一种电容式惯性传感器数字伺服电路的制作方法

文档序号:15423902发布日期:2018-09-14 20:29阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种电容式惯性传感器数字伺服电路,包括电容式传感器、读出放大电路,模数转换器(ADC),数字环路滤波器,多位量化器和脉冲宽度调制发生器。所述电容式传感器、读出放大电路,模数转换器(ADC),数字环路滤波器,多位量化器和脉冲宽度调制发生器依次连接并构成回路。该电容式惯性传感器数字伺服电路采用数字环路滤波器,具有高的灵活性和精确性;采用多位量化器,实现多位量化,具有小的量化噪声、高线性度和高负载比;采用脉冲宽度调制发生器,产生差分的力反馈控制信号,来实现多位力反馈控制,可以大大的减小普通多位数模转换器(DAC)引入的非线性,并且提高对共模噪声的抑制能力。

技术研发人员:熊兴崟;李宗伟;韩可都;薛旭;杨长春;丛宁
受保护的技术使用者:中国科学院地质与地球物理研究所
技术研发日:2016.02.25
技术公布日:2018.09.14

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