本申请的实施方式涉及以非接触方式对测量对象的厚度进行测量的测量装置。
背景技术：
已知有如下的测量装置，其使测量对象在对置地设置有一对测距仪的框状的框架中穿过。这样的测量装置通过从预先测量到的一对测距仪之间的距离中减去测量出的从各测距仪至测量对象的距离，由此导出对象物的厚度。
在该测量装置中使用的框架具有固定一对测距仪的上框及下框、以及将该上框及下框连接的支柱。支柱设置于上框及下框的一端或者两端。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2004－174010号公报
技术实现要素：
发明所要解决的课题
本申请所要解决的课题在于提供即使支柱的长度因热而变动也能够以高精度测量对象物的厚度的测量装置。
用于解决课题的手段
根据实施方式，测量装置具有基部、一对测距仪及辅助部件。基部具有下框、与所述下框对置地设置的上框、以及将所述下框及所述上框连结的支柱。一对测距仪分别设置于所述下框及所述上框，以能够使测量对象穿过的间隙相互对置地配置。辅助部件设置于所述基部，由具有与所述支柱不同的线性膨胀系数的材料构成，该辅助部件在所述一对测距仪对置的方向上具有使得因热而在所述一对测距仪对置的方向上膨胀的膨胀量与所述支柱的膨胀量相同的长度。
附图说明
图1为表示第1实施方式的测量装置的构成的说明图。
图2为表示第2实施方式的测量装置的构成的说明图。
图3为表示第3实施方式的测量装置的构成的说明图。
图4为表示第4实施方式的测量装置的构成的说明图。
图5为表示第5实施方式的测量装置的构成的说明图。
图6为表示第6实施方式的测量装置的构成的说明图。
具体实施方式
(第1实施方式)
以下，使用图1说明第1实施方式的测量装置1。
图1为表示第1实施方式的测量装置1的构成的说明图。
测量装置1具备供测量对象100穿过的框状的基部11；设置于基部11、相互对置地配置的一对测距仪12；设置于基部11与一方的测距仪12之间的辅助部件13；对一对测距仪12的间隙的距离进行计量的校正装置14；以及经由信号线99分别与一对测距仪12及校正装置14连接的控制部15。
这里，测量对象100例如是在一方向上较长的板状的金属板等。测量对象100例如在进行了热处理后，由测量装置1测量厚度。
基部11具备下框21、设置于下框21的一个侧面或者一对侧面的一个或者一对支柱22、以及设置于支柱22上的上框23。基部11构成为在正视时呈方形框状或者c字状。在本实施方式中，采用基部11具有一对支柱22的方形框状的结构于以下进行说明。
例如，基部11的下框21的下表面及支柱22的下表面固定于设置面200。设置面200例如是设置测量装置1的工厂等的地板面等。
下框21构成为方形板状。在下框21中，设置支柱22的一对侧面间的长度构成为比测量对象100的宽度方向的长度长。
支柱22构成为方形的板状或者棒状。支柱22在一对测距仪12对置的方向上的长度构成为能够使测量对象100穿过一对测距仪12的间隙的长度、且为使各测距仪12与测量对象100分离的长度。支柱22在下端的侧面固定下框21，在上端的侧面固定上框23。即，支柱22将下框21与上框23连结。
上框23构成为方形板状。上框23例如以与下框21大致相同的形状与下框21对置地构成。上框23在其下表面固定有辅助部件13。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于下框21的上表面，另一方固定于辅助部件13的下表面。对置的一对测距仪12的间隙构成为能够使测量对象100穿过的长度。一对测距仪12构成为能够分别测量与穿过的测量对象100之间的距离。一对测距仪12经由信号线99向控制部15发送测量出的信息。
辅助部件13例如构成为方形板状或者块状。辅助部件13的相对的主面的一方固定于上框23的下表面，在该主面的另一方固定有测距仪12。换言之，一对测距仪12的另一方与一对测距仪12的一方对置，且分离规定的距离量，自身(即一对测距仪12的另一方)与上框23之间隔有辅助部件13地被固定于上框23。
