气体浓度分析装置以及气体浓度分析方法与流程

文档序号:13176467阅读:202来源:国知局
技术领域本发明涉及一种气体浓度分析装置以及气体浓度分析方法。本申请基于2015年4月14日在日本申请的特愿2015-082361号主张优先权,在此引用其内容。

背景技术:
下面引用专利、专利申请、专利公报、科学文献等。为了更充分地说明本发明的现有技术,在此引用它们的内容。作为乙烯(C2H4),在被称为乙烯装置(ethyleneplant)的生产设备中,使以石脑油为主的碳氢化合物与水蒸气混合且以800℃~900℃左右的高温进行热分解,并对热分解气体进行蒸馏分离从而生产的。热分解气体中含有作为杂质的甲烷(CH4)及乙烷(C2H6),因此在精制工序的中途进行从热分解气体将甲烷及乙烷去除的工序。但是,难以从热分解气体将甲烷及乙烷完全去除,因此作为最终产品的乙烯中含有微量的甲烷及乙烷。因此,在乙烯装置,进行对生产的乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的测定。当前,使用气相色谱仪进行乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的测定。通过使用气相色谱仪而能够以高精度对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。然而,气相色谱仪为了测定而需要较长时间,并且需要使用用于使测定对象气体移动的载气(例如氦气、氢气等),因此存在成本升高的缺点。日本特开2009-115654号公报(下面称为专利文献1)并未涉及乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的测定,其公开了如下内容,即,基于对含有碳氢化合物的测定对象气体照射的光的吸光度,对测定对象气体中所含有的单个或者多个化学物种中的、将共通的吸收区域的波长范围的光吸收的化学物种的浓度之和进行计算。另外,“激光气体分析仪TDLS200及其在工业工艺中的应用(レーザガス分析計TDLS200とその産業プロセスへの応用)”,横河技报,Vol.53,No.2,2010(下面称为非专利文献1)中公开了如下激光气体分析仪,该激光气体分析仪对测定对象气体照射激光,基于从测定对象气体透过的激光的吸收光谱,对测定对象气体中所含有的成分及其浓度等进行测定。但是,在专利文献1公开的技术中,即使测定对象气体如发动机等的排气是碳氢化合物的浓度及其组成发生变化的气体,也能够实时且以高精度对测定对象气体中所含有的碳氢化合物的浓度进行测定。然而,专利文献1公开的技术对化学物种的浓度之和(例如,烷烃及烯烃的浓度之和)进行检测,因此无法分别单独地对乙烯中所含有的微量的甲烷和乙烷进行测定。可以认为在非专利文献1公开的激光气体分析仪中能够分别单独地对乙烯中所含有的微量的甲烷和乙烷进行测定。然而,对于非专利文献1公开的激光气体分析仪而言,能够使波长变化的范围在某种程度上受到限制。因此,为了分别单独地对乙烯中所含有的微量的甲烷和乙烷进行测定,需要甲烷测定用的光源及受光元件、和乙烷测定用的光源及受光元件,有可能导致成本的上升。为了不导致成本上升而对乙烯中所含有的微量的甲烷和乙烷进行测定,例如需要尽量减小乙烯的吸光度、且斟酌选择甲烷及乙烷双方的吸光度大的适当的波长区域。

技术实现要素:
本发明提供一种气体浓度分析装置,其能够以高精度对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。气体浓度分析装置具备:发光模块,其对作为测定对象气体的乙烯气体照射激光;受光模块,其对从所述测定对象气体透过的激光进行受光并将受光信号输出;以及运算控制部,其利用所述受光信号对所述激光的吸收光谱进行计算,并基于所述吸收光谱而对所述测定对象气体即乙烯气体中所含有的甲烷及乙烷进行计算,对所述测定对象气体照射的所述激光,是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等3.71μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的所述激光,可以是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.50μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的所述激光,可以是波长包含在大于或等于3.439μm且小于或等于3.442μm、或者大于或等于3.451μm且小于或等于3.455μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的所述激光,可以是相对于甲烷或者乙烷的吸收峰值的光谱线宽为等同程度或者小于该吸收峰值的光谱线宽的光谱线宽的激光。