具有旁路的流量传感模块的制作方法

文档序号:14125048阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种流量传感模块,其特征在于,其包括:

本体部,其包括:

主流体入口;

主流体出口;

延伸于主流体入口和主流体出口之间的主流体通道;

在主流体出口的上游的第二位置处与主流流体通道连通的旁路流体入口;

在主流体入口的下游的第一位置处与主流流体通道连通的旁路流体出口,其中第一位置位于第二位置的上游;和

延伸于旁路流体入口和旁路流体出口之间的旁路流体通道;

暴露于旁路流体通道的流量传感器,其用于感应旁路通道内的流体的流量或流速得到测量值,其中旁路通道的流体的流量或流速与主流体通道的流量或流速相关。

2.根据权利要求1所述的流量传感模块,其特征在于,

所述主流体入口的横截面积小于所述主流体通道的横截面积。

3.根据权利要求2所述的流量传感模块,其特征在于,

所述流量传感器为MEMS热式流量传感器。

4.根据权利要求1所述的流量传感模块,其特征在于,

所述旁路流体通道内的流体的流向与所述主流体通道内的流体流向相反。

5.根据权利要求1所述的流量传感模块,其特征在于,

所述主流体通道内是空的,未设置阻流部件。

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