一种酸洗液浓度检测管路的去气泡机构的制作方法

文档序号:12923429阅读:551来源:国知局

本实用新型涉及一种酸洗液浓度检测管路的去气泡机构。



背景技术:

在液晶平板行业制造过程中,会使用到大量的酸洗液,一般都经由循环过滤后再重复使用,但随着时间的增长,酸洗液的浓度会降低,浑浊度会增加,酸洗液的浓度和浑浊度会影响产品的质量,为了了解循环过程中酸洗液的浓度及浑浊度的变化,行业里一般采用浓度管理器对酸洗液的浓度及浑浊度进行检测(该仪器能够自动检测出流体管路中的液体的浓度及浑浊度,然后判定是否需要添加酸或更换酸洗液并自动进行添加酸或更换酸洗液)。检测浓度是一般是将酸洗液导入流通池中检测,但在酸洗液的循环过程中,会有空气掺杂到酸洗液中形成气泡,如果直接检测,会使检测仪器检测的数值不准,导致系统错误的添加酸或者更换酸洗液,造成不良后果及损失。所有在待测酸洗液进入流通池前,需进行除泡过程。

因此,确有必要对现有技术进行改进以解决现有技术之不足。



技术实现要素:

本实用新型是为了解决上述现有技术存在问题而提供一种酸洗液浓度检测管路的去气泡机构。

本实用新型所采用的技术方案有:一种酸洗液浓度检测管路的去气泡机构,包括酸洗液池、除泡池、流通池、抽液泵、进液主管、进液支管、气泡回流管、流通池进液管、流通池回流管、电机、磁力耦合器和螺旋桨,所述除泡池、流通池和酸洗液池由上至下分层设置,进液主管与酸洗液池相连通,抽液泵设于进液主管上,进液支管的一端与进液主管相连通,另一端与除泡池相连通,流通池进液管一端与除泡池相连通,另一端与流通池相连通,流通池回流管一端与流通池相连通,另一端与酸洗液池相连通,电机设于除泡池一侧,且电机的转轴伸于除泡池内并与磁力耦合器的输入端相连,磁力耦合器的输出端与螺旋桨相连,气泡回流管的一端与酸洗液池相连通,另一端伸于除泡池内并与磁力耦合器的转体笼固定连接。

进一步地,所述进液主管上设有过滤器。

进一步地,所述电机的转轴与除泡池之间设有密封圈。

本实用新型具有如下有益效果:

本实用新型能够有效的防止气泡进入流通池内,提高检测精度,且药业循环使用,避免浪费。

附图说明:

图 1 为本实用新型结构原理图。

具体实施方式:

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示,本实用新型一种酸洗液浓度检测管路的去气泡机构,包括酸洗液池1、除泡池2、流通池3、抽液泵41、进液主管42、进液支管43、气泡回流管44、流通池进液管45、流通池回流管46、电机51、磁力耦合器52和螺旋桨53,除泡池2、流通池3和酸洗液池1由上至下分层设置,进液主管42与酸洗液池1相连通,抽液泵41设于进液主管42上,进液支管43的一端与进液主管42相连通,另一端与除泡池2相连通,流通池进液管45一端与除泡池2相连通,另一端与流通池3相连通,流通池回流管46一端与流通池3相连通,另一端与酸洗液池1相连通,电机51设于除泡池2一侧,且电机51的转轴伸于除泡池2内并与磁力耦合器52的输入端相连,磁力耦合器52的输出端与螺旋桨53相连,气泡回流管44的一端与酸洗液池1相连通,另一端伸于除泡池2内并与磁力耦合器52的转体笼固定连接。

本实用新型中的磁力耦合器52的结构与现有技术中的磁力耦合器结构相同,包括磁转子和转体笼,磁转子设于转体笼内,其中转体笼为开放式结构,本实用新型磁力耦合器工作原理与现有技术相同,故不再赘述。

在进液主管42上设有过滤器6,该过滤器6能有效防止酸洗液池1残渣进入喷淋头内。

为保证密封性,在电机51的转轴与除泡池2之间设有密封圈。

在使用时,通过抽液泵41将酸洗液池1内的药液打到除泡池2内,并使得该药液充满除泡池2,电机51驱动螺旋桨53旋转,搅动除泡池2内的药液并形成涡流,药液中的气泡会聚集在涡流中心。不含气泡的药液从流通池进液管45进入流通池3内,含有气泡的药液会从气泡回流管44回流至酸洗液池1中,避免气泡进入流通池3内。然后通过光谱分析仪对流通池3内的药液浓度进行检测,流通池3内药液通过流通池回流管46回流至酸洗液池1内,避免药液浪费。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下还可以作出若干改进,这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

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