一种膜上膜内缺陷的判定方法与流程

本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的判定方法。

背景技术：

自动光学检查机在面板(tft/amoled)制程中担任重要拦检功能，但因面板尺寸愈来愈大，检测分辨率愈来愈高，相对缺陷数量也愈来愈多。而实际上，不是每一种缺陷都会影响下一工序的进行，如果对所有检测出来的缺陷进行处理，无疑会大幅度增加检测工序的工时，降低了面板检测工作的效率。例如，在柔性板pi及llo制程拦检，只须检测膜上或膜内缺陷，然后用根据这些缺陷进行调整即可，比如某一工序仅膜内缺陷会对其造成影响，而膜上缺陷不会对其造成影响，但自动光学检查机会同时检查出来膜内缺陷和膜上缺陷，检测人员对膜内缺陷和膜上缺陷都要进行判定分析，因此，膜上缺陷的判定分析会浪费判断人员大量的判定时间，造成检测效率过低。

技术实现要素：

本发明的目的就是要解决上述背景技术中提到的现有技术的检测方法存在无法分辨膜内还是膜上缺陷的问题，提供一种膜上膜内缺陷的判定方法。

本发明的技术方案为：一种膜上膜内缺陷的判定方法，包括以下步骤：

1)、驱动缺陷扫描单元对沉积有透明膜的待测基板扫描，获取待测基板上的缺陷部分的扫描影像；

2)、将所述缺陷部分与标准膜上缺陷对比，若两者相似度大于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜上的膜上缺陷；若相似度小于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜内的膜内缺陷。

作为进一步可选的技术方案，所述扫描影像中的缺陷与标准膜上缺陷的对比，为将所述缺陷的形状与标准膜上缺陷的形状进行对比。

作为进一步可选的技术方案，所述扫描影像中的缺陷与标准膜上缺陷的对比，为将所述缺陷的灰阶变化曲面与标准膜上缺陷的灰阶变化曲面进行对比。

作为进一步可选的技术方案，步骤1)和步骤2)之间还包含，驱动图像摄取单元选择性地摄取所述待测基板上一定数量的缺陷，获取所述缺陷部分的检测图像。

作为进一步可选的技术方案，步骤1)和步骤2)之间还包含，驱动缺陷扫描单元选择性地摄取所述待测基板上一定数量的缺陷，获取所述缺陷部分的灰阶影像。

作为进一步可选的技术方案，获取待测基板的缺陷部分包含以下步骤：

s1、获取待测基板的扫描影像；

s2、对所述扫描影像进行数据处理，判定待测基板上的缺陷部分的位置。

作为进一步可选的技术方案，所述的步骤s2中，判定待测基板的缺陷部分的方法为：将待测基板上每个像素的灰阶值与相邻像素的灰阶值比对，若两者的差值小于第二设定值，则判定所述像素无缺陷；若两者的差值大于第二设定值，则判定所述像素有缺陷。

作为进一步可选的技术方案，所述第二设定值的范围为10至40。

作为进一步可选的技术方案，所述第一设定值为70％-95％。

作为进一步可选的技术方案，所述待测基板为玻璃基板或柔性基板。

本发明的优点有：1、提升自动光学检查机重点缺陷拍照率；

2、减少人员浪费在不识重点缺陷的判别时间。

本发明通过待测基板和空气折射率不同，且图像摄取单元对膜内缺陷和膜上缺陷的聚焦位置不同这一基本原理，使位于膜上和膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶图像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，能够大幅度提高缺陷的检测效率，节约大量的时间，具有极大的推广价值。

附图说明

图1：本发明的缺陷扫描单元和图像摄取单元布置结构示意图；

图2：本发明的膜上缺陷与透明膜的位置关系示意图；

图3：本发明的膜内缺陷与透明膜的位置关系示意图；

其中：1—光源；2—图像摄取单元；3—透明膜；4—膜上缺陷；5—膜内缺陷。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

本实施例的示意图如图1～3所示，通过图像摄取单元1和缺陷扫描单元2对沉积有透明膜3的待测基板进行图像扫描，然后通过对扫描的图像信息进行数据分析，通过分析结果判断该缺陷(本实施例认定透明膜3上有一些缺陷部分，缺陷部分为独立个体，相邻缺陷部分间隔分布)位于透明膜3的上方还是内部，本实施例的图像摄取单元1为高精度光学相机，缺陷扫描单元2为线扫相机或面扫相机。本实施例的待测基板为透明光学基板，如玻璃基板或柔性基板等。