所述气体浓度分析装置可以具备波长可变光源,该波长可变光源能够使对所述测定对象气体照射的所述激光的波长在所述波长区域内变化。所述气体浓度分析装置可以仅具备1个所述波长可变光源,利用从所述波长可变光源射出的所述激光而同时对所述测定对象气体即所述乙烯中所含有的所述甲烷及所述乙烷进行测定。所述波长可变光源可以是QCL(QuantumCascadeLaser)、或者ICL(InterbandCascadeLaser)。气体浓度分析方法具备如下步骤:对作为测定对象气体的乙烯气体照射激光的步骤;对从所述测定对象气体透过的激光进行受光并将受光信号输出的步骤;利用所述受光信号对所述激光的吸收光谱进行计算的步骤;以及基于所述吸收光谱而对所述测定对象气体即乙烯气体中所含有的甲烷及乙烷进行计算的步骤,对所述测定对象气体照射的所述激光,是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.71μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的激光可以是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.50μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的所述激光,可以是波长包含在大于或等于3.439μm且小于或等于3.442μm、或者大于或等于3.451μm且小于或等于3.455μm的波长区域内的光。对所述测定对象气体照射的所述激光,可以是相对于甲烷或者乙烷的吸收峰值的光谱线宽为等同程度或者小于该吸收峰值的光谱线宽的光谱线宽的激光。可以利用波长可变光源而使对所述测定对象气体照射的所述激光的波长在所述波长区域内变化。可以利用从所述波长可变光源射出的所述激光而同时对所述乙烯中所含有的所述甲烷及所述乙烷进行计算。所述波长可变光源可以是QCL(QuantumCascadeLaser)、或者ICL(InterbandCascadeLaser)。根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置是对测定对象气体(X)照射光(L),并基于该光的吸光度而对所述测定对象气体的浓度进行测定的气体浓度分析装置(1),其特征在于,所述测定对象气体是含有微量的甲烷及乙烷的乙烯,对所述测定对象气体照射的光是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.71μm的波长区域(R1)内的光。另外,根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置的特征在于,对所述测定对象气体照射的光是波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.50μm的波长区域(R2)内的光。另外,根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置的特征在于,对所述测定对象气体照射的光是波长包含在大于或等于3.439μm且小于或等于3.442μm、或者大于或等于3.451μm且小于或等于3.455μm的波长区域(R3、R4)内的光。另外,根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置的特征在于,对所述测定对象气体照射的所述激光,是相对于甲烷或者乙烷的吸收峰值的光谱线宽为等同程度或者小于该吸收峰值的光谱线宽的光谱线宽的激光。另外,根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置的特征在于,具备波长可变光源,该波长可变光源能够使对所述测定对象气体照射的光的波长在所述波长区域内变化。另外,根据本发明的1个方式,气体浓度分析装置的特征在于,仅具备1个所述波长可变光源,利用从所述波长可变光源射出的所述激光而同时对所述测定对象气体即所述乙烯中所含有的所述甲烷及所述乙烷进行测定。根据本发明的各方式,对测定对象气体X(含有微量的乙烷及甲烷的乙烯)照射波长包含在大于或等于3.42μm且小于或等于3.71μm的波长区域(波长区域R1)内的光,并基于照射的光的吸光度而对测定对象气体X的浓度进行测定,因此具有如下效果,即,能够以高精度对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。附图说明本申请中随附并参照的附图构成发明的公开内容的一部分。图1是表示适合于微量的甲烷的检测的候补波长区域即7.3~8.6μm的吸收光谱的图。图2是表示适合于微量的乙烷的检测的候补波长区域之一即6.5μm波段的吸收光谱的图。图3是表示适合于微量的乙烷的检测的另1个候补波长区域即3.4μm波段的吸收光谱的图。图4是表示委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的图。