光编码器的制作方法

文档序号:11577755阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种光编码器,包括照明源、沿测量轴线方向延伸的标尺光栅、光学部分、莫尔光栅和检测器部分。光学部分包括用于来自标尺光栅的标尺光的空间滤波的孔径部分。莫尔光栅构造成接收空间滤波标尺光,并朝向检测器部分输出空间调制条纹图案。光学部分输出空间调制标尺光以形成具有初级条纹间距PPF的初级干涉条纹图案。检测器部分包括至少N个相应检测器元件,它们定位成检测周期空间调制条纹图案的N个相应空间相位,其中N是至少为三的整数,每个相应检测器元件具有宽度尺寸DW,其沿条纹位移方向与初级条纹间距PPF至少一样大。

技术研发人员:Y.谢
受保护的技术使用者:株式会社三丰
技术研发日:2016.09.29
技术公布日:2017.08.11
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1