基于强度关联成像的透射式微视觉系统的制作方法

文档序号:11486137阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于强度关联成像的透射式微视觉系统,其特征在于,所述透射式微视觉系统包括:作为激光发射装置的激光光源和作为激光接收装置的CCD相机;

位于所述激光光源和所述CCD相机之间的光路上依次设置有第一光阑、激光扩束镜、第二光阑、起偏器、空间光调制器、检偏器、第三光阑、投影透镜、精密控制载物台、会聚透镜,

所述透射式微视觉系统还包括计算机,所述计算机分别与所述精密控制载物台、所述空间光调制器与所述CCD相机连接,所述计算机通过强度关联成像技术和压缩感知算法获取高分辨率图像。

2.根据权利要求1所述的基于强度关联成像的透射式微视觉系统,其特征在于,

所述精密控制载物台用于放置被测物体,所述精密控制载物台的高度及水平位置可调节,确保被测物体的目标区域完全被激光束覆盖。

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