图5A是委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的放大图。图5B是委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的放大图。图6是委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的放大图。图7是将图6中的横轴放大的图。图8是表示本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置的要部结构的框图。图9是表示本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置的电结构的框图。具体实施方式下面,参照附图对本发明的实施方式进行说明。在下面对本发明的实施方式的说明中,简单且具体地对随附的技术方案中规定的发明及其等同发明进行说明,对于本领域技术人员而言,基于本公开内容明显可知其目的并非对本发明进行限定。下面,参照附图对本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置进行详细说明。本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置能够分别单独地对乙烯中所含有的微量的甲烷和乙烷进行测定。在这种气体浓度分析装置中,为了不导致成本上升而对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定,例如尽量减小乙烯的吸光度、且斟酌选择甲烷及乙烷双方的吸光度大的适当的波长区域是极其重要的。因此,下面,在对气体浓度分析装置的装置结构进行说明之前,对气体浓度分析装置中所使用的光的波长进行说明。[气体浓度分析装置中所使用的光的波长]本申请的发明人利用从已有的数据库(收容有表示各种气体的吸收光谱的数据的数据库)获得的数据,对乙烯、甲烷以及乙烷的吸光度进行了详细的研究。从已有的数据库获得表示高纯度(接近100%的纯度(例如,99.5%左右的纯度))的乙烯、甲烷以及乙烷的吸光度的数据。根据这些数据,甲烷的吸光度相对于乙烯的吸光度变大的波长区域为7.3~8.6μm的波长区域。另外,乙烷的吸光度相对于乙烯的吸光度变大的波长区域为3.4μm波段、或者6.5μm波段。作为适合于乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的测定的波长区域的候补(候补波长区域)而举出这些波长区域。图1~图3是表示适合于乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的测定的候补波长区域的吸收光谱的图。图1是表示适合于微量的甲烷的检测的候补波长区域即7.3~8.6μm的吸收光谱的图。图2是适合于微量的乙烷的检测的候补波长区域之一即6.5μm波段的吸收光谱的图。图3是适合于微量的乙烷的检测的另1个候补波长区域即3.4μm波段的吸收光谱的图。此外,图1~图3所示的吸收光谱通过对从上述已有的数据库获得的数据进行加工而制成。具体而言,通过与浓度相对应地使从已有的数据库获得的高纯度(接近100%的纯度)的甲烷及乙烷的数据的纵轴缩小、且使其与高纯度(接近100%的纯度)的乙烯的数据重合而制成。对于这样制成的吸收光谱,能够将其称为模仿纯度几乎为100%的乙烯中含有微量的乙烷(例如,500ppm左右)和微量的甲烷(例如,1500ppm左右)的测定对象气体的吸收光谱的吸收光谱。参照图1可知,存在如下波长,该波长使得甲烷的吸光度比乙烯的吸光度大、且使得甲烷的吸收光谱的形状变为特有的形状(例如,具有多个峰值的形状)。因此,可以认为如果使用图1所示的波长区域(7.3~8.6μm)的光,则能够进行乙烯中所含有的微量的甲烷的测定。另外,参照图2可知,存在如下波长,该波长使得乙烷的吸光度与图1所示的甲烷的吸光度相比更小,但却使得乙烷的吸光度比乙烯的吸光度大。因此,可以认为如果使用图2所示的波长区域(6.5μm波段)的光,则能够进行乙烯中所含有的乙烷的测定。据此可以认为,如果使用图1所示的波长区域(7.3~8.6μm)的光、和图2所示的波长区域(6.5μm波段)的光,则能够对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。但是,能够想到,在使用这些波长区域的情况下,需要将各波长区域的光射出的光源,因此会导致成本的上升。参照图3可知,存在如下波长,该波长使得甲烷的吸收光谱的形状变为特有的形状(例如,具有多个峰值的形状)、且使得乙烷的吸光度比乙烯的吸光度大并使得乙烷的吸收光谱的形状变为特有的形状。因此,还可以认为,如果能够使用图3所示的波长区域(3.4μm波段)的光,则存在能够不使用多个光源(不会导致成本上升)而对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的可能性。