专利名称：点衍射干涉仪小孔板的支撑结构的制作方法
技术领域：
本发明属于微应力支撑领域，具体涉及一种点衍射干涉仪小孔板的支撑结构。
背景技术：
点衍射干涉仪利用小孔衍射光束作为测试的基准波前，这种干涉仪是一种高精度的光学波前测量设备。一般情况下，小孔的制备是在镀有薄膜的薄玻璃基板上对薄膜进行刻蚀完成的。由于小孔的形貌和小孔的面形精度会对衍射波前的质量产生影响，因此需要减少支撑结构中应力对小孔板的影响，保证小孔板的平整。采用常规的机械装配手段或者直接进行粘胶的方法，会由于机械受力不均或粘结剂收缩导致小孔板产生形变。因此需要研究一种应力小，能够使小孔板均匀受力的支撑结构，来保证小孔板的面形精度。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，该结构具有应力小的特点，使小孔板均匀受力，从而减少小孔板的应力变形。本发明解决技术问题所采用的技术方案如下:点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，该结构包括支撑基板和小孔板，在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明的有益效果是:本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定，使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小，并降低小孔板的形变。
图1本发明点衍射干涉仪小孔板的支撑结构的剖面示意图。图2本发明点衍射干涉仪小孔板的支撑结构的整体三维图。图3本发明点衍射干涉仪小孔板的支撑结构的剖面三维图。图中:1、支撑基板，2、光学胶，3、薄膜，4、玻璃基板，5、小孔，6、小孔板，7、通孔和
8、凹槽。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。如图1、图2和图3所示，点衍射干涉仪小孔板的支撑结构包括支撑基板I和小孔板6，支撑结构I具有一通孔7，通孔7的大小大于点衍射干涉仪的出光口径，保证对小孔5的照明光束能够完全通过。在支撑基板I上有一个以支撑基板I的圆心为圆心的圆形凹槽8 ;凹槽8的横截面为V型，其开口最宽处小于2mm。小孔板6由薄膜3和玻璃基板4构成，薄膜3附在玻璃基板4的上底面，在薄膜3的中心开孔。小孔板6的直径与凹槽8的内径长度相同且小孔板6的外边缘与凹槽8内径的外边缘紧密贴合，安装时二者应该严格的对齐。凹槽8内应采用细管导入光学胶2，以保证涂抹的均匀性和防止气泡进入，将整个装置水平放置一段时间，光学胶2会因为毛细现象与小孔板6接触，同时受重力影响光学胶2会均匀沿凹槽分布，与小孔板6均匀接触，起到连接小孔板6和支撑基板I的作用，其中光学胶的杨氏模量小于等于2.3X104lb/in2，如环氧树脂光学胶。
权利要求
1.点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，该结构包括支撑基板和小孔板，其特征在于，在所述支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；所述小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。
2.如权利要求1所述的点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，其特征在于，所述小孔板由玻璃基板和薄膜构成，薄膜附在玻璃基板的上底面，在薄膜的中心开孔。
3.如权利要求1所述的点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，其特征在于，所述支撑结构具有一通孔，通孔的大小大于点衍射干涉仪的出光口径。
4.如权利要求1所述的点衍射干涉仪小孔板的支撑结构，其特征在于，所述凹槽的横截面为V型，其开口最宽处小 于2mm。
全文摘要
点衍射干涉仪小孔板的支撑结构属于微应力支撑领域，该结构具有应力小的特点，使小孔板均匀受力，从而减少小孔板的应力变形。该结构由支撑基板和小孔板组成，在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定，使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小，并降低小孔板的形变。
文档编号G01J9/02GK103217225SQ201310085979
公开日2013年7月24日 申请日期2013年3月18日 优先权日2013年3月18日
发明者马冬梅, 邵晶, 张海涛, 聂真威, 周烽, 卢增雄 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所