开放式线性导轨光栅线位移传感器的制造方法

文档序号:6203590阅读:157来源:国知局
开放式线性导轨光栅线位移传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型开发的开放式线性导轨光栅线位移传感器,精密光栅线位移传感器在线性导轨上表面贴钢带标尺光栅,读数头靠螺钉固定在读数头安装板上,读数头安装板上开长孔,靠螺钉固定在滑块侧面,高低可调。钢带标尺光栅较玻璃光栅不易碎,寿命更长,变形小。线性导轨与滑块结构实现读数头与钢带标尺光栅的相对运动使得整个光栅线位移传感器结构简单、体积小、灵敏、精度高。且整个结构都是钢材料,与被测元件材料一致,其线胀系数基本一致,光栅尺的温度特性好,测量精度高。
【专利说明】开放式线性导轨光栅线位移传感器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种机加工过程中的精密位移测量与控制技术,属于精密测量【技术领域】。
【背景技术】
[0002]目前国内的光栅尺关键件大多采用透射式玻璃标尺光栅和铸铝外壳,采用五个小轴承(一面两点)定位原理实现读数头与标尺光栅的相对运动。玻璃光栅的寿命短,且玻璃与钢的线胀系数差别很大,温度特性不好,温度特性直接影响光栅线位移传感器的精度。研制出更小、更轻、更灵敏的反射式金属光栅线位移传感器已成为亟待解决的问题。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的技术问题是克服原有透射式玻璃光栅尺寿命短,灵敏度低,各部件热胀系数不一致的问题,提供一种开放式线
[0004]性导轨光栅线位移传感器。
[0005]本新型提供的技术方案,一种开放式线性导轨光栅线位移传感器,线性导轨上表面开槽贴有钢带标尺光栅,安装板通过长孔用螺钉固定在滑块侧面,安装板上开长孔,读数头通过可调长孔固定在安装板上,安装板上开,导轨靠螺钉固定在机床床身上,滑块连接工作台。
[0006]本发明选用体积小、精度高的线性导轨,并在线性导轨上表面开槽贴钢带标尺光栅。线性导轨直线度好、平稳性好、精度高、灵敏度高,从而提高光栅尺的精度。滑块侧面靠螺钉固定有读数头安装板,安装板上开长孔,上下可调,读数头装在读数头安装板上,可以很方便的调节读数头与钢带标尺光栅之间的距离。滑块连接工作台,导轨靠螺钉固定在机床床身上。机床工作时带动滑块运动,读数头与光栅尺就产生相对运动,产生莫尔条纹,输出信号。采用钢带标尺光栅,被测元件也是钢,光栅尺的温度特性好。
[0007]本发明与现有技术相比的优点:
[0008]1.本实用新型采用线性导轨及滑块实现读数头与光栅尺的相对运动,结构紧凑,体积小,且线性导轨直线性好、精度高、灵敏度高。
[0009]2.本实用新型内外部件及被测元件材料均为钢,温度特性好。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]附图1为本实用新型的结构示意图。
[0011]附图2为本实用新型的截面图。
【具体实施方式】
[0012]为使该实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合附图对本实用新型作进一步地详细说明。[0013]附图1中I为高精度线性导轨,2为滑块,导轨上表面贴有钢带标尺光栅3,4为读数头安装板,读数头安装板上开长孔,读数头5固定在安装板上。滑块连接工作台,导轨靠螺钉固定在机床床身上。机床工作时带动滑块运动,读数头与光栅尺就产生相对运动,产生莫尔条纹,输出信号。采用钢带标尺光栅,被测元件也是钢,光栅传感器的温度特性好。
【权利要求】
1.一种开放式线性导轨光栅线位移传感器,其特征在于,线性导轨上表面开槽贴有钢带标尺光栅,安装板通过长孔用螺钉固定在滑块侧面,安装板上开长孔,读数头通过可调长孔固定在安装板上,安装板上开,导轨靠螺钉固定在机床床身上,滑块连接工作台。
【文档编号】G01B11/02GK203518950SQ201320671448
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月29日 优先权日:2013年10月29日
【发明者】赵惠英, 郭晓聪, 王忠祜, 陆洪伦, 郭长新, 赵怀友, 袁林 申请人:北京微纳精密机械有限公司
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