辅助部件13由具有与支柱22的线性膨胀系数不同的线性膨胀系数的材料、具体而言具有比支柱22的线性膨胀系数高的线性膨胀系数的材料构成。另外，辅助部件13在一对测距仪12对置的方向上的长度，具有成为与因热而在一对测距仪12对置的方向上膨胀的支柱22的膨胀量相同的膨胀量的长度。这里，一对测距仪12对置的方向为上下方向、即高度方向。
以下，具体地对支柱22及辅助部件13的材料及长度进行说明。如图1所示，将支柱22的上下方向的长度设为l1，将辅助部件13的上下方向的长度设为l2。将支柱22的材料设为线性膨胀系数为m1的第1材料，将辅助部件13的材料设为具有比线性膨胀系数m1大的线性膨胀系数m2(m1＜m2)的第2材料。此时，辅助部件13的长度l2构成为l2＝l1/(m2/m1)。
例如，在将支柱22的材料设为铁材料、将辅助部件13设为铝材料的情况下，由于铝材料的线性膨胀系数为铁材料的线性膨胀系数的约2倍，因此辅助部件13的上下方向的长度l2构成为l2＝l1/2。通过设为这样的构成，支柱22及辅助部件13的因热导致的膨胀量成为大致相同。
校正装置14构成为能够测量一对测距仪12间的距离、换言之一对测距仪12的间隙的长度。校正装置14经由信号线99向控制部15发送测量出的信息。
控制部15构成为能够根据由校正装置14测量出的一对测距仪12间的距离与通过一对测距仪12分别测量出的至测量对象100为止的距离之差，导出测量对象100的厚度。
接下来，对使用这样构成的测量装置1的测量对象100的测量进行说明。
首先，例如在利用测量装置1测量通过热处理加热了的测量对象100的情况下，利用输送机等输送装置使测量对象100穿过一对测距仪12间。此外，关于使测量对象100穿过的位置，只要各测距仪12与测量对象100分离即可，不特别限定。
测量对象100在穿过基部11时，由于测量对象100的热，使基部11及辅助部件13被加热，支柱22及辅助部件13在上下方向上膨胀。由于基部11的下框21及支柱22固定于设置面200，因此支柱22向上方向膨胀。另外，固定有辅助部件13的上框23固定于支柱22，因此辅助部件13相对于上框23向下方向膨胀。
另外，支柱22及辅助部件13虽然具有不同的线性膨胀系数，但各自的长度设定为成为相同的＝膨胀量的l1、l2，因此支柱22及辅助部件13以相同的膨胀量分别向上下方向膨胀。结果，由于辅助部件13的膨胀，固定在辅助部件13的测距仪12向下方移动与支柱22的膨胀量相同的量，一对测距仪12的间隙被保持为恒定。
一对测距仪12分别测定与穿过的测量对象100之间的距离，并向控制部15发送测量出的信息。控制部15根据由校正装置14检测出的一对测距仪12之间的距离、与接收到的从各测距仪12至测量对象100的距离的和之差，导出测量对象100的厚度。此外，例如，校正装置14在测量对象100的测量前，预先测量一对测距仪12之间的距离，并向控制部15发送信息。在测量对象100的输送方向的一部分或者全部位置进行这些测量，从而对测量对象100的厚度进行测量。
根据这样构成的第1实施方式的测量装置1，通过在一对测距仪12对置的方向上，将支柱22及辅助部件13的因热导致的膨胀量设为相同，从而能够利用固定有测距仪12的辅助部件13的膨胀抵消支柱22的膨胀，使一对测距仪12的间隙恒定。由此，测量装置1能够利用一对测距仪12高精度地对测量对象100进行测量。
如上所述，根据第1实施方式的测量装置1，即使支柱22的长度因热而变动，也能够以高精度对测量对象100的厚度进行测量。
(第2实施方式)
接下来，使用图2对第2实施方式的测量装置1a进行说明。
图2为表示第2实施方式的测量装置1a的构成的说明图。此外，在第2实施方式的测量装置1a中，对于与上述的第1实施方式的测量装置1相同的构成赋予相同的附图标记，并省略其详细的说明。
测量装置1a具备供测量对象100穿过的框状的基部11a、设置于基部11a并相互对置地配置的一对测距仪12、校正装置14、以及控制部15。
