专利名称：晶体管特性测试探针台及测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测试仪，特别是涉及一种晶体管特性测试探针台，还涉及一种晶体管特性测试系统。
背景技术：
半导体硅片在形成双极结型晶体管(BJT)的发射区和基区之后，由于晶体管的基本结构已经完成，所以可以对晶体管的一些特性参数进行测量，一般使用晶体管特性测试仪测试晶体管的参数，如共射极静态电流放大倍数等。传统的晶体管特性测试是将待测晶片放置在测试台上，用晶体管特性测试仪的三个探针对已经形成在待测晶片上的图形窗口进行接触，进而测出其参数。由于测试参数时需要三个探针都接触待测晶片对应的区域，操作难度大，耗时长。
实用新型内容基于此，有必要提供一种操作简单、耗时少的晶体管特性测试探针台。一种晶体管特性测试探针台，包括底座和支架,所述底座包括底座本体和固定于所述底座本体上的支撑柱；所述支架包括支架本体和固定于所述支架本体上的探针调节装置，所述支架本体通过所述支撑柱与所述底座本体固定连接；所述晶体管特性测试探针台还包括与所述底座本体连接的托盘和固定于所述探针调节装置上且可通过所述探针调节装置调整位置的接线柱；所述托盘为可导电的托盘；所述探针调节装置包括第一探针调节装置和第二探针调节装置，所述接线柱包括分别固定于所述第一和第二探针调节装置上的第一接线柱和第二接线柱；所述托盘、第一和第二接线柱分别与晶体管特性测试仪的三个探针连接。在其中一个实施例中，所述托盘为真空吸盘。在其中一个实施例中，所述底座包括设置在所述底座本体上可水平移动的托盘调节装置，所述托盘通过所述托盘调节装置与所述底座本体连接。在其中一个实施例中，所述托盘调节装置包括通过转动使所述托盘调节装置相对于所述底座本体松开或压紧的调节杆。在其中一个实施例中，所述接线柱包括接线柱本体和接线柱头，所述接线柱头通过所述接线柱本体与所述探针调节装置连接。在其中一个实施例中，所述接线柱头通过螺钉与所述接线柱本体固定连接。在其中一个实施例中，所述调节装置上设置有调节所述接线柱位置的调节旋钮。在其中一个实施例中，晶体管特性测试探针台还包括显微镜。一种晶体管特性测试系统，包括晶体管特性测试仪，还包括上述任意一种晶体管特性测试探针台。上述晶体管特性测试探针台，在对待测晶片进行参数测试时，将晶体管特性测试仪的三个探针分别固定在晶体管特性测试探针台的托盘、第一和第二接线柱上，将待测晶片放置在可导电的托盘上，通过调节两个探针调节装置来调整两个接线柱的位置，使固定在两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触，然后用晶体管特性测试仪对待测的图形窗口进行参数测试。由于只需要调节两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触便可进行参数测试，操作简单、耗时少。
图1为一实施例中晶体管特性测试探针台的结构图。
具体实施方式
传统的晶体管特性测试是将待测晶片放置在测试台上，用晶体管特性测试仪的三个探针对已经形成在待测晶片上的图形窗口进行接触，进而测出其参数。由于测试参数时需要三个探针都接触待测晶片对应的区域，操作难度大，耗时长。为了使晶体管特性测试操作简单并减少耗时，本实用新型提供一种晶体管特性测试探针台，如图1所述，包括底座100、托盘200、支架300和接线柱。底座100包括底座本体120和支撑柱，支撑柱固定于底座本体120上，本实施例中支撑柱包括第一支撑柱140和第二支撑柱160，在其他实施例中支撑柱也可以为三个或四个。托盘200可导电且与底座本体120连接。支架300包括支架本体320和固定于支架本体320上的探针调节装置，支架本体320通过第一支撑柱140和第二支撑柱160与底座本体120固定连接；探针调节装置包括第一探针调节装置340和第二探针调节装置360。接线柱包括第一接线柱420和第二接线柱440，第一接线柱420固定于第一探针调节装置340上，第二接线柱440固定于第二探针调节装置360上，通过调节第一探针调节装置340可调整第一接线柱420的位置，通过调节第二探针调节装置360可调整第二接线柱440的位置。托盘200、第一接线柱420和第二接线柱440分别与晶体管特性测试仪的三个探针(即分别用于测试集电极、基极、发射极的探针)连接。上述晶体管特性测试探针台，在对待测晶片进行参数测试时，将晶体管特性测试仪的三个探针分别固定在晶体管特性测试探针台的托盘200、第一接线柱420和第二接线柱440上，将待测晶片放置在可导电的托盘200上，通过调节第一探针调节装置340和第二探针调节装置360来调整第一接线柱420和第二接线柱440的位置，使固定在两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触，然后用晶体管特性测试仪对待测的图形窗口进行参数测试。由于只需要调节两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触便可进行参数测试，操作简单、耗时少。在其中一个实施例中，底座100包括托盘调节装置180，托盘调节装置180设置在底座本体120上且可水平移动，托盘200通过托盘调节装置180与底座本体120连接。在对待测晶片进行测试时可通过调节托盘调节装置180、第一探针调节装置340和第二探针调节装置360来调整托盘200、第一接线柱420和第二接线柱440的位置，移动托盘200、第一接线柱420和第二接线柱440更便于待测晶片的图形窗口与探针接触。