技术总结
本发明提供一种电容式惯性传感器数字伺服电路，包括电容式传感器、读出放大电路，模数转换器(ADC)，数字环路滤波器，多位量化器和脉冲宽度调制发生器。所述电容式传感器、读出放大电路，模数转换器(ADC)，数字环路滤波器，多位量化器和脉冲宽度调制发生器依次连接并构成回路。该电容式惯性传感器数字伺服电路采用数字环路滤波器，具有高的灵活性和精确性；采用多位量化器，实现多位量化，具有小的量化噪声、高线性度和高负载比；采用脉冲宽度调制发生器，产生差分的力反馈控制信号，来实现多位力反馈控制，可以大大的减小普通多位数模转换器(DAC)引入的非线性，并且提高对共模噪声的抑制能力。
技术研发人员：熊兴崟;李宗伟;韩可都;薛旭;杨长春;丛宁
受保护的技术使用者：中国科学院地质与地球物理研究所
技术研发日：2016.02.25
技术公布日：2018.09.14