基部11a具备下框21、设置于下框21的一个侧面或者一对侧面的一个或者一对支柱22、设置于支柱22的辅助部件13a、以及设置于辅助部件13a的上框23。基部11a构成为在正视时呈方形框状或者c字状。在本实施方式中，采用基部11a具有一对支柱22的方形框状的结构，于以下进行说明。
辅助部件13a例如构成为板状。辅助部件13a的上端与支柱22的上端固定，下端与上框23固定。此外，例如辅助部件13a利用固定部31使上端面与支柱22的上端面固定，与上框23对置的主面的下端与上框23的侧面固定。固定部31例如是能够通过板材及螺栓等进行机械式固定的部件或能够通过焊接部等进行机械式固定的部件。
辅助部件13a由具有与支柱22的线性膨胀系数不同的线性膨胀系数的材料、具体而言由具有比支柱22的线性膨胀系数高的线性膨胀系数的材料构成。另外，辅助部件13a在一对测距仪12对置的方向上的长度，具有成为与因热而在一对测距仪12对置的方向上膨胀的支柱22的膨胀量相同的膨胀量的长度。这里，一对测距仪12对置的方向为上下方向、即高度方向。
以下，具体地对支柱22及辅助部件13a的材料及长度进行说明。如图2所示，将支柱22的上下方向的长度设为l1，将辅助部件13a的上下方向的长度设为l2。将支柱22的材料设为线性膨胀系数为m1的第1材料，将辅助部件13的材料设为具有比线性膨胀系数m1大的线性膨胀系数m2(m1＜m2)的第2材料。此时，辅助部件13的长度l2构成为l2＝l1/(m2/m1)。
例如，在将支柱22的材料设为铁材料、将辅助部件13设为铝材料的情况下，由于铝材料的线性膨胀系数为铁材料的线性膨胀系数的约2倍，因此辅助部件13a的上下方向的长度l2构成为l2＝l1/2。通过设为这样的构成，支柱22及辅助部件13a的因热导致的膨胀量大致成为相同。
上框23构成为方形板状。上框23例如构成为比下框21小辅助部件13a的厚度的量。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于下框21的上表面，另一方固定于上框23。
这样构成的测量装置1a与上述的测量装置1同样地，能够将一对测距仪12之间的间隙保持为恒定。具体而言，若由于测量对象100的热，基部11a被加热，支柱22及辅助部件13a在上下方向上膨胀的话，则由于基部11a的下框21及支柱22固定于设置面200，因此支柱22向上方向膨胀。另外，辅助部件13a由于固定于支柱22，因此从固定部31向下方向膨胀。
另外，支柱22及辅助部件13a虽然具有不同的线性膨胀系数，但各自的长度设定为成为相同的膨胀量的l1、l2，因此支柱22及辅助部件13a以相同的膨胀量分别向上下方向膨胀。结果，通过辅助部件13a的膨胀，固定于辅助部件13a的上框23及固定于上框23的测距仪12向下方移动与支柱22的膨胀量相同的量，一对测距仪12的间隙被保持为恒定。
根据这样构成的第2实施方式的测量装置1a，在一对测距仪12对置的方向上，能够将支柱22及辅助部件13a的因热导致的膨胀量设为相同。由此，测量装置1a通过固定有设置了测距仪12的上框23的辅助部件13a的下方向的膨胀，抵消支柱22的上方向的膨胀，能够将一对测距仪12的间隙保持恒定。由此，测量装置1a能够利用一对测距仪12高精度地对测量对象100进行测量。
(第3实施方式)
接下来，使用图3对第3实施方式的测量装置1b进行说明。
图3为表示第3实施方式的测量装置1b的构成的说明图。此外，在第3实施方式的测量装置1b中，对于与上述的第1实施方式的测量装置1及第2实施方式的测量装置1a相同的构成赋予相同的附图标记，并省略其详细的说明。
测量装置1b具备供测量对象100穿过的框状的基部11b、设置于基部11b并相互对置地配置的一对测距仪12、校正装置14、以及控制部15。
基部11b具备下框21、设置于下框21的一个侧面或者一对侧面的一个或者一对支柱22b、以及设置于辅助部件13b的上框23。基部11b构成为在正视时呈方形框状或者c字状。在本实施方式中，采用基部11b具有一对支柱22b的方形框状的结构，于以下进行说明。
