用于硅烷色谱分析的采样系统的制作方法
【专利摘要】本发明为一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于：所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器和流量计设于进入分析单元的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统。采样系统中样品进气气路串接第一减压阀后与第一气路三通连接；第一吹扫气进气气路串接第二减压阀后再和第一气路三通连接，在第二减压阀和第一气路三通之间设有第一截止阀；第二吹扫气进气气路串接第三减压阀后直接连接到尾气处理系统上。本发明实现了在硅烷采样中排除了空气干扰，减少实验误差，同时保障了采样的安全性。
【专利说明】用于硅烷色谱分析的采样系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种色谱分析的采样系统，特别是公开一种针对硅烷色谱分析的采样系统，通过吹扫气路和尾气吸收装置以及合理的气路设计使得在硅烷采样中排除了空气干扰，也提供了采样安全性。
【背景技术】
[0002]硅烷在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。在色谱分析硅烷的采样过程中，进样管道残留的空气对实验的分析结果有很大影响，并且可能会造成管道堵塞和损坏仪器。且进样分析后残留的硅烷可能会产生安全隐患。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是解决现有技术的问题，设计一种用于硅烷色谱分析的采样系统，采用吹扫气路和尾气吸收装置以及合理的气路设计并利用高纯氦气在采样系统进行分析的前后对整个系统进行吹扫，确保管路无残留空气，使得在硅烷采样中排除了空气干扰，减少实验误差，同时保障了采样的安全性。
[0004]本发明是这样实现的:一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于:所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器10和流量计11设于进入分析单元12的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统13。
[0005]所述的采样系统中样品进气气路I串接第一减压阀4后与第一气路三通15连接；第一吹扫气进气气路2串接第二减压阀5后再和第一气路三通15连接，在第二减压阀5和第一气路三通15之间设有第一截止阀7 ;第二吹扫气进气气路3串接第三减压阀6后直接连接到尾气处理系统13上。
[0006]所述的第一气路三通15和第二气路三通16相连，再依次串接第二截止阀8、过滤器10和流量计11后与分析单元12连接，第二气路三通16与第三气路三通17间还串接有第三截止阀9，分析单元12排出的尾气通过第三气路三通17接入尾气处理系统13。
[0007]所述的尾气处理系统13采用装有10%Na0H的溶液的洗气瓶，所述的洗气瓶上部设有三路气路，一路连接第三气路三通17，接收第三气路三通17排出的尾气，一路连接第三减压阀6，接收第三减压阀6排出的吹扫气，另一路连接排空口 14。
[0008]本发明的有益效果是:本发明设计采用两路吹扫气进气气路进行吹扫管路，避免了管路中的空气和硅烷残留对色谱分析造成的不利因素，减少实验误差，也加强了硅烷采样的安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本发明采样系统结构示意图。
[0010]图中:1、样品进气气路；2、第一吹扫气进气气路；3、第二吹扫气进气气路；4、第一减压阀；5、第二减压阀；6、第三减压阀；7、第一截止阀；8、第二截止阀；9、第三截止阀；10、过滤器；11、流量计；12、分析单元；13、尾气处理系统；14、排空口；15、第一气路三通；16、第二气路三通；17、第三气路三通。
【具体实施方式】
[0011]根据附图，本发明一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统。
[0012]本发明采样系统设有一路样品进气气路I和两路吹扫气进气气路，即第一吹扫气进气气路2和第二吹扫气进气气路3。过滤器10和流量计11设于进入分析单元12的气路上，采用系统所有的尾气都进入尾气处理系统13。
[0013]本发明采样系统中样品进气气路I串接第一减压阀4后与第一气路三通15连接。第一吹扫气进气气路2串接第二减压阀5后再和第一气路三通15连接，在第二减压阀5和第一气路三通15之间设有第一截止阀7。第二吹扫气进气气路3串接第三减压阀6后直接连接到尾气处理系统13上。第一气路三通15和第二气路三通16相连，再依次串接第二截止阀8、过滤器10和流量计11后与分析单元12连接。第二气路三通16与第三气路三通17间还串接有第三截止阀9。分析单元12排出的尾气通过第三气路三通17接入尾气处理系统13。尾气处理系统13采用装有10%Na0H的溶液的洗气瓶，洗气瓶上部设有三路气路，一路连接第三气路三通17，接收第三气路三通17排出的尾气，一路连接第三减压阀6，接收第三减压阀6排出的吹扫气，另一路连接排空口 14。
[0014]本发明采样工作具体步骤如下:
(I)打开第一吹扫气进气开关，通过第一吹扫气进气气路2并利用第二减压阀5控制吹扫气的压力和流量，打开第一截止阀7和第三截止阀9，对采用系统气路开始吹扫，通过打压方式吹3?5遍。
[0015](2)关闭第三截止阀9并打开第二截止阀8，对气路开始吹扫，通过打压方式吹至3?5遍。
[0016](3)关闭第一截止阀7，关闭第三截止阀9并打开第二截止阀8，打开样品进气气路I (硅烷)，通过调第一节减压阀4，同时利用第二减压阀5控制气体压力和流量，对气路进行吹扫，通过打压方式吹至3?5遍。
[0017](4)关闭第三截止阀9并打开第二截止阀8，调节第二减压阀5将流量调节到所需大小。至此采样完成。第二吹扫气进气气路3 —直在第三减压阀6的调节下控制小流量气体对洗气瓶进行吹扫。
[0018](5)采样完成后关闭样品进气开关和第一减压阀4，重复上述第(I)和第(2)步骤，保证整个管路中残余硅烷被吹尽。
[0019]综合上述步骤，本发明实现了硅烷采样。避免了管路的空气和硅烷残留对色谱分析造成的不利因素，也加强了硅烷采样的安全性。
[0020]以上所述为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请公开的专利描述范围所作的均等变化与修饰，皆应属于本发明专利要求保护的范围。
【权利要求】
1.一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于:所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器(10)和流量计(11)设于进入分析单元(12)的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统(13)。
2.根据权利要求1所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于:所述的采样系统中样品进气气路(I)串接第一减压阀(4)后与第一气路三通(15)连接；第一吹扫气进气气路(2)串接第二减压阀(5)后再和第一气路三通(15)连接，在第二减压阀(5)和第一气路三通(15)之间设有第一截止阀(7);第二吹扫气进气气路(3)串接第三减压阀(6)后直接连接到尾气处理系统(13)上。
3.根据权利要求1或2所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于:所述的第一气路三通(15)和第二气路三通(16)相连，再依次串接第二截止阀(8)、过滤器(10)和流量计(11)后与分析单元(12)连接，第二气路三通(16)与第三气路三通(17)间还串接有第三截止阀(9 )，分析单元(12 )排出的尾气通过第三气路三通(17 )接入尾气处理系统(13 )。
4.根据权利要求1或2所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于:所述的尾气处理系统(13)采用装有10%Na0H的溶液的洗气瓶，所述的洗气瓶上部设有三路气路，一路连接第三气路三通(17)，接收第三气路三通(17)排出的尾气，一路连接第三减压阀(6)，接收第三减压阀(6 )排出的吹扫气，另一路连接排空口( 14 )。
【文档编号】G01N30/20GK104316625SQ201410618149
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年11月6日 优先权日:2014年11月6日
【发明者】庄鸿涛, 郁光, 方华 申请人:上海华爱色谱分析技术有限公司