技术编号:6066847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种破裂检测机构,应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出,该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置,该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上,转动件连接于第一驱动装置,第一驱动装置能驱动转动件转动,转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置;由此,可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出,且可降低成本,并使检测功能提升。专利说明破裂检测机构 [0001]本实用新型在于提供一种破裂检测机构,尤指一种可应用于板材(如玻璃...
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