破裂检测机构的制作方法
【专利摘要】一种破裂检测机构，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上，转动件连接于第一驱动装置，第一驱动装置能驱动转动件转动，转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置；由此，可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出，且可降低成本，并使检测功能提升。
【专利说明】破裂检测机构
【技术领域】
[0001]本实用新型在于提供一种破裂检测机构，尤指一种可应用于板材(如玻璃、晶圆等)破裂状态检出的破裂检测机构。
【背景技术】
[0002]现有的工业检测机构，已知应用于基板或相关制程，业界仅止于对于静态基板可在对位(Alignment)后，以四个固定式的光电传感器(Sensor)检测基板的四个角落的完整性，或是以荷重元(Load Cell)重量变化比对的方式，以及电荷耦合元件(CXD，Charge-coupled Device)方式检测物件状态。
[0003]熟知的晶圆(Wafer)通常可结合于一玻璃(Glass)上，以便利用该玻璃作载板进行相关制程。该晶圆及玻璃完成相关的制程后，可经过激光剥离(Laser Debond)等方式分离玻璃及晶圆。然而玻璃及晶圆剥离后会有应力集中于边缘呈不规则破裂的情形，需以破裂检测机构检出，以避免玻璃等载板破裂影响晶圆造成客户损失，然而目前业界内并无任何应用于玻璃及晶圆破裂检测的适用装置。
[0004]综上所述，本实用新型的发明人有感上述缺失可改善，乃特潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的实用新型。
实用新型内容
[0005]本实用新型所要解决的技术问题，在于提供一种破裂检测机构，可用于板材(如玻璃、晶圆等)破裂状态检出，且可降低成本，并使检测功能提升。
[0006]为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种破裂检测机构，包括:一转动件；至少一传感器，该至少一传感器设置于该转动件上；以及一第一驱动装置，该转动件连接于该第一驱动装置，该第一驱动装置能驱动该转动件转动。
[0007]为了解决上述的技术问题，本实用新型还提供一种破裂检测机构，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆之间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括:一转动件；至少一传感器，该至少一传感器设置于该转动件上；一第一驱动装置，该转动件连接于该第一驱动装置，该第一驱动装置能驱动该转动件转动；以及该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置能移入及移出该检测位置。
[0008]较佳的，进一步包括一第二驱动装置，该第一驱动装置连接于该第二驱动装置，通过该第二驱动装置驱动该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置移入及移出该检测位置。
[0009]本实用新型至少具有下列的优点:
[0010]本实用新型的破裂检测机构包括转动件、传感器及第一驱动装置。该第一驱动装置可驱动转动件转动，使得传感器可以随着转动件同步转动，传感器可沿着圆形的检测线移动，以达到全面性检测的效果，可以大幅降低成本，并使检测功能提升。
[0011]本实用新型的破裂检测机构检出板材破裂时，可以及时机台警告，以避免玻璃等板材破裂影响晶圆造成客户损失。
[0012]为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅用于提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型破裂检测机构的主视示意图。
[0014]图2为本实用新型破裂检测机构的俯视示意图。
[0015]其中，附图标记说明如下:
[0016]I 玻璃
[0017]2 晶圆
[0018]3 夹具
[0019]4 拔取机构
[0020]5 转动件
[0021]6 传感器
[0022]61检测线
[0023]7 第一驱动装置
[0024]8 第二驱动装置
[0025]100破裂检测机构
【具体实施方式】
[0026]请参阅图1，为本实用新型破裂检测机构的前视示意图。本实用新型提供一种破裂检测机构，可应用于板材破裂状态的检出，该板材的类型并不限制，例如可为玻璃、晶圆、载板等各种板状材料。在本实施例中，该破裂检测机构100应用于玻璃I及晶圆2剥离后破裂状态的检出。该晶圆2置于一夹具3上，该夹具3可将晶圆2夹持固定。该晶圆2原先结合于玻璃I上，如图1所不的方向，该晶圆2的顶面原先结合于玻璃I的底面，以便利用玻璃I作为载板承载晶圆2进行相关的制程。当玻璃I及晶圆2欲分离时，则可利用一拔取机构4利用负压方式将玻璃I吸附固定，进而以激光剥离或药剂剥离等方式分离玻璃I及晶圆2，由于玻璃I及晶圆2的剥离方式属于熟知技术，且非本实用新型的重点，故不再予以赘述。
[0027]该破裂检测机构100包括一转动件5、至少一传感器6及一第一驱动装置7。该转动件5大致呈板状体，其形状并不限制，例如可呈长条形或圆形等形状，在本实施例中揭示该转动件5呈长条形。该转动件5可移动至欲进行破裂状态检出的板材的上方或下方处(定义为一检测位置)，在本实施例中该转动件5可以移动至玻璃I及晶圆2之间(检测位置)，该破裂检测机构100可用于检测玻璃I的破裂状态，当然也可用于检测晶圆2的破裂状态，使其具有上、下破裂检出的功能。该板材的检测位置并不限制，例如该检测位置也可位于玻璃I的上方或晶圆2的下方，只要该破裂检测机构100移至邻近该板材的一面处，即可用于该板材的破裂检测，该破裂检测机构100的设置不能影响玻璃I及晶圆2的正常运作。
