技术特征:
技术总结
本发明公开了一种气体流量传感器,包括:壳体,以及设置在壳体内部的电极以及第一高分子薄膜,其中,壳体具有相对设置的第一端面和第二端面,第一端面上开设有至少一个进气孔,第二端面上开设有至少一个出气孔;电极和第一高分子薄膜之间形成气流通道;电极沿壳体的中心轴线方向设置,第一高分子薄膜为套设在电极外部的筒状薄膜,其形状与电极形状相匹配,且第一高分子薄膜上开设有至少一个振膜;其中,每个振膜具有与第一高分子薄膜连接一体的固定端以及能够在待测气体的带动下与电极相互摩擦的自由端。本发明提供的气体流量传感器解决了现有技术中气体流量传感器输出信号偏小、灵敏度较低并且制作工艺复杂的问题,使组装简单,易实施。
技术研发人员:钟强;赵豪;刁海丰;崔倩;程驰;孙晓雅;徐传毅
受保护的技术使用者:纳智源科技(唐山)有限责任公司
技术研发日:2017.03.31
技术公布日:2017.11.28