后通过控制单元将该水平信息转化为精确的水平位置数据，并将该水平位置数据显示于显示单元，从而得到待测物体精确的水平状态。。与现有技术相比，本实用新型提供的自动水平测试系统具有以下优
占-
^ \\\ I.本实用新型所述的自动水平测试系统包含能感应待测物体在水平二维平面上水平信息的感应单元，与现有技术相比，该感应单元能精确地测试待测物体在二维平面上水平状态，并将该水平信息传送给控制单元，所述控制单元将水平信息转化为精确的水平位置数据，避免误差。2.本实用新型所述的自动水平测试系统中，还包括语音单元，所述语音单元接收所述控制单元的水平信息，当检测到待测物体的水平状态超出规格后既报警，有利于对待测物体进行实时监测。3.本实用新型所述的自动水平测试系统中，还包括存储单元，所述存储单元存储接收到所述控制单元传来的水平信息，对待测物体的水平状态进行记录，当产品出现问题时，有利于分析产品问题的原因。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种自动水平测试系统，用于测试待测物体水平状态，所述自动水平测试系统包括 用于感应待测物体在二维平面上的水平信息的感应单元，所述感应单元设置于待测物体上； 用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元，所述控制单元连接于所述感应单元； 用于显示所述水平位置数据的显示单元，所述显示单元连接于所述控制单元。
2.如权利要求I所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述感应单元包括 透明的腔体，所述腔体内封入有液体且封入有气泡，所述腔体的水平横截面具有四个象限，四个象限的原心为所述腔体的水平横截面的中心； 用于向所述腔体射出光的发光元件，所述发光元件设置于所述腔体的上方； 用于接收所述腔体的反馈光的受光元件。
3.如权利要求2所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述受光元件为 图像传感器。
4.如权利要求3所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述受光元件设置于所述腔体的下方，所述腔体上表面为凸面或平面。
5.如权利要求2所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述受光元件为光强感应器。
6.如权利要求5所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述受光元件设置于所述腔体的下方，所述腔体上表面为凸面或平面。
7.如权利要求5所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述受光元件设置于所述腔体的上方且位于所述发光元件旁，所述腔体上表面为凸面。
8.如权利要求2所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述腔体的水平横截面为方形或圆形。
9.如权利要求2所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述液体为具有颜色的透明液体。
10.如权利要求1-9中任意一项所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述水平位置数据为二维坐标或二维象限图中的一种或两种。
11.如权利要求1-9中任意一项所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述自动水平测试系统还包括用于对外报告水平信息的语音单元，所述语音单元连接于所述控制单元。
12.如权利要求1-9中任意一项所述的自动水平测试系统，其特征在于，所述自动水平测试系统还包括用于存储水平信息的存储单元，所述存储单元连接于所述控制单元。
专利摘要本实用新型揭示了一种自动水平测试系统，该自动水平测试系统包括用于感应待测物体在水平二维平面上水平信息的感应单元，所述感应单元设置于待测物体上；用于接受所述感应单元的水平信息并将水平信息转化为水平位置数据的控制单元，所述控制单元连接于所述感应单元；用于显示所述水平位置数据的显示单元，所述显示单元连接于所述控制单元。本实用新型得到的自动水平测试系统能精确地测试整个二维平面的水平状态。
文档编号G01C9/32GK202793388SQ20122052049
公开日2013年3月13日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者金嵩, 林保璋 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司