然而,参照图3可知甲烷的吸光度明显比乙烯的吸光度小,因此如果是本领域技术人员,自然地会想到无法使用图3所示的波长区域。这里,本申请的发明人委托外部机构进行纯度极高的乙烯(纯度为99.999%的乙烯)的3.4μm波段的吸收光谱的测定,并对其测定结果进行了检验。图4是表示委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的图。在图4中,由符号Q指代示出的波形是委托外部机构而获得的乙烯的吸收光谱。此外,在图4中,为了进行比较,使图3所示的乙烯及乙烷的吸收光谱重合而将它们示出。参照图4可知,委托外部机构而获得的乙烯的吸收光谱与图3所示的乙烯的吸收光谱不同,3.4μm波段(图中由虚线包围的波长区域)的吸光度整体变小。另外,参照图4还可知,委托外部机构而获得的乙烯的吸收光谱中存在使得吸光度大致变为零的波长。由此可知,3.4μm波段中有可能存在如下波长,该波长使得甲烷的吸光度比乙烯的吸光度大、且使得乙烷的吸光度比乙烯的吸光度大。因此,本申请的发明人进行了如下作业,即,具体选择适合于对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的波长区域。图5A、图5B、图6是委托外部机构而获得的乙烯的3.4μm波段的吸收光谱的放大图。此外,图5B是将图5A中的纵轴放大的图,图6是与图5A相同的图。另外,在图5A、图5B、图6中,使图3所示的甲烷及乙烷的吸收光谱重合而将它们示出。参照图5A、图5B,作为能够对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的波长区域(大体上包含使得甲烷及乙烷的吸光度比乙烯的吸光度大、且使得甲烷及乙烷的吸收光谱的形状变为特有的形状的波长的区域),能够举出3.42~3.71μm(图5A、图5B中为波长区域R1)。另外,参照图6,在图5A、图5B所示的波长区域R1中,作为使得乙烷的吸光度变大、且使得甲烷的吸收光谱的形状变为特有的形状并能够容易地进行甲烷及乙烷的测定的波长区域,能够举出3.42~3.50μm(图6中为波长区域R2)。图7是将图6中的横轴放大的图。如图7所示,在图6所示的波长区域R2中,作为适合于对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的波长区域,能够举出3.439~3.442μm(图7中为波长区域R3)、以及3.451~3.455μm(图7中为波长区域R4)。在这些波长区域R3、R4中,乙烷的吸光度当然比乙烯的吸光度大,甲烷的吸光度也变大、且甲烷的吸光度变为与乙烯的吸光度等同的程度(或者甲烷的吸光度比乙烯的吸光度大)。并且,甲烷及乙烷的吸收光谱的形状变为特有的形状。这样,作为能够对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的波长区域,本申请的发明人发现了3.42~3.71μm(图5A、图5B中的波长区域R1)。另外,在上述波长区域R1中,作为能够容易地进行乙烷的测定的波长区域,本申请的发明人发现了3.42~3.50μm(图6中的波长区域R2)。并且,在上述波长区域R3中,作为适合于对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定的波长区域,本申请的发明人发现了3.439~3.442μm(图7中的波长区域R3)、以及3.451~3.455μm(图7中的波长区域R4)。[气体浓度分析装置]图8是表示本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置的要部结构的框图。如图8所示,本实施方式的气体浓度分析装置1具备以隔着烟道(对测定对象气体X进行引导的管路P)的方式相对设置的发光部10及受光部20,对在管路P中流动的测定对象气体X照射激光,并基于从测定对象气体透过的激光的吸收光谱而对测定对象气体X中所含有的成分及其浓度等进行测定。该气体浓度分析装置1被称为激光气体分析仪。此外,将在管路P中流动的测定对象气体X设为含有微量的甲烷及乙烷的乙烯。发光部10安装于在管路P的侧壁形成的分支管路B1的固定凸缘F1,并射出对在管路P中流动的测定对象气体X照射的激光。该激光是具有图5A、图5B中的波长区域R1(3.42~3.71μm)内的波长的激光,优选为具有图6中的波长区域R2(3.42~3.50μm)内的波长的激光,更优选为具有图7中的波长区域R3(3.439~3.442μm)或者波长区域R4(3.451~3.455μm)内的波长的激光。从发光部10射出的激光的线宽(光谱线宽),是与波长区域R1~R4中的甲烷或者乙烷的吸收峰值的最小光谱线宽同等程度或者小于该最小光谱线宽的光谱线宽。