[0028]该传感器6设置的数量并不限制，例如可为一个、两个或数个等，所述传感器6设置于转动件5上，使得传感器6可以随着转动件5同步转动。所述传感器6的类型并不限制，可根据需要适当的加以变化，较佳但不限制为光传感器或影像传感器等，所述传感器6可为一种非接触式传感器。所述传感器6设置的位置并不限制，所述传感器6可设置于该转动件5的中间、一端、两端或其他适当的位置。
[0029]该第一驱动装置7可为气缸(如旋转气缸)或马达(如伺服马达)等转动装置，该转动件5连接于第一驱动装置7，亦即该转动件5连接于第一驱动装置7的动力输出轴，该第一驱动装置7可用以驱动转动件5转动，使得传感器6可以随着转动件5同步转动，以达到全面性检测的效果。当转动件5转动时即可带动传感器6沿着圆形的检测线61移动(如图2所示)。转动件5转动的角度并不限制，例如可以是180度或360度等，该转动件5转动的角度可随需要予以变化。
[0030]在本实施例中转动件5、传感器6及第一驱动装置7采用可移动方式的设置，该转动件5、传感器6及第一驱动装置7能移入或移出玻璃I及晶圆2之间(检测位置)。具体而言，本实用新型的破裂检测机构100还可以进一步包括一第二驱动装置8，该第二驱动装置8可为气缸、马达等装置，该第一驱动装置7适当的连接于第二驱动装置8，以便利用该第二驱动装置8驱动转动件5、传感器6及第一驱动装置7移入检测位置，且在检测完成后移出检测位置。在本实施例中该第二驱动装置8为一滑轨气缸，该第二驱动装置8可驱动转动件5、传感器6及第一驱动装置7以直线往复运动的方式水平的移入、移出检测位置。
[0031]上述第二驱动装置8驱动转动件5、传感器6及第一驱动装置7移动的方式并不限制，例如该第二驱动装置8也可以驱动转动件5、传感器6及第一驱动装置7以摆动、转动或升降等各种方式移入、移出检测位置。由于利用驱动装置驱动构件移动的构造属于熟知技术，且本实用新型并不限制第二驱动装置8的构造，故不再予以赘述。
[0032]另外，转动件5、传感器6及第一驱动装置7在移动时，也可以搭配适当的滑轨、滑座或线性轴承等导引，使各构件得以稳定的动作。另外，也可以设有适当的传感器予以检测定位，使各构件可以准确的到达定位。
[0033]请参阅图2，为本实用新型破裂检测机构的俯视示意图。该第一驱动装置7(如图1所示)可用以驱动转动件5转动，使得传感器6可以随着转动件5同步转动，传感器6可沿着圆形的检测线61移动，以达到全面性检测的效果，可以大幅降低成本，并使检测功能提升。本实用新型破裂检测机构100可加挂于单晶片机台应用，可用于任一局部破裂检出、任一角对折破裂检出及粉碎破裂检出等，以便及时机台警告，避免玻璃等板材破裂影响晶圆造成客户损失。
[0034]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。
【权利要求】
1.一种破裂检测机构，其特征在于，包括: 一转动件； 至少一传感器，该至少一传感器设置于该转动件上；以及 一第一驱动装置，该转动件连接于该第一驱动装置，该第一驱动装置能驱动该转动件转动。
2.如权利要求1所述的破裂检测机构，其中该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置能移入及移出一检测位置。
3.如权利要求2所述的破裂检测机构，其中进一步包括一第二驱动装置，该第一驱动装置连接于该第二驱动装置，通过该第二驱动装置驱动该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置移入及移出该检测位置。
4.如权利要求3所述的破裂检测机构，其中该第二驱动装置为气缸或马达。
5.如权利要求1所述的破裂检测机构，其中该至少一传感器为非接触式传感器。
6.如权利要求1所述的破裂检测机构，其中该第一驱动装置为气缸或马达。
7.一种破裂检测机构，其特征在于，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆之间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括: 一转动件； 至少一传感器，该至少一传感器设置于该转动件上； 一第一驱动装置，该转动件连接于该第一驱动装置，该第一驱动装置能驱动该转动件转动；以及 该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置能移入及移出该检测位置。
8.如权利要求7所述的破裂检测机构，其中进一步包括一第二驱动装置，该第一驱动装置连接于该第二驱动装置，通过该第二驱动装置驱动该转动件、该至少一传感器及该第一驱动装置移入及移出该检测位置。
9.如权利要求8所述的破裂检测机构，其中该第二驱动装置为气缸或马达。
10.如权利要求7所述的破裂检测机构，其中该至少一传感器为非接触式传感器。
11.如权利要求7所述的破裂检测机构，其中该第一驱动装置为气缸或马达。
【文档编号】G01N21/958GK204086159SQ201420468448
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年8月19日 优先权日:2014年8月19日
【发明者】刘文明, 陈薇云 申请人:弘塑科技股份有限公司