本发明涉及CCD检测设备技术领域，具体为一种真空防回油结构。
背景技术：
CCD检测设备引用领域比较广泛，其可以将被摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号，在CCD检测设备中需要用到真空光室，对真空光室进行抽真空时要使用真空泵，实际操作中经常会出现真空泵中有油会计入真空室中，影响检测环境和检测结果。
技术实现要素：
为了解决上述问题，本发明提供了一种真空防回油结构，其结构简单，能够有效防止真空泵中的油进入真空室，保证可靠的检测环境和检测结果。
其技术方案是这样的：一种真空防回油结构，其特征在于，其包括真空滤油装置，所述真空滤油装置一端通过左侧卡箍连接挡板阀一端，所述挡板阀另一端连接真空光室，所述真空滤油装置另一端通过右侧卡箍连接中间连接管一端，所述中间连接管另一端连接真空泵的液插阀，所述真空滤油装置包括中空的金属管，所述金属管内安装有过滤网。
其进一步特征在于，所述真空滤油装置两端、挡板阀一端、中间连接管一端均设置有配合的法兰盘，所述左侧卡箍与所述右侧卡箍紧固所述法兰盘。
采用本发明的结构后，由于设置有真空滤油装置和挡板阀，使用多级隔离的真空防返油，保证了真空光室与真空泵的完全隔离，有效防止了真空泵中的油进入真空室，使得CCD检测时有可靠的检测环境和检测结果。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
具体实施方式
见图1所示，一种真空防回油结构，其包括真空滤油装置1，真空滤油装置1一端通过左侧卡箍2连接挡板阀3一端，挡板阀3另一端连接真空光室4，真空滤油装置1另一端通过右侧卡箍5连接中间连接管6一端，中间连接管6另一端连接真空泵7的液插阀8，真空滤油装置1包括中空的金属管，金属管内安装有过滤网；真空滤油装置1两端、挡板阀3一端、中间连接管6一端均设置有配合的法兰盘9，左侧卡箍2与右侧卡箍5紧固法兰盘9。