另外,从发光部10射出的激光的波长在上述波长区域R1~R4内能够以规定的波长范围而变化。此外,从发光部10射出的激光经由分支管路B1的内部而被引导至管路P。发光部10由发光部主体10a以及光轴调整机构10b构成。发光部主体10a对射出的光的波长可变的半导体激光器等发光元件(波长可变光源:省略图示)、准直透镜等光学元件(省略图示)等进行收容,并射出对在管路P中流动的测定对象气体X照射的激光。光轴调整机构10b是用于对发光部10的光轴进行调整的机构。受光部20安装于在管路P的侧壁形成的分支管路B2(以与分支管路B1配置于同一直线上的方式形成的分支管路)的固定凸缘F2,对从在管路P中流动的测定对象气体X透过的激光进行受光并求出吸收光谱,基于该吸收光谱而对测定对象气体X中所含有的成分及其浓度等进行测定。具体而言,对作为测定对象气体X的乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的浓度进行测定。此外,从测定对象气体X透过的激光经由分支管路B2的内部而被引导至受光部20。受光部20由受光部主体20a以及光轴调整机构20b构成。受光部主体20a对聚光透镜等光学元件(省略图示)、光电二极管等受光元件(省略图示)等进行收容,对从测定对象气体X透过的激光进行受光,并对测定对象气体X中所含有的成分及其浓度等进行测定。另外,在该受光部主体20a设置有对测定对象气体X的测定结果等进行显示的显示器D。光轴调整机构20b是用于对受光部20的光轴进行调整的机构。图9是表示本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置的电结构的框图。如图9所示,气体浓度分析装置1的发光部10具备发光模块11、输入部12以及控制部13。另外,在上述显示器D的基础上,气体浓度分析装置1的受光部20还具备受光模块21、运算控制部22、存储器23以及输出部24。发光模块11具备1个前述的波长可变的半导体激光器等发光元件(波长可变光源:省略图示),在控制部13的控制下,射出对在管路P中流动的测定对象气体X照射的激光L。具体而言,发光模块11射出如下激光,该激光是具有图5A~图7所示的波长区域R1~R4内的波长的激光,该激光的线宽(光谱线宽)相对于波长区域R1~R4中的甲烷或者乙烷的吸收峰值的最小光谱线宽(0.2nm左右)为等同程度或者小于该最小光谱线宽、例如为0.2nm左右的线宽。作为上述半导体激光器,例如能够使用QCL(QuantumCascadeLaser)、或者ICL(InterbandCascadeLaser)。在使用QCL的情况下,能够射出0.001nm左右的光谱线宽的激光。从发光模块11射出的激光的波长在上述波长区域R1~R4内能够以规定的波长范围而变化。输入部12经由线缆CB而与设置于受光部20的输出部24连接,将从输出部24输出的透过率信号(表示激光L的透过率的信号)输入并输出至控制部13。控制部13对发光模块11进行控制,使其射出对测定对象气体X照射的激光L。具体而言,控制部13基于在设置于发光模块11的发光元件流动的电流的检测结果、或者从发光模块11射出的激光L的检测结果,对发光模块11进行控制以使激光L的强度变得恒定。另外,控制部13对发光模块11进行控制而使激光L的波长发生变化,对上述波长区域R1~R4内的规定的波长范围进行扫描。控制部13能够由CPU、FPGA等构成。受光模块21具备光电二极管等受光元件,将对激光L进行受光而获得的受光信号输出至运算控制部22。运算控制部22使用来自受光模块21的受光信号而求出激光L的吸收光谱,并基于该吸收光谱而对测定对象气体X中所含有的成分及其浓度、激光L的透过率、测定对象气体X的温度等进行测定。运算控制部22例如利用2f法或者光谱面积法而对测定对象气体X中所含有的成分的浓度进行测定。这里,上述2f法是指对测定对象气体X照射以频率f调制的激光L,并使用受光信号中所包含的2倍的频率成分(2f)的光谱的测定法。另外,光谱面积法是指对测定对象气体X的吸收光谱的1条吸收线的面积进行测定,并根据测定所得的面积而对浓度进行计算的测定方法。另外,运算控制部22对显示器D进行驱动控制,使显示器D对测定对象气体X的多个测定结果(测定对象气体X中所含有的成分及其浓度、激光L的透过率、测定对象气体X的温度等)进行显示。运算控制部22能够由CPU、FPGA等构成。存储器23是闪存ROM(ReadOnlyMemory)、EEPROM(ElectricallyErasableandProgrammableROM)等非易失性的存储器,对各种数据进行存储。例如,存储器23对运算控制部22在计算测定对象气体X中含有的成分及其浓度时所使用的数据(例如,表示某个波长区域内的乙烯、甲烷、乙烷的吸收光谱的数据)进行存储。输出部24经由线缆CB而与发光部10的输入部12连接,将表示利用运算控制部22而求出的激光L的透过率的透过率信号输出。