一种数字全息实时测量三维物体形状装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种数字全息实时测量三维物体形状装置，包括物体光源、全息干扰台面、参考光源、CCD相机、存储分析装置和显示装置；所述物体光源安装在全息干扰台面后侧；所述参考光源安装在全息干扰台面的上侧；所述CCD相机设置在全息干扰台面前端；所述CCD相机电连接存储分析装置；所述存储分析装置电连接显示装置。本实用新型的数字全息实时测量三维物体形状装置，借助CCD相机，记录全息图形，并输入存储分析装置；存储分析装置利用衍射原理，计算再生光的空间分布；结构简单、实时性好；测量速度快，完成一次测量大约需25毫秒；数据采样时间短，仅为10毫秒。
【专利说明】一种数字全息实时测量三维物体形状装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于三维物体形状测量领域，具体涉及一种数字全息实时测量三维物体形状装置。
【背景技术】
[0002]随着科技的不断发展，对于物体的测量趋向于非接触式的、非破坏性的和实时性的测量；例如对半导体集成电路芯片、微小光学等领域微器件的加工形状测量；微生物、生命科学等领域微粒子动态分布的实时测量；生物芯片、纳米量级微结构功能芯片的形貌测量；材料科学领域加工表面的粗糙度分析测量等；现有技术中人们一般采用光学全息技术；使用全息干板记录物体光和参考光的干涉图形；接着使用参考光照射全息干板，再现物体光；此类测量方法能够完成非接触式测量；但其需要诸如干板的冲洗，干板的位置复原等繁杂、费时和操作难度高。
【发明内容】
[0003](一)要解决的技术问题
[0004]为解决上述问题，本实用新型提出了一种的数字全息实时测量三维物体形状装置；操作简单、实时性效果好。
[0005](二)技术方案
[0006]本实用新型的数字全息实时测量三维物体形状装置，包括物体光源、全息干扰台面、参考光源、CCD相机、存储分析装置和显示装置；所述物体光源安装在全息干扰台面后侧；所述参考光源安装在全息干扰台面的上侧；所述CCD相机设置在全息干扰台面前端；所述CCD相机电连接存储分析装置；所述存储分析装置电连接显示装置。
[0007]进一步地，所述的物体光源和参考光源光线形成的夹角为30°、0°。
[0008]进一步地，所述的全息干扰台面为一无光线反射台面。
[0009](三)有益效果
[0010]本实用新型与现有技术相比较，其具有以下有益效果:本实用新型的数字全息实时测量三维物体形状装置，借助CCD相机，记录全息图形，并输入存储分析装置；存储分析装置利用衍射原理，计算再生光的空间分布；结构简单、实时性好；测量速度快，完成一次测量大约需25毫秒；数据采样时间短，仅为10毫秒。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的整体结构框图；
[0012]图2是本实用新型的工作示意图。
【具体实施方式】
[0013]如图1和图2所示，本实用新型的数字全息实时测量三维物体形状装置，包括物体光源、全息干扰台面、参考光源、CCD相机、存储分析装置和显示装置；所述物体光源安装在全息干扰台面后侧；所述参考光源安装在全息干扰台面的上侧；所述CCD相机设置在全息干扰台面前端；所述CCD相机电连接存储分析装置；所述存储分析装置电连接显示装置；通过CCD相机取得物体光的位相和振幅分布，及物体光在不同传播位置波前分布；通过存储分析装置内部烧写的FFT模块，实现高速演算，完成解析。
[0014]其中，所述的物体光源和参考光源光线形成的夹角为30°、0° ;所述的全息干扰台面为一无光线反射台面。
[0015]本实用新型工作过程为:分为两步，首选，取得全息图，利用干涉技术，记录物体光的波前信息；其次，解析全息图，从全息图计算物体光的波前分布。
[0016]上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
【权利要求】
1.一种数字全息实时测量三维物体形状装置，其特征在于:包括物体光源、全息干扰台面、参考光源、CCD相机、存储分析装置和显示装置；所述物体光源安装在全息干扰台面后侧；所述参考光源安装在全息干扰台面的上侧；所述CCD相机设置在全息干扰台面前端；所述CCD相机电连接存储分析装置；所述存储分析装置电连接显示装置。
2.根据权利要求1所述的数字全息实时测量三维物体形状装置，其特征在于:所述的物体光源和参考光源光线形成的夹角为30°、0°。
3.根据权利要求1所述的数字全息实时测量三维物体形状装置，其特征在于:所述的全息干扰台面为一无光线反射台面。
【文档编号】G01B11/24GK203940837SQ201420121695
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年3月18日 优先权日:2014年3月18日
【发明者】李少博, 雷枫, 问孝明 申请人:淮安普瑞精仪科技有限公司