一种氦测盲板的制作方法
【专利摘要】一种氦测盲板，属于机械制造业【技术领域】。包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母，所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面，中心部位开有与螺纹圆柱配合的柱槽，所述柱槽内壁带有螺纹，垫片和螺母与螺纹圆柱配合连接。本实用新型既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件；而且还具有良好的通用性和密封性，有效地节省了氦测成本及氦测过程中的人力和时间。
【专利说明】_种氦测盲板
【技术领域】
[0001]本发明属于机械制造业【技术领域】，特别是涉及一种氦测盲板。适用于1C装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业的腔体氦测治具。
【背景技术】
[0002]目前1C装备制造行业中需要氦测的焊接腔体比较多，对于腔体上的一般孔而言，比较容易密封。但是对于孔尺寸在10-30mm范围且其周围无螺纹孔的小孔而言，氦测时盲板固定困难且其密封性差，容易影响腔体焊缝的检漏。鉴于上述情况，有必要设计一种既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件的氦测盲板。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，本发明的目的是提供一种氦测盲板，它既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件。
[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
[0005]本发明一种氦测盲板，包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母，所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面，中心部位开有与螺纹圆柱配合的中心螺纹孔，所述不规则圆形盲板带有中心螺纹孔的端面开有容置密封圈的密封槽，氦测时，螺纹圆柱一端与不规则圆形盲板连接，另一端穿过待测腔体孔，通过所述垫片和螺母与螺纹圆柱配合连接。
[0006]进一步地，所述螺纹圆柱的侧壁两对称部位为平面，圆弧面侧壁上带有螺纹。
[0007]进一步地，所述螺纹圆柱伸出待测腔体孔的长度20_30mm。
[0008]进一步地，所述垫片与螺母的外径均大于待测腔体孔的孔径5-10mm。
[0009]本发明的有益效果是:
[0010]1.本发明各个部分都可以避免与其接触的零件受到损伤。其中用于放置密封圈的盲板，盲板两侧的平面有利于工具紧锁，保证了氦测时腔体内所需要的密封性。其螺纹圆柱侧壁的两个对称平面，在锁紧时方便使用工具进行锁紧，并且可以保证锁紧时，不规则圆形盲板和螺纹圆柱固定而仅仅使螺母转动，从而避免不规则圆形盲板在转动时导致密封圈与零件发生摩擦。塑料垫片可以防止在锁紧盲板与螺母时损伤零件。
[0011]2.本发明既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件；而且还具有良好的通用性和密封性，有效地节省了氦测成本及氦测过程中的人力和时间。本发明尤其适用于大型腔体上尺寸为10_30mm的小孔。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本发明组合使用结构示意图。
[0013]图2为图1中盲板结构示意图。
[0014]图3为图1中螺纹圆柱结构示意图。
[0015]图中:1.盲板，2.螺纹圆柱，3.垫片，4.螺母，5.密封槽，6.平面I，7.平面II，8.中心螺纹孔。
【具体实施方式】
[0016]下面结合实施例对本发明进行详细描述。
[0017]实施例:本发明包括不规则圆形盲板1、螺纹圆柱2、塑料垫片3和螺母4，所述不规则圆形盲板1的圆形侧壁两对称部位为平面I，中心部位开有与螺纹圆柱配合的柱槽5，所述柱槽5内壁带有螺纹，垫片3和螺母4与螺纹圆柱2配合连接。
[0018]所述螺纹圆柱2的侧壁两对称部位为平面II，圆弧面侧壁上带有螺纹。
[0019]在氦测时，首先将螺纹圆柱2的一侧端口旋入不规则圆形盲板1的中心螺纹中，并通过扳手紧固二者；然后，将洁净的密封圈置于不规则圆形盲板1的密封槽5中，并将螺纹圆柱2的另一侧端口插入零件氦测腔体孔中，此时，注意要使盲板1密封槽5内的密封圈均匀地贴合在腔体孔外壁上，且螺纹圆柱2伸出待测腔体孔的长度20-30mm，这样方便使用工具进行锁紧；最后，将与螺纹圆柱2螺纹匹配的垫片3和螺母4从螺纹圆柱2伸出端锁紧。在锁紧时可先采用扳手固定螺纹圆柱2，然后锁紧螺母4即可。所述垫片3与螺母4的外径均大于待测腔体孔的孔径5-10mm。
【权利要求】
1.一种氦测盲板，其特征在于:包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母，所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面，中心部位开有与螺纹圆柱配合的中心螺纹孔，所述不规则圆形盲板带有中心螺纹孔的端面开有容置密封圈的密封槽，氦测时，螺纹圆柱一端与不规则圆形盲板连接，另一端穿过待测腔体孔，通过所述垫片和螺母与螺纹圆柱配合连接。
2.按照权利要求1所述的氦测盲板，其特征在于:所述螺纹圆柱的侧壁两对称部位为平面，圆弧面侧壁上带有螺纹。
3.按照权利要求1所述的氦测盲板，其特征在于:所述螺纹圆柱伸出待测腔体孔的长度 20_30mm。
4.按照权利要求1所述的氦测盲板，其特征在于:所述垫片与螺母的外径均大于待测腔体孔的孔径5-10mmo
【文档编号】G01M3/20GK204228353SQ201420790915
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年12月12日 优先权日:2014年12月12日
【发明者】安朋娜 申请人:沈阳富创精密设备有限公司