支柱22b具备固定于下框21的第1支柱22a、固定于第1支柱22a的辅助部件13b、以及固定于辅助部件13b的第2支柱22b。支柱22b在一对测距仪12对置的方向上的长度构成为能够供测量对象100穿过一对测距仪12的间隙的长度，且为使各测距仪12与测量对象100分离的长度。
第1支柱22a构成为方形的板状或者棒状。第1支柱22a在下端的侧面固定有下框21的侧面，在上端固定有辅助部件13b。第1支柱22a例如固定于设置面200。第2支柱22b构成为方形的板状或者棒状。第2支柱22b在上端的侧面固定有上框23的侧面，在下端固定有辅助部件13b。
辅助部件13b例如构成为板状。辅助部件13b的上端与第1支柱22a的上端固定，下端与第2支柱22b的下端固定。此外，辅助部件13b例如利用固定部31使上端面与第1支柱22a的上端面固定，利用固定部31使下端面与第2支柱22b的下端面固定。
辅助部件13b由具有与第1支柱22a及第2支柱22b的线性膨胀系数不同的线性膨胀系数的材料、具体而言由具有比第1支柱22a及第2支柱22b的线性膨胀系数高的线性膨胀系数的材料构成。另外，辅助部件13b在一对测距仪12对置的方向上的长度，具有成为与因热而在一对测距仪12对置的方向上膨胀的第1支柱22a及第2支柱22b的膨胀量相同的膨胀量的长度。这里，一对测距仪12对置的方向为上下方向、即高度方向。
以下，具体地对第1支柱22a、第2支柱22b及辅助部件13b的材料及长度进行说明。如图3所示，将第1支柱22a的上下方向的长度设为l11，将第2支柱22b的上下方向的长度设为l21，将辅助部件13b的上下方向的长度设为l2。将第1支柱22a及第2支柱22b的材料设为线性膨胀系数为m1的第1材料，将辅助部件13b的材料设为具有比线性膨胀系数m1大的线性膨胀系数m2(m1＜m2)的第2材料。此时，辅助部件13b的长度l2构成为l2＝(l11+l12)/(m2/m1)。
例如，在将第1支柱22a及第2支柱22b的材料设为铁材料、将辅助部件13b设为铝材料的情况下，由于铝材料的线性膨胀系数为铁材料的线性膨胀系数的约2倍，因此辅助部件13b的上下方向的长度l2构成为l2＝(l11+l12)/2。例如，若将l11及l12设为相同长度，则第1支柱22a、第2支柱22b及辅助部件13b的上下方向的长度大致相等。通过设为这样的构成，第1支柱22a及第2支柱22b的因热导致的膨胀量之和成为与辅助部件13b的因热导致的膨胀量大致相同。
上框23构成为方形板状。上框23例如构成为与下框21大致相同的形状。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于下框21的上表面，另一方固定于上框23的下表面。
这样构成的测量装置1b与上述的测量装置1、1a同样地，能够将一对测距仪12之间的间隙保持为恒定。具体而言，若由于测量对象100的热，基部11b被加热，支柱22b在上下方向上膨胀的话，则由于基部11b的下框21及第1支柱22a固定于设置面200，因此第1支柱22a向上方向膨胀。由于辅助部件13b的上端固定于第1支柱22a的上端，因此辅助部件13b从第1支柱22a的上端向下方向膨胀。另外，由于第2支柱22b的下端固定于辅助部件13b的下端，因此第2支柱22b从辅助部件13b的下端向上方向膨胀。
另外，第1支柱22a、第2支柱22b、以及辅助部件13b虽然具有不同的线性膨胀系数，但第1支柱22a及第2支柱22b的长度之和、以及辅助部件13b的长度设定为成为相同的膨胀量的l11、l12、l2。因此，第1支柱22a、第2支柱22b、以及辅助部件13a以相同的膨胀量分别在上下方向上膨胀。结果，通过辅助部件13a的膨胀，固定于辅助部件13a的上框23及固定于上框23的测距仪12向下方移动与向上方膨胀的第1支柱22a及第2支柱22b的膨胀量相同的量，一对测距仪12的间隙被保持为恒定。
