具有降温结构的高温射频线圈的制作方法

文档序号:12456636阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了具有降温结构的高温射频线圈,在第一波导管与第一骨架固定管之间具有第一容纳空间,第二波导管与第二骨架固定管之间具有第二容纳空间,第一骨架固定管连接至设有高温气体进口的线圈下连接件,第二骨架固定管连接至设有高温气体出口的排气罩;线圈骨架包括由内而外设置在陶瓷骨架、骨架套筒和降温管,骨架套筒套设在陶瓷骨架上,降温管呈盘管状盘绕在骨架套筒的外壁上,降温管的两端分别连通至第一容纳空间、第二容纳空间,第一、第二波导管外壁上分别设有常温气体入口接头、常温气体出口接头。本发明提供的高温射频线圈,不易变形,性能稳定。

技术研发人员:杨培强;陆治勇;国立言;董泽东
受保护的技术使用者:上海纽迈电子科技有限公司
文档号码:201710145656
技术研发日:2017.03.13
技术公布日:2017.05.31

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