用于计量应用的测量探测单元的制作方法

文档序号:12286731阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种用于与定位器(300)的探头(200)连接的尺寸测量探测单元(100),包括:测量探测器(150),用于物体(400)的尺寸测量;旋转接头(170),一体形成到测量探测器(150)中;以及探测单元接口(120),用于反复能拆卸地连接至探头(200),其中,探测单元接口(120)由旋转接头(170)旋转地连接至测量探测器(150)。

技术研发人员:弗兰克·蒂斯;汉斯·蒂勒曼斯;拉夫·尼森;劳伦斯·范·霍伦比克
受保护的技术使用者:尼康计量公司
文档号码:201580018629
技术研发日:2015.04.08
技术公布日:2017.02.22

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