根据这样构成的第3实施方式的测量装置1b，在一对测距仪12对置的方向上，能够将第1支柱22a、第2支柱22b、以及辅助部件13b的因热导致的膨胀量设为相同。由此，测量装置1b利用辅助部件13b的下方向的膨胀抵消第1支柱22a及第2支柱22b的上方向的膨胀，能够将一对测距仪12的间隙保持恒定。由此，测量装置1b利用一对测距仪12，能够高精度地对测量对象100进行测量。
(第4实施方式)
接下来，使用图4对第4实施方式的测量装置1c进行说明。
图1为表示第1实施方式的测量装置1的构成的说明图。此外，在第4实施方式的测量装置1c中，对于与上述的第1实施方式的测量装置1相同的构成赋予相同附图标记，并省略其详细的说明。
测量装置1c具备供测量对象100穿过的框状的基部11；设置于基部11，相互对置地配置的一对测距仪12；设置于基部11与一方的测距仪12之间的辅助部件13c；对一对测距仪12的间隙的距离进行计量的校正装置14；以及经由信号线99分别与一对测距仪12及校正装置14连接的控制部15。
下框21在其上表面固定有辅助部件13c。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于辅助部件13c，另一方固定于上框23的下表面。
辅助部件13c构成为例如方形板状或者块状。辅助部件13c的相对的主面的一方固定于下框21的上表面，在该主面的另一方固定有测距仪12。换言之，一对测距仪12的一方与一对测距仪12的另一方对置，且分离规定的距离量，自身(即一对测距仪12的一方)与下框21之间经由辅助部件13c固定于下框21。
辅助部件13c由具有与支柱22的线性膨胀系数不同的线性膨胀系数的材料、具体而言由具有比支柱22的线性膨胀系数高的线性膨胀系数的材料构成。另外，辅助部件13c在一对测距仪12对置的方向上的长度，具有成为与因热而在一对测距仪12对置的方向上膨胀的支柱22的膨胀量相同的膨胀量的长度。这里，一对测距仪12对置的方向为上下方向、即高度方向。
以下，具体地对支柱22及辅助部件13c的材料及长度进行说明。如图4所示，将支柱22的上下方向的长度设为l1，将辅助部件13c的上下方向的长度设为l2。将支柱22的材料设为线性膨胀系数为m1的第1材料，将辅助部件13c的材料设为具有比线性膨胀系数m1大的线性膨胀系数m2(m1＜m2)的第2材料。此时，辅助部件13c的长度l2构成为l2＝l1/(m2/m1)。
例如，在将支柱22的材料设为铁材料、将辅助部件13c设为橡胶材料的情况下，由于橡胶材料的线性膨胀系数为铁材料的线性膨胀系数的约10倍，因此辅助部件13c的上下方向的长度l2构成为l2＝l1/10。通过设为这样的构成，支柱22及辅助部件13c的因热导致的膨胀量成为大致相同。
根据这样构成的测量装置1c，起到与上述的测量装置1相同的效果。即，通过在一对测距仪12对置的方向上将支柱22及辅助部件13c的因热导致的膨胀量设为相同，即使支柱22向上方膨胀，辅助部件13c也以相同的膨胀量向上方膨胀。
因此，即使设置有测距仪12的上框23向上方移动，成对的测距仪12也通过辅助部件13c而向上方移动。这样，通过辅助部件13c的上方向的膨胀抵消支柱22的上方向的膨胀，能够将一对测距仪12的间隙保持恒定。另外，测量装置1c通过对辅助部件13c使用橡胶部件，能够使辅助部件13c的厚度较薄，结果，能够将测量装置1c设为小型。由此，测量装置1能够利用一对测距仪12高精度地对测量对象100进行测量。
(第5实施方式)
接下来，使用图5对第5实施方式的测量装置1d进行说明。
图5为表示第5实施方式的测量装置1d的构成的说明图。此外，在第5实施方式的测量装置1d中，对于与上述的第1实施方式的测量装置1相同的构成赋予相同的附图标记，并省略其详细的说明。
测量装置1d具备供测量对象100穿过的框状的基部11d；设置于基部11d，相互对置地配置的一对测距仪12；对一对测距仪12的间隙的距离进行计量的校正装置14；以及经由信号线99分别与一对测距仪12及校正装置14连接的控制部15。另外，作为与上述的测量装置1不同的构成，测量装置1d不具有辅助部件13。