托盘调节装置180上还可设置有调节杆182，通过转动调节杆182使托盘调节装置180相对于底座本体120松开或压紧，托盘调节装置180被松开后可在底座本体120上一定范围内水平移动，当确定托盘调节装置180的位置后在转动调节杆182压紧托盘调节装置180，既能通过托盘调节装置180改变托盘200的位置，还能在确定托盘200的位置后再次固定托盘200，且操作简单。在其中一个实施例中，托盘200为真空吸盘，当待测晶片放置在托盘200上时可使待测晶片固定，方便接线柱上的探针与待测晶片的其他图形窗口接触，防止因待测晶片移动而被探针划伤，还可避免待测晶片从托盘200上掉落而摔破，减小碎片率。在其中一个实施例中，第一调节装置340上设置有第一调节旋钮342、第二调节旋钮344和第三调节旋钮346，第二调节装置360上设置有第四调节旋钮362、第五调节旋钮364和第六调节旋钮366。通过旋转第一调节旋钮342、第二调节旋钮344和第三调节旋钮346可调节第一接线柱420在水平方向X轴和与X轴垂直的Y轴上的位置，以及在垂直方向的Z轴上的位置，同理通过旋转第四调节旋钮362、第五调节旋钮364和第六调节旋钮366可调节第二接线柱440在X轴、Y轴和Z轴上的位置，操作简单且提高了对探针的定位精度。在其中一个实施例中，第一接线柱420和第二接线柱440都包括接线柱本体和接线柱头，各接线柱的接线柱头通过接线柱本体与探针调节装置连接，晶体管特性测试仪的探针固定在接线柱头上。本实施例中接线柱头均通过螺钉与接线柱本体固定连接，当接线柱头出现损坏时方便更换。此外，真空吸盘200、第一接线柱420的接线柱头和第二接线柱440的接线柱头也可以是通过螺钉与晶体管特性测试仪的三个探针固定连接，成本低、操作简单，还便于拆卸。在其中一个实施例中，晶体管特性测试探针台还包括显微镜，便于观察图形窗口并使探针更准确的与图形窗口接触。显微镜可以固定于底座本体120或支架本体320上。本实用新型还提供一种晶体管特性测试系统，包括晶体管特性测试仪，还包括上述晶体管特性测试探针台。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种晶体管特性测试探针台，包括底座和支架， 所述底座包括底座本体和固定于所述底座本体上的支撑柱； 所述支架包括支架本体和固定于所述支架本体上的探针调节装置，所述支架本体通过所述支撑柱与所述底座本体固定连接； 所述晶体管特性测试探针台还包括与所述底座本体连接的托盘和固定于所述探针调节装置上且可通过所述探针调节装置调整位置的接线柱； 其特征在于，所述托盘为可导电的托盘；所述探针调节装置包括第一探针调节装置和第二探针调节装置，所述接线柱包括分别固定于所述第一探针调节装置和第二探针调节装置上的第一接线柱和第二接线柱；所述托盘、第一接线柱和第二接线柱分别与晶体管特性测试仪的三个探针连接。
2.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述托盘为真空吸盘。
3.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述底座包括设置在所述底座本体上可水平移动的托盘调节装置，所述托盘通过所述托盘调节装置与所述底座本体连接。
4.根据权利要求3所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述托盘调节装置包括通过转动使所述托盘调节装置相对于所述底座本体松开或压紧的调节杆。
5.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述接线柱包括接线柱本体和接线柱头，所述接线柱头通过所述接线柱本体与所述探针调节装置连接。
6.根据权利要求5所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述接线柱头通过螺钉与所述接线柱本体固定连接。
7.根据权利要求1所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，所述调节装置上设置有调节所述接线柱位置的调节旋钮。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的晶体管特性测试探针台，其特征在于，还包括显微镜。
9.一种晶体管特性测试系统，包括晶体管特性测试仪，其特征在于，还包括权利要求1至8任意一项所述的晶体管特性测试探针台。
专利摘要一种晶体管特性测试探针台，包括底座、可导电的托盘、支架和接线柱。底座包括底座本体和与底座本体连接的支撑柱，托盘与底座本体连接；支架包括通过支撑柱与底座本体连接的支架本体和固定于支架本体上的第一和第二探针调节装置，接线柱包括分别固定于第一和第二探针调节装置上的第一和第二接线柱，晶体管特性测试仪的三个探针分别固定在托盘、第一和第二接线柱上。将待测晶片放置在托盘上，调节第一和第二探针调节装置，使固定在两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触，由于只需要调节两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触便可进行参数测试，操作简单、耗时少。此外，本实用新型还提供一种晶体管特性测试系统。
文档编号G01R1/073GK202975075SQ20122069861
公开日2013年6月5日 申请日期2012年12月17日 优先权日2012年12月17日
发明者彭充, 徐国耀, 高志伟, 赵彦云 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司