本实施例中，膜上膜内缺陷的判定方法，包括以下步骤：

1)、驱动缺陷扫描单元2对沉积有透明膜3的待测基板(未绘示)扫描，获取待测基板上的缺陷部分的扫描影像；

2)、将所述缺陷部分(单个缺陷部分与标准膜上缺陷进行对比)与标准膜上缺陷对比，若两者相似度大于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜3上的膜上缺陷4；若相似度小于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜3内的膜内缺陷5。

将所述缺陷部分与标准膜上缺陷对比的方法有两种：一是，将扫描到的缺陷部分的影像信息与实际透明膜3上选定的标准膜上缺陷(选取透明膜3上明显的膜上缺陷4作为标准膜上缺陷)进行形状对比，由于透明膜3与空气折射率不同，且图像摄取单元1拍照时聚焦于膜上，致使膜上缺陷4和膜内缺陷5在图像中呈现的形状是不一样的，可通过这种不一样的区别点来分辨出该缺陷是位于膜上还是膜下，通过分析两者相似度，当相似度大于第一设定值时，认为该缺陷位于膜上，否则认为该缺陷位于膜内；较佳地，第一设定值的范围为70～95％(形状对比是将两幅图片分隔成多个小的区域，然后将两个对比图形中对应的区域进行比对，最后计算对比结果中不相同的区域占整个区域的百分比，通过这种方式判断两幅图形的相似度，本实施例的第一设定值指的是两幅图中相同的区域占整个图形区域中的百分比)；二是，将扫描到的缺陷部分的影像信息进行灰值化，根据该缺陷部分的每个坐标点对应的灰阶值，形成该缺陷的灰阶变化曲面，将缺陷部分的灰阶变化曲面与待测基板的标准膜上缺陷的灰阶变化曲面进行对比，通过两者差别来判断该缺陷是膜内缺陷还是膜上缺陷。如此，不需要再次通过人工判断，区别出膜内缺陷或膜上缺陷，提高膜内缺陷或膜上缺陷的检出率，进而减少了人工判断的时间。

于一实施例中，步骤1)和步骤2)之间还包含，驱动缺陷扫描单元2选择性地摄取所述待测基板上一定数量的缺陷，获取所述缺陷部分的灰阶影像。即对待测基板扫描后，利用缺陷扫描单元2选择性地拍摄一定数量的缺陷，将拍摄到的缺陷的形状(或灰阶变化曲面)与标准膜上缺陷的形状(或灰阶变化曲面)进行对比，进而判定该缺陷为膜内缺陷还是膜上缺陷。

于另一实施例中，步骤1)和步骤2)之间还包含，驱动图像摄取单元1选择性地摄取所述待测基板上一定数量的缺陷，获取所述缺陷部分的检测图像。即对待测基板扫描后，利用图像摄取单元1选择性地拍摄一定数量的缺陷，将拍摄到的缺陷的形状(或灰阶变化曲面)与标准膜上缺陷的形状(或灰阶变化曲面)进行对比，进而判定该缺陷为膜内缺陷还是膜上缺陷。利用图像摄取单元1进行缺陷的拍摄，可进一步降低待测基板的检测时间，提高检测效率。

于一实施例中，获取待测基板的缺陷部分包含以下步骤：

s1、获取待测基板的扫描影像；

通常，像素的扫描影像是通过线扫相机或面扫相机对基板上的像素进行扫描获取；

s2、对所述扫描影像进行数据处理，判定待测基板上的缺陷部分的位置。

具体地，步骤s2中，判定待测基板的缺陷部分的方法为：将待测基板上每个像素的灰阶值与相邻像素的灰阶值比对，若两者的差值小于第二设定值，则判定所述像素无缺陷；若两者的差值大于第二设定值，则判定所述像素有缺陷。

于一具体实施例中，所述第二设定值的范围为10至40(根据灰阶值定义可知，像素点的灰阶值取值范围为0～255，本实施例的第二设定值范围10～40指两个像素点灰阶值差值为10～40)，但不限于此，使用者可根据实际需求设定第二设定值的范围。

于一具体实施例中，所述第一设定值为70％-95％，于其它实例中，可根据实际使用需求设定第一设定值的范围。

综上可见，本发明通过透明膜和空气折射率不同，且图像摄取单元对膜内缺陷和膜上缺陷的聚焦位置不同这一基本原理，使位于膜上的缺陷和位于膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶影像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，提高了关键缺陷的检出率，同时节约大量拍照时间和判定时间，提高了面板的检测效率。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。