基部11d具备下框21、设置于下框21的一对侧面的一对支柱22、以及设置于支柱22的上框23。基部11d构成为在正视时呈方形框状。另外，在基部11d中，至少下框21及上框23以具有相同的线性膨胀系数的材料构成为相同的形状。
基部11d设置于设置面200。基部11d的一方的支柱22的下表面固定于设置面200，下框21及另一方的支柱22被设置面200支撑。具体而言，基部11d的下框21及另一方的支柱22不固定于设置面200，而是构成为能够相对于设置面200在设置面200的面方向上移动。
例如，基部11d利用板部件及螺栓等固定部32固定有一方的支柱22。另外，例如，基部11d构成为利用导轨或脚轮等使下框21及另一方的支柱22能够相对于设置面200移动。设置面200例如是设置测量装置1的工厂等的地板面等。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于下框21的上表面，另一方固定于上框23的下表面。对置的一对测距仪12的间隙构成为能够使测量对象100穿过的长度。
接下来，对使用这样构成的测量装置1的测量对象100的测量进行说明。
首先，例如在利用测量装置1测量通过热处理加热了的测量对象100的情况下，利用输送机等输送装置使测量对象100穿过一对测距仪12间。
此时，由于测量对象100的热，基部11d被加热，下框21及上框23在下框21及上框23的固定有测距仪12的主面的面方向上，换言之在与测距仪12的对置方向正交的方向上，进一步换言之在横方向上膨胀。
由于基部11d的一方的支柱22固定于设置面200，下框21及另一方的支柱22被支撑为能够在设置面200上移动，因此如图5中双点划线所示那样，下框21及上框23在横方向上膨胀。结果，另一方的支柱22向横方向的一方即从一方的支柱22离开的方向膨胀，下框21及上框23维持板状。
具体地进行说明，假使设为一对支柱22固定于设置面200，则因热而膨胀的下框21及上框23由于其一对侧面固定于一对支柱22，因此在上下方向上形变膨胀的量。由于该形变，导致一对测距仪12之间的距离变大或者变小。
与此相对，本实施方式的基部11d为经由固定部32将一方的支柱22固定于设置面200，另一方的支柱22及下框21不固定于设置面200的构成。由此，防止下框21及上框23形变，并且，通过下框21及上框23设为相同的线性膨胀系数及相同形状而成为相同的膨胀量，因此一对测距仪12向横方向移动相同量。因此，防止因穿过的测量对象100的热导致的形变，且使测距仪12维持相互对置的状态。
接下来，一对测距仪12分别测量与穿过的测量对象100之间的距离，并向控制部15发送测量出的信息。控制部15基于由校正装置14检测到的一对测距仪12之间的距离、与接收到的从各测距仪12至测量对象100的距离的和之差，导出测量对象100的厚度。此外，例如，校正装置14在测量对象100的测量前，预先测量一对测距仪12之间的距离，并向控制部15发送信息。在测量对象100的输送方向的一部分或者全部中进行这些测量，从而对测量对象100的厚度进行测量。
根据这样构成的第5实施方式的测量装置1d，通过设为仅将一方的支柱22固定于设置面200，将下框21及另一方的支柱22以能够在设置面200上移动的方式支撑在设置面200上的构成，能够防止产生因热导致的下框21及上框23的形变。结果，能够防止因热而产生的形变导致一对测距仪12的间隙发生变化。由此，测量装置1d能够利用一对测距仪12高精度地对测量对象100进行测量。
(第6实施方式)
接下来，使用图6对第6实施方式的测量装置1e进行说明。
图6为表示第6实施方式的测量装置1e的构成的说明图。此外，在第6实施方式的测量装置1e中，对于与上述的第1实施方式的测量装置1及第5实施方式的测量装置1d相同的构成赋予相同的附图标记，并省略其详细的说明。
测量装置1e具备供测量对象100穿过的框状的基部11d；设置于基部11d，相互对置地配置的一对测距仪12；设置于基部11d与一方的测距仪12之间的辅助部件13；对一对测距仪12的间隙的距离进行计量的校正装置14；以及分别经由信号线99与一对测距仪12及校正装置14连接的控制部15。