该透过率信号是数字信号,不受到噪声的影响地经由线缆CB被传送至发光部10。接下来,简单地对上述结构的气体浓度分析装置1的测定时的动作进行说明。如果开始进行测定,则首先利用控制部13对发光模块11进行控制,开始进行激光L的发光。于是,从发光模块11射出具有图5A~图7所示的波长区域R1~R4内的波长、且线宽(光谱线宽)为0.2nm左右的激光L。从发光模块11射出的激光L经由分支管路B1(参照图8)的内部而被引导至管路P。在引导至管路P的激光L中,从在管路P中流动的测定对象气体X透过的激光L在经由分支管路B2(参照图8)之后被引导至受光部20并由受光模块21进行受光。如果激光L由受光模块21进行受光,则将其受光信号输出至运算控制部22。另外,如果开始进行激光L的发光,则利用控制部13对发光模块11进行控制,以使激光L的波长发生变化(以对上述波长区域R1~R4内的规定的波长范围进行扫描)。此外,即使激光L的波长发生变化,激光L的线宽(光谱线宽)也被维持为0.2nm左右。波长发生变化的激光L也被引导至管路P,在从在管路P中流动的测定对象气体X透过之后,该激光L被引导至受光部20并由受光模块21进行受光。如果激光L由受光模块21进行受光,则其受光信号被输出至运算控制部22。每当激光L的波长发生变化时,都进行与上述动作相同的动作,由此获得表示与波长相对应的受光信号的强度变化的吸收光谱。如果获得吸收光谱,则由运算控制部22进行利用前述的2f法或者光谱面积法而对测定对象气体X中所含有的成分的浓度进行测定的处理。具体而言,进行同时对作为测定对象气体X的乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的浓度进行测定的处理。如果该处理完毕,则将乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷的浓度显示于显示器D。如上所述,在本实施方式中,针对测定对象气体X(含有微量的乙烷及甲烷的乙烯)照射波长区域R1(3.42~3.71μm)的光,基于从测定对象气体X透过的激光L的吸光度而对测定对象气体X的浓度进行测定。在波长区域R1中,乙烯的吸光度较小、且甲烷及乙烷的吸光度较高,因此能够以高精度对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。这里,在上述波长区域R1所包含的波长区域R2(3.42~3.50μm)中,乙烷的吸光度较大、且甲烷的吸收光谱的形状变为特有的形状,因此只要使用波长区域R2的光,就能够容易地进行甲烷及乙烷的测定。另外,在上述波长区域R2所包含的波长区域R3(3.439~3.442μm)或者波长区域R4(3.451~3.455μm)中,乙烷的吸光度当然比乙烯的吸光度大,甲烷的吸光度较大、且甲烷的吸光度相对于乙烯的吸光度为等同程度(或者甲烷的吸光度比乙烯的吸光度大)。并且,甲烷及乙烷的吸收光谱的形状变为特有的形状。因此,只要使用波长区域R3或者波长区域R4的光,就能够以更高的精度对乙烯中所含有的微量的甲烷及乙烷进行测定。另外,在本实施方式中,通过使用上述波长区域R1的光,能够共享甲烷测定用的光源及受光元件、和乙烷测定用的光源及受光元件。即,无需分别单独设置甲烷测定用的光源及受光元件、和乙烷测定用的光源及受光元件。因此,能够不导致成本上升而对乙烯中所含有的微量的烷及乙烷进行测定。以上对本发明的一个实施方式所涉及的气体浓度分析装置进行了说明,但本发明并未受到上述实施方式的限制,能够在本发明的范围内自由地变更。例如,在上述实施方式中,作为气体浓度分析装置1而举出激光气体分析仪为例,但本发明的气体浓度分析装置并不局限于激光气体分析仪。除激光气体分析仪以外,本发明的气体浓度分析装置例如可以是使用FT-IR(傅里叶变换红外分光光度计)的气体浓度分析装置、采用使用了滤光器的分光器的气体浓度分析装置、采用使用了光栅的分光器的气体浓度分析装置等任意气体浓度分析装置。在本说明书中,“前、后、上、下、右、左、垂直、水平、下、横、行及列”等表示方向的词语是指本发明的装置的这些方向。因此,本发明的说明书中的这些词语应当在本发明的装置中进行相对的解释。“构成”这一词语为了表示包含为了执行功能而构成的硬件及编程后的软件在内的设备的结构、要素、部分而使用。并且,技术方案中表述为“方法加功能”的词语,应当包含能够用于执行本发明所具有的功能的所有构造。“部”这一用语为了记述构成为执行所需的功能/编程后的硬件及软件的构件、部件或者零件而使用。作为该硬件的代表例而包含装置及电路,但并不限定于此。以上对本发明的优选实施方式进行了说明、举例论证,但这些实施方式毕竟是发明的示例,不应进行限定性的考虑,能够在不脱离本发明的范围的范围内进行追加、删除、置换以及其他变更。即,本发明并未由前述实施方式限定,而是由所附的权利要求书来限定。
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