一对测距仪12相互对置地配置。一对测距仪12的一方固定于下框21的上表面，另一方固定于辅助部件13。对置的一对测距仪12的间隙构成为测量对象100能够穿过的长度。
这里，下框21及上框23由具有相同的线性膨胀系数的材料构成，辅助部件13由具有比支柱22的线性膨胀系数高的线性膨胀系数的材料构成。
另外，下框21及上框23构成为相同的形状，且具有因热而在一对测距仪12对置的方向上膨胀的膨胀量成为相同的膨胀量的长度。
根据这样构成的第6实施方式的测量装置1e，与上述的第1实施方式同样地，能够通过固定有测距仪12的辅助部件13的膨胀抵消支柱22的膨胀，并且与上述的第5实施方式同样地，能够防止产生因热导致的下框21及上框23的形变。结果，根据测量装置1e，能够防止一对测距仪12的间隙发生变化。由此，测量装置1e能够利用一对测距仪12高精度地对测量对象100进行测量。
此外，测量装置不限于在上述各实施方式中记载的例子。
在上述的例子中，说明了测量装置1a具备下框21、设置于下框21的一个侧面或者一对侧面的一个或者一对支柱22、设置于支柱22的辅助部件13a、以及设置于辅助部件13a的上框23的构成，但不限于此。例如，测量装置1a也可以是与上述的测量装置1d、1e同样地利用固定部32将一对支柱22的一方固定于设置面200，使一对支柱22的另一方能够相对于设置面200移动的构成。通过设为这样的构成，测量装置1a起到与上述的测量装置1e相同的效果。
同样地，测量装置1b、1c也可以构成为，利用固定部32将一方的支柱22、22b固定于设置面200，以能够相对于设置面200移动的方式在设置面200上支撑下框21及另一方的支柱22、22b。
另外，在上述的例子中，说明了各测量装置1至1e分别具有辅助部件13、13a、13b、13c中的某一个的构成，但不限于此。各测量装置1至1e能够适当组合来使用。即，测量装置也可以设为复合地具有各辅助部件13、13a、13b、13c的测量装置。
另外，在上述的例子中，说明了各测量装置1至1e示例地使用金属材料或者橡胶材料构成支柱22及辅助部件13、13a、13b、13c，但不限于此。支柱22及辅助部件13、13a、13b、13c的材料只要是能够抵消因热导致的膨胀量即可，能够适当地设定。
另外，在上述的例子中，说明了测量装置1b为将第1支柱22a及第2支柱22b的材料设为具有相同的线性膨胀系数的第1材料的构成，但不限于此。即，只要是能够利用辅助部件13b的膨胀量抵消第1支柱22a及第2支柱22b的膨胀量的构成即可，也可以是将第1支柱22a及第2支柱22b设为不同的线性膨胀系数的构成。
例如，将第1支柱22a设为线膨胀系数为m1的第1材料，将第2支柱22b的材料设为线性膨胀系数为m3的第3材料，将辅助部件13b的材料设为具有比线性膨胀系数m1、m3大的线性膨胀系数m2(m1＜m2、m3＜m2)的第2材料。此时，将辅助部件13b的长度l2构成为l2＝(l11·m1+l12·m3)/m2，则能够以辅助部件13b的膨胀量抵消第1支柱22a及第2支柱22b的各自的膨胀量的和。
根据以上叙述的至少一个实施方式的测量装置，即使支柱的长度因热而变动，也能够利用辅助部件的膨胀量抵消支柱的膨胀量，能够将对置地配置的一对测距仪的对置的距离保持为恒定，能够以高精度测量对象物的厚度。
虽然说明了本申请的几种实施方式，但这些实施方式是作为例子示出的，无意限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种形态实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种的省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含于发明的范围及主旨内，并且包含于权利要求书所记载